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1. 发明申请

WO2004097355A1 DETECTEUR THERMIQUE DE RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE A STRUCTURE ALVEOLEE 审中-公开
标题翻译：蜂窝结构电磁辐射热探测器
公开(公告)号：WO2004097355A1
公开(公告)日：2004-11-11
申请号：PCT/FR2004/000942
申请日：2004-04-16
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE , YON, Jean-Jacques , OUVRIER-BUFFET, Jean-Louis , ASTIER, Astrid , VILAIN, Michel
发明人： YON, Jean-Jacques , OUVRIER-BUFFET, Jean-Louis , ASTIER, Astrid , VILAIN, Michel
IPC分类号： G01J5/10
CPC分类号： G01J5/02 , B81B3/0081 , B81B2201/0278 , B81C2201/0115 , G01J5/0235 , G01J5/10 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Une membrane (1) absorbante est fixée en suspension sur une face avant d'un substrat (2), sensiblement parallèlement au substrat (2), par au moins une structure alvéolée isolant thermiquement la membrane du substrat (2) et disposée dans un plan sensiblement perpendiculaire au substrat (2). Le détecteur peut comporter des bras (3) solidaires de la membrane (1) absorbante. Les structures alvéolées peuvent être disposées respectivement entre l'un des bras (3) et le substrat (2). La structure alvéolée peut être constituée par une pluralité de couches minces (6) superposées et séparées par des entretoises (7) ou par des rangées superposées d'arcades constituées par des couches minces. La structure alvéolée peut comporter un plot poreux.
摘要翻译：吸收膜（1）以基本平行的方式相对于所述基底（2）固定地悬挂在基底（2）的一个正面上，所述至少一个蜂窝结构使基底（2）的膜和设置在相对于基板（2）基本上垂直的平面上。检测器可以包括耦合到吸收膜（1）的臂（3）。蜂窝结构可以分别设置在臂（3）中的一个和基板（2）之间。蜂窝结构可以由多个薄的叠层（6）组成，它们通过横向构件（7）或由薄层组成的叠层叠层分隔开。蜂窝结构可以包括多孔插塞元件。

2. 发明申请

WO2012056124A1 DISPOSITIF DE DÉTECTION D'UN RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE 审中-公开
标题翻译：用于检测电磁辐射的装置
公开(公告)号：WO2012056124A1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：PCT/FR2011/000573
申请日：2011-10-25
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES , YON, Jean-Jacques , IMPERINETTI, Pierre , MARY, Alexandre , RABAUD, Wilfried
发明人： YON, Jean-Jacques , IMPERINETTI, Pierre , MARY, Alexandre , RABAUD, Wilfried
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/06 , G01J5/20 , G01J5/02
CPC分类号： G01J5/10 , G01J5/02 , G01J5/0285 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/046 , G01J5/06 , G01J5/0853 , G01J5/20 , G01J2005/068
摘要： Le dispositif de détection d'un rayonnement électromagnétique comporte sur un même substrat (18) : - au moins un détecteur actif (7) du rayonnement électromagnétique (8) muni d'un premier élément sensible (12) audit rayonnement (8), - au moins un détecteur de référence (10) comportant un second élément sensible (13) audit rayonnement électromagnétique (8) et, - un capot (19) muni de premiers moyens réflecteurs réfléchissant le rayonnement électromagnétique (8) incident, ledit capot (19) recouvrant sans contact le second élément sensible (13) et délimitant avec le substrat (18) une cavité (20) dans laquelle est logé le détecteur de référence (10). Le capot 19 est conformé de sorte à améliorer la sensibilité du dispositif de détection.
摘要翻译：用于检测电磁辐射的装置包括在同一基板（18）上：用于检测电磁辐射（8）的至少一个有源检测器（7），所述检测器配备有能够感测所述电磁辐射的第一元件（12）辐射（8）; 至少一个参考检测器（10），包括能够感测所述电磁辐射（8）的第二元件（13）。以及装备有用于反射入射电磁辐射（8）的第一反射装置的屏蔽（19），所述屏蔽（19）覆盖所述第二感测元件（13）而不与其接触，并且与所述基板（18）容纳参考检测器（10）的腔（20）。为了提高检测装置的灵敏度，护罩（19）是共形的。

3. 发明申请

WO2018167432A1 CAPTEUR DE RAYONNEMENT MUNI D'UNE PROTECTION ANTI-EBLOUISSEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2018167432A1
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：PCT/FR2018/050617
申请日：2018-03-14
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： BECKER, Sébastien , YON, Jean-Jacques , ALIANE, Abdelkader , PELENC, Denis
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/08 , G01J1/26
摘要： L'invention concerne un capteur de rayonnement comportant une pluralité de pixels (100) formés dans et sur un substrat semiconducteur (101), chaque pixel comportant : un élément (103) de conversion d'un rayonnement électromagnétique en un signal électrique, disposé dans une cavité (113) fermée par un capot (111) transparent au rayonnement à détecter; un obturateur optique comportant une couche (115) thermochrome revêtant une face du capot transparent (111), l'obturateur étant commandable électriquement pour faire varier le coefficient de transmission de la couche thermochrome (115) pour le rayonnement à détecter; et un circuit (102) de contrôle et de lecture de l'élément de conversion (103), le circuit de contrôle et de lecture (102) étant adapté à détecter un éblouissement susceptible d'endommager l'élément de conversion (103) du pixel, et à commander l'obturateur du pixel pour diminuer le coefficient de transmission de la couche thermochrome (115) lorsqu'un éblouissement est détecté.

4. 发明申请

WO2013079855A1 DETECTEUR INFRAROUGE A BASE DE MICRO-PLANCHES BOLOMETRIQUES SUSPENDUES 审中-公开
标题翻译：红外探测器制作悬浮微型薄板
公开(公告)号：WO2013079855A1
公开(公告)日：2013-06-06
申请号：PCT/FR2012/052708
申请日：2012-11-23
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： BOUTAMI, Salim , DUMONT, Geoffroy , HAZART, Jérôme , YON, Jean-Jacques
IPC分类号： G01J5/02 , G01J5/08 , G01J5/20 , G02B5/18
CPC分类号： H01L27/1446 , G01J5/02 , G01J5/024 , G01J5/08 , G01J5/0806 , G01J5/20 , H01L31/08 , H01L31/18
摘要： Un détecteur bolométrique matriciel pour la détection d'un rayonnement électromagnétique dans une gamme prédéterminée de longueurs d'onde infrarouges ou térahertz, comprenant un substrat (16), et une matrice de micro-planches bolométriques (14) pour la détection dudit rayonnement, suspendues au dessus du substrat à l'aide d'éléments de soutien (18). Le détecteur comporte une membrane (22) disposée au dessus de chaque micro-planche (14), et dans laquelle sont formés des motifs (26) d'indice de réfraction inférieur à celui de la membrane (22). Les motifs (26) sont placés périodiquement selon au moins un axe de la membrane (22), selon une période inférieure ou égale à λ _ n , où λ est une longueur d'onde à détecter, et n est l'indice de réfraction moyen du milieu séparant la micro-planche (14) de la membrane (22). La largeur des motifs (26) selon ledit axe augmente depuis un emplacement central de la membrane (22) en direction de la périphérie de celle-ci.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测预定范围的红外或太赫兹波长的电磁辐射的辐射测量阵列检测器，包括用于检测所述辐射的基片（16）和用于检测所述辐射的辐射微阵列阵列，的支撑元件（18）。检测器包括布置在每个微板（14）上方的膜（22），其中形成有折射率低于膜（22）折射率的图案（26）。图案（26）沿着膜（22）的至少一个轴周期性地放置，其周期不高于λ_n，其中λ是待检测的波长，并且n是分离所述膜的平均折射率微孔板（14）。根据所述轴线的图案（26）的宽度从膜（22）的中心位置向其周边增加。

5. 发明申请

WO2018167433A1 CAPTEUR DE RAYONNEMENT MUNI D'UNE PROTECTION ANTI-EBLOUISSEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2018167433A1
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：PCT/FR2018/050618
申请日：2018-03-14
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： BECKER, Sébastien , PELENC, Denis , YON, Jean-Jacques , ALIANE, Abdelkader
IPC分类号： G01J5/02
CPC分类号： G01J5/023 , G01J5/024 , G01J5/0245
摘要： L'invention concerne un capteur de rayonnement comportant une pluralité de pixels (800) formés dans et sur un substrat semiconducteur (101), chaque pixel comportant une microplanche (103) suspendue au-dessus du substrat par des bras d'isolation thermique (105a, 105b), la microplanche (103) comprenant un élément (601) de conversion d'un rayonnement électromagnétique en énergie thermique, dans lequel, dans chaque pixel (800), au moins un des bras d'isolation thermique (105a, 105b) du pixel comprend une couche(801) en un matériau à changement de phase présentant, en dessous d'une température de transition de phase, une première valeur de conductivité thermique, et, au-dessus de la température de transition de phase, une deuxième valeur de conductivité thermique supérieure à la première valeur.

6. 发明申请

WO2018015656A1 DÉTECTEUR BOLOMÉTRIQUE AVEC MATRICE DE FILTRES À MODE GUIDÉ 审中-公开
标题翻译：带导模滤波器矩阵的人体检测器
公开(公告)号：WO2018015656A1
公开(公告)日：2018-01-25
申请号：PCT/FR2017/051962
申请日：2017-07-19
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： BADANO, Giacomo , YON, Jean-Jacques
IPC分类号： G01J5/20 , G01J5/60 , G01J5/08 , G02B5/18 , G02B5/20
CPC分类号： G02B5/1809 , G01J3/26 , G01J5/0225 , G01J5/0862 , G01J5/20 , G01J5/602 , G01J2005/202 , G02B5/203
摘要： L'invention concerne un détecteur bolométrique matriciel, chaque pixel (100) comprenant une planche bolométrique (110) suspendue au-dessus d'un substrat (120). Chaque pixel (100) comprend en outre : une capsule respective (130), formant une cavité (140) à l'intérieur de laquelle s'étend la planche bolométrique (110); et une structure diffractive (150), constituée de plots (151) répartis selon un pas régulier (p) sur une paroi supérieure (132) de la capsule, du côté opposé à la planche bolométrique, ou dans l'épaisseur de ladite paroi supérieure, pour former avec ladite paroi supérieure un filtre à mode guidé en transmission. On propose ainsi un détecteur bolométrique de grande finesse spectrale. L'invention trouve une application particulièrement avantageuse dans la réalisation d'un détecteur bolométrique multi-spectral, constitué de plusieurs types de pixels dédiés chacun à la détection d'une longueur d'onde donnée.
摘要翻译：本发明涉及测辐射热计矩阵检测器，每个像素（100）包括悬置在衬底（120）上方的测辐射热计板（110）。每个像素（100）还包括：形成腔的相应胶囊（130）（140）＆agr; 其内部是测辐射板（110）; 和衍射结构（150），所述衍射结构由在胶囊的上壁（132）上以规则节距（p）分布的螺柱（151），杯等等组成。相反＆eacute; ＆Agrave; 所述大胆板或所述上壁的厚度与所述上壁一起形成过滤器; 引导模式＆oacute; 在传输。我们提出了一种具有很高光谱精度的辐射热测量探测器。本发明在实现由本发明构成的多光谱辐射热测量计检测器方面找到了特别有利的应用。几种类型的像素，每种像素都不相同。检测给定的波长。

7. 发明申请

WO2021123616A1 COMPOSANT DE DÉTECTION DE RAYONNEMENT ÉLECTROMAGNÉTIQUE À HAUTE SENSIBILITÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TEL COMPOSANT 审中-公开
公开(公告)号：WO2021123616A1
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：PCT/FR2020/052462
申请日：2020-12-16
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： YON, Jean-Jacques , ALBOUY, Antoine
IPC分类号： G01J5/02 , G01J5/08 , G01J5/20 , G01J5/22 , G01J5/024 , G01J5/0853
摘要： L'invention concerne un Composant de détection (1) de rayonnement électromagnétique (λ) comprenant une structure de détection (100) et un circuit d'alimentation (350) de ladite structure de détection (100). La structure de détection (100) comprenant un transistor associé à un élément absorbant pour détecter l'élévation de température dudit élément absorbant lors de l'absorption du rayonnement électromagnétique (λ). Le circuit d'alimentation (350) est configuré pour alimenter la structure de détection (100) en fonctionnement de telle manière qu'une zone de canal (113) de ladite structure présente au niveau de l'une parmi la première et la deuxième face une couche (114) dans laquelle les porteurs d'un deuxième type de conductivité opposé à un premier type de conductivité d'une zone source (111) et d'une zone de drain (112), ladite couche (114) étant dite couche de blocage. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un tel composant.

8. 发明申请

WO2018167434A1 CAPTEUR DE RAYONNEMENT MUNI D'UNE PROTECTION ANTI-EBLOUISSEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2018167434A1
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：PCT/FR2018/050619
申请日：2018-03-14
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： BECKER, Sébastien , ALIANE, Abdelkader , PELENC, Denis , YON, Jean-Jacques
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/08
摘要： L'invention concerne un capteur de rayonnement comportant une pluralité de pixels (600) formés dans et sur un substrat semiconducteur (101), chaque pixel comportant une microplanche (103) suspendue au-dessus du substrat (101) par des bras d'isolation thermique (105a, 105b), la microplanche (103) comprenant: un élément (601) de conversion d'un rayonnement électromagnétique incident en énergie thermique; et un obturateur optique passif comportant une couche thermochrome (605) revêtant l'une des faces de l'élément de conversion (601), la couche thermochrome présentant un coefficient de réflexion pour le rayonnement à détecter croissant en fonction de sa température.

9. 发明申请

WO2018055276A1 STRUCTURE DE DÉTECTION DE RAYONNEMENTS ÉLECTROMAGNÉTIQUES DE TYPE BOLOMÈTRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE TELLE STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：辐射型电磁辐射探测结构及制造这种结构的方法
公开(公告)号：WO2018055276A1
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：PCT/FR2017/052501
申请日：2017-09-19
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： YON, Jean-Jacques , FUXA, Etienne
IPC分类号： G01J5/02 , G01J5/20 , G01J5/24 , G01J5/08
摘要： Structure de détection (10) de type bolomètre pour la détection d'un rayonnement électromagnétique. La structure de détection (10) comporte un transistor (100) du type MOS-FET associé à l'élément absorbant pour détecter l'élévation de température dudit élément absorbant lors de l'absorption du rayonnement électromagnétique. Le transistor (100) comporte au moins une première et au moins une deuxième zone (111, 112), au moins une troisième zone (113) séparant l'une de l'autre la première et la deuxième zone (111, 112), et au moins une première électrode de grille (120) agencée pour polariser la troisième zone (113). La première électrode de grille (120) comporte au moins une première portion métallique formant le premier élément absorbant. La première portion métallique présentant une épaisseur Ep respectant les inégalités suivantes, Formule. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une telle structure
摘要翻译：用于检测电磁辐射的辐射热测量计型检测结构（10）。检测结构（10）包括与其相关联的MOS-FET类型的晶体管（100）。＆Agrave; 吸收元件用于在吸收电磁辐射期间检测所述吸收元件的温度升高。晶体管（100）具有至少一个第一区域和至少两个第二区域（111,112），至少一个第三区域（113）将第一区域与另一个区域（111）分开。和第二区域（111,112）以及布置成偏置第三区域（113）的至少一个栅格第一电极（120）。第一栅极（120）至少具有形成第一吸收元件的第一金属部分。关于以下不等式的第一金属部分具有厚度Ep。本发明还涉及一种方法制作这样的结构

10. 发明申请

WO2013010933A1 MICROBOLOMETER ARRAY WITH IMPROVED PERFORMANCE 审中-公开
标题翻译：具有改进性能的MICROBOLOMETER ARRAY
公开(公告)号：WO2013010933A1
公开(公告)日：2013-01-24
申请号：PCT/EP2012/063771
申请日：2012-07-13
申请人： CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS , OFFICE NATIONAL D'ETUDES ET DE RECHERCHES AÉROSPATIALES -ONERA , COMMISSARIAT À L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES -CEA , KOECHLIN, Charlie , BOUCHON, Patrick , HAIDAR, Riad , PELOUARD, Jean-Luc , YON, Jean-Jacques , DESCHAMPS, Joël , PARDO, Fabrice , COLLIN, Stéphane
发明人： KOECHLIN, Charlie , BOUCHON, Patrick , HAIDAR, Riad , PELOUARD, Jean-Luc , YON, Jean-Jacques , DESCHAMPS, Joël , PARDO, Fabrice , COLLIN, Stéphane
IPC分类号： G01J5/20 , G01J5/08
CPC分类号： G01J5/20 , G01J5/08 , G01J5/0853 , G01J2005/204 , H01L27/14685 , H04N5/33
摘要： According to one aspect, the invention relates to a microbolometer array for thermal detection of light radiation in a given spectral band, comprising a supporting substrate and an array of microbolometers (300) of given dimensions, arranged in an array. Each of said microbolometers comprises a membrane (301) suspended above said supporting substrate, said membrane consisting of an element (305) for absorbing the incident radiation and a thermometric element (304) in thermal contact with the absorber, electrically insulated from said absorber element. The absorber element comprises at least one first metal/insulator/metal (MIM) structure comprising a multilayer of three superposed films of submicron-order thickness i.e. a first metallic film (311), a dielectric film (310), and a second metallic film (309), said MIM structure being able to have a resonant absorption of said incident radiation at at least one wavelength in said spectral band. The area of the microbolometer pixel covered by said membrane (301) is less than or equal to half of the total area of the microbolometer pixel.
摘要翻译：根据一个方面，本发明涉及一种用于在给定光谱带中的热辐射的热检测的微热辐射计阵列，其包括支撑衬底和以阵列布置的给定尺寸的微热计（300）阵列。每个所述微伏热计包括悬挂在所述支撑基底上方的膜（301），所述膜由用于吸收入射辐射的元件（305）和与所述吸收体热接触的测温元件（304）组成，所述温度测量元件。所述吸收元件包括至少一个第一金属/绝缘体/金属（MIM）结构，其包括具有亚微米级厚度的三层重叠膜的多层，即第一金属膜（311），介电膜（310）和第二金属膜（309），所述MIM结构能够在所述光谱带中具有至少一个波长的所述入射辐射的共振吸收。由所述膜（301）覆盖的微热辐射计像素的面积小于或等于微测热计像素的总面积的一半。

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