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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DREIDIMENSIONALEN SINTER-WERKSTÜCKEN
    • 用于制造三维烧结WORKPIECES
    • WO2003039844A1
    • 2003-05-15
    • PCT/DE2001/004055
    • 2001-10-30
    • CONCEPT LASER GMBHHERZOG, Frank
    • HERZOG, Frank
    • B29C67/00
    • B29C64/153
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Sinter-Werkstücken 1, insbesondere Steroelithographieverfahren zur Anwendung in einem Laser-Sinter-Automaten, wobei; lagenweise Sintermaterial, insbesondere flüssiges, pastöses, pulverartiges oder körniges Sintermaterial, aus einer Vorratseinrichtung auf eine Unterlage aufgetragen wird und durch bereichsweise Bestrahlung von festgelegten Einzelabschnitten 2, 2' derart erhitzt wird, dass sich die Bestandteile des Sintermaterials bei teilweiser oder kompletter Aufschmelzung bestrahlungs-bereichsabhängig zu dem Werkstück miteinander verbinden, wobei zeitlich nacheinander bestrahlte Einzelabschnitte 2, 2' einen Abstand voneinander haben, der Größen oder zumindest gleich dem mittleren Durchmesser dieser Einzelabschnitte 2, 2' ist.
    • 本发明涉及一种用于制造三维烧结的工件1,特别是Steroelithographieverfahren用于在激光烧结机,其特征在于,使用; 在层烧结材料,尤其是液体,糊状,粉末状或颗粒状的烧结材料被从存储装置施加到基底上,并且通过定义单独的部分2,2“的区域方式照射加热,使得烧结材料中的部分或完全熔化照射范围依赖于成分 连接到所述工件,其特征在于,连续地照射在时间上各个部分2,2“是在一个距离彼此,尺寸或至少等于各个部分2,2的平均直径”。
    • 4. 发明申请
    • SEMICONDUCTOR WAFER BOAT FOR BATCH PROCESSING
    • 用于批量加工的半导体滚筒
    • WO2008095154A1
    • 2008-08-07
    • PCT/US2008/052760
    • 2008-02-01
    • TOKYO ELECTRON LIMITEDTOKYO ELECTRON AMERICA, INC.HERZOG, Frank
    • HERZOG, Frank
    • H01L21/67
    • H01L21/67309
    • A boat (50) is provided for stacking semiconductor wafers (20) vertically in processes in which low friction deposits may coat wafer supporting surfaces and allow the wafers to slip sideways in the boat, leaving them sufficiently out of alignment to cause wafer breakage in handling. Typical boats for these processes have vertical legs (52) in which aligned notches (58) support the wafers. The notches provide enough clearance around the edge of the wafers to facilitate loading and unloading of the wafers without wafer damage, as long as the wafers remain centered. With the invention, each notch has a shallow recess (66) on which the edge of a wafer can rest. The recess adds a low step close to the wafer edge that resists horizontal sliding movement of the wafer. Wafers inserted into the boat in a plane spaced above the steps, then lowered onto the recesses.
    • 提供了用于在低摩擦沉积物可以涂覆晶片支撑表面并允许晶片在船上侧向滑动的过程中垂直地堆叠半导体晶片(20)的船(50),使得它们足够地不对准,从而导致晶片在处理中的破裂 。 用于这些工艺的典型的船只具有垂直的腿部(52),其中对齐的凹口(58)支撑晶片。 只要晶片保持居中的位置,切口在晶片的边缘周围提供足够的间隙,以便于晶片的加载和卸载,而没有晶片损坏。 利用本发明,每个凹口具有浅凹槽(66),晶片的边缘可以在其上搁置。 凹槽附近靠近晶片边缘的低台阶,抵抗晶片的水平滑动运动。 将晶片在与台阶间隔开的平面上插入船中,然后下降到凹槽上。
    • 5. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DREIDIMENSIONALEN BAUTEILS
    • 一种用于生产三维COMPONENT
    • WO2008074287A1
    • 2008-06-26
    • PCT/DE2007/002092
    • 2007-11-19
    • CL SCHUTZRECHTSVERWALTUNGS GMBHHERZOG, Frank
    • HERZOG, Frank
    • B29C67/00B22F3/105
    • B22F3/1055B29C64/153B29C64/386Y02P10/295
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Bauteils, insbesondere Lasersinter- oder Laserschmelzverfahren zur Anwendung in einem Lasersinterautomaten, bei dem das Bauteil durch aufeinanderfolgendes Verfestigen einzelner Schichten aus verfestigbarem Baumaterial durch Einwirkung einer Strahlung, insbesondere einer Laserstrahlung, erzeugt wird, wobei der punkt- und/oder linienförmige Energieeintrag in mindestens einer Schicht in flächigen Einzelabschnitten erfolgt, wobei innerhalb eines Bauprozesses die Bestrahlungsreihenfolge zumindest bereichsweise derart abläuft, daß nach einem punkt- oder linienförrnigen Energieeintrag innerhalb eines ersten Einzelabschnitts der folgende Energieeintrag in einem weiteren zweiten Einzelabschnitt erfolgt und der darauffolgende Energieeintrag entweder in einem dritten oder einem bereits bereichsweise bestrahlten (ersten) Einzelabschnitt erfolgt, wobei die nacheinander bestrahlten Einzelabschnitte und/oder erfolgten Energieeinträge nicht unmittelbar nebeneinander liegen.
    • 本发明涉及一种用于制造三维部件,特别是激光烧结或激光熔化方法用于在激光烧结机,其中,所述部件是由可凝固构建材料的单个层的连续凝固产生由辐射的作用的使用,尤其是激光辐射,其中,所述点对多点 和/或线性的能量输入发生在片状各个部分的至少一个层,构建过程中,照射顺序,至少部分地发生在这样一种方式,后以下的能量输入的第一单一部分内的点或linienförrnigen能量输入发生在一个另外的第二单个部分和随后的能量输入 其中,连续地照射各个部分和/或由恩要么在第三或已部分地暴露(第一)单个部分进行 ergieeinträge不撒谎直接相邻。
    • 7. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON DREIDIMENSIONALEN OBJEKTEN
    • 器具,用于产生三维物体
    • WO2008128502A2
    • 2008-10-30
    • PCT/DE2008/000554
    • 2008-04-02
    • CL SCHUTZRECHTSVERWALTUNGS GMBHHERZOG, Frank
    • HERZOG, Frank
    • B29C67/00
    • B22F3/1055B22F2003/1056B29C64/153Y02P10/295
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Herstellen von dreidimensionalen Objekten (2) durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines mittels Strahlung verfestigbaren Aufbaumaterials (8) an den dem jeweiligen Querschnitt des Objektes (2) entsprechenden Stellen, mit einem Gehäuse (3), einem darin untergebrachten Baubehälter (4), in welchem eine Tragevorrichtung zum Tragen des Objektes (2) mit einem Träger (6) angeordnet ist, einer Aufbringvorrichtung (7) zum Aufbringen von Schichten des Aufbaumaterials (8) auf die Tragevorrichtung (5) oder eine zuvor gebildete Schicht, einer Dosiereinrichtung (9) zur Zuführung des Aufbaumaterials (8) und einer Bestrahlungsvorrichtung (10) zum Bestrahlen von Schichten des Aufbaumaterials (8) an den dem jeweiligen Querschnitt des Objektes (2) entsprechenden Stellen, wobei das Gehäuse (3) der Vorrichtung (1) einen Gehäuseabschnitt (I) aufweist, in dem sich der Baubehälter (4) während des Bauprozesses befindet, sowie eine Entnahmestation (12) und ein Handhabungsbereich (11) vorgesehen sind, wobei in der durch das Gehäuse (3) der Vorrichtung (1) einschließlich des Handhabungsbereichs (11) abgedichteten Schutzgasatmosphäre eine Fördereinrichtung (13) angeordnet ist, die eingangsseitig (E) ein durch Eingriff in den Handhabungsbereich (11) manuell oder mittelbar, durch eine eine Wand (37) des Handhabungsbereichs (11) durchgreifende Bedienvorrichtung (35), führbares Förderelement (14) aufweist und die ausgangsseitig (A) zumindest temporär mit wenigstens einem Dosier- oder Vorratsbehälter (15, 16) der Vorrichtung verbunden und/oder oberhalb eines Dosier- oder Vorratsbehälters (15, 16) angeordnet ist, der innerhalb der Schutzgasatmosphäre angeordnet ist.
    • 本发明涉及一种装置(1)用于制造三维物体(2)通过辐射接枝材料(8)〜(2)对应的位置处的对象的各截面的凝固层的连续合并,具有壳体(3),一个 容纳在其中构建容器(4),其中,用于(2)与载体(6)承载所述对象的承载装置被布置,施用(7),用于建筑材料的应用层(8),所述支撑装置(5)上或先前 形成的层,用于建筑材料(8)的供应和用于照射建筑材料(8)的层,以将物体的相应横截面的照射装置(10)的计量装置(9)(2)对应的位置,所述壳体(3)的 装置(1)的壳体部分(I),其中,所述建筑物的容器(4)在施工过程中的位置,以及一个提取 设置台(12)和处理区域(11),在由密封在所述壳体(3)(1),其包括手柄部(11)的惰性气体气氛的输送机(13)被布置在输入侧(E)通过所述装置的 介入在所述处理区域(11)手动地或间接地由所述手柄部的壁(37)(11)扫描控制装置(35),可行的输送元件(14)和输出侧(a)用至少一个定量给料或储至少暂时 连接到和/或上方的计量或储存容器中的装置(15,16)(15,16)布置,其被布置在保护气体气氛中。
    • 8. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINES DREIDIMENSIONALEN OBJEKTES
    • 器具,用于产生一个三维物体
    • WO2008049384A1
    • 2008-05-02
    • PCT/DE2007/001357
    • 2007-07-31
    • CL SCHUTZRECHTSVERWALTUNGS GMBHHERZOG, Frank
    • HERZOG, Frank
    • B29C67/00B22F3/105
    • B29C64/153B22F2003/1056B22F2998/00B33Y30/00Y02P10/295B22F3/1055
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Herstellen eines dreidimensionalen Objektes (2) durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines mittels elektromagnetischer Strahlung (3) oder Teilchenstrahlung verfestigbaren Aufbaumaterials (4) an den dem jeweiligen Querschnitt des Objektes (2) entsprechenden Stellen, mit einer in einem Bauraum (5) angeordneten Tragevorrichtung (6) zum Tragen des Objektes (2) mit einem Träger (7) mit einer dem Objekt (2) zugewandten Oberseite (8), einer den Träger (7) umgreifenden Wandung (10) zur randseitigen Begrenzung des Baumaterials (4), einer Aufbringvorrichtung (11) zum Aufbringen von Schichten des Aufbaumaterials (4) auf die Tragevorrichtung (6) oder eine zuvor gebildete Schicht und einer Bestrahlungsvorrichtung (12) zum Bestrahlen von Schichten des Aufbaumaterials (4) an den dem jeweiligen Querschnitt des Objektes (2) entsprechenden Stellen, wobei der Träger (7) der Tragevorrichtung (6) während des Bauvorganges höhenfest angeordnet ist und die Wandung (10) mittels einer programmgesteuerten Verstelleinrichtung (15) höhenverstellbar gelagert ist.
    • 本发明涉及一种装置(1),用于通过电磁辐射(3)或颗粒凝固的构造材料的手段的层的连续合并制造三维物体(2)(4)(2)对应的位置,具有该对象的相应的横截面 在一个空间(5)被布置为(2)与载体(7)与所述物体支撑物体(6)边缘侧承载装置(2)的面向上侧(8),载波(7)夹持壁(10) 施工材料(4)的限制,对于承载装置(6)或预先形成的层,以及用于(4)所涉及的建筑材料的照射层的照射装置(12)上施加的建筑材料(4)的层的涂敷用具(11) 对应位置上的对象(2)中,每个横截面,其中,所述载体(7)在固定高度angeord在构建过程期间承载装置(6)的 是网和由程序控制的调节装置(15)的装置的壁(10)被安装高度可调节的。
    • 10. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON DREIDIMENSIONALEN OBJEKTEN
    • 用于生产三维物体的装置
    • WO2009015619A2
    • 2009-02-05
    • PCT/DE2008/000852
    • 2008-05-20
    • CL SCHUTZRECHTSVERWALTUNGS GMBHHERZOG, Frank
    • HERZOG, Frank
    • B29C67/00B29C70/68
    • B22F3/1055B22F2003/1056B22F2998/00B29C64/135B29C70/68B33Y30/00Y02P10/295B22F3/003
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung von dreidimensionalen Objekten durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines pulverfbrmigen, mittels elektromagnetischer Strahlung, insbesondere Laserstrahlung verfestigbaren Aufbaumaterials an den den jeweiligen Querschnitten der Objekte entsprechenden Stellen, wobei die Vorrichtung eine Tragvorrichtung (2) zum Tragen des Objektes mit einem Träger (3) mit einer dem Objekt zugewandten Oberseite (10) aufweist und eine Beschichtungsvorrichtung zum Aufbringen von Schichten des Materials auf die Tragvorrichtung (2) oder eine zuvor gebildete Schicht vorgesehen ist, sowie eine Bestrahlungseinrichtung zum Bestrahlen von Schichten des Materials an den dem jeweiligen Querschnitt des Objektes entsprechenden Stellen dient, wobei der Träger (3) mit wenigstens einer Durchsteckausnehmung (20) versehen ist, durch welche ein insbesondere langgestreckter, vorgefertigter Körper (21) im wesentlichen nach unten weisend einsteckbar ist, an dessen nach oben weisenden Ende (Kopfende 22) durch sukzessives Verfestigen von Schichten des Aufbaumaterials ein dreidimensionales Teilobjekt anformbar ist.
    • 本发明涉及一种装置,用于通过pulverfbrmigen,通过电磁辐射可凝固的层的连续凝固在相应的位置的对象的(各横截面制造三维物体,特别是激光辐射的建筑材料,该设备包括一个支撑装置 2),用于与具有带侧GER(3)Tr的BEAR面向物体的顶侧(10)和用于将所述材料层(承载装置2)或预先形成的层上的涂层装置支撑该对象被提供,并照射装置 到相应的位置,用于照射的材料的层,其中所述载体BEAR设置GER对象的每个横截面的服务(3)与至少一种Durchsteckausnehmung(20),通过该特定的细长的,预制的Kö主体(21)基本上是 未经处理 s的指点插入,在其面向上的端部(头端22)的三维物体的部分是由建筑物材料层的连续的凝固顺应性的。