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1. 发明申请

WO2019149725A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES ABSTANDES EINES BEWEGTEN OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019149725A1
公开(公告)日：2019-08-08
申请号：PCT/EP2019/052187
申请日：2019-01-30
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , PATRA, Michael , HORN, Jan , ZOTT, Andy , DAVYDENKO, Vladimir
发明人： PATRA, Michael , HORN, Jan , ZOTT, Andy , DAVYDENKO, Vladimir
IPC分类号： G01S17/32 , G01S7/491
CPC分类号： G01S17/32 , G01S7/491 , G01S7/4913 , G01S7/4917
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ermitteln eines Abstandes eines bewegten Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist einen Sender (110) zum Aussenden eines optischen Sendersignals (111), wobei das Sendersignal eine zeitlich variierende Frequenz (ω s (t)) aufweist, einen Detektor (150) zur Erzeugung eines Detektorsignals aus einer Überlagerung eines ersten Teilsignals (121) und eines zweiten Teilsignals (122), wobei das erste Teilsignal (121) und das zweite Teilsignal (122) durch Zerlegung des Sendersignals (111) hervorgegangen sind, wobei das erste Teilsignal (121) ohne vorherige Reflexion an dem Objekt (105) zum Detektor (150) gelangt und wobei das zweite Teilsignal (122) nach Reflexion an dem Objekt (105) zum Detektor (150) gelangt, wobei das Detektorsignal für die Differenzfrequenz (Δω) zwischen der Frequenz des zweiten Teilsignals (122) und der Frequenz des ersten Teilsignals (121) charakteristisch ist, und eine Auswerteeinrichtung (160) auf, welche dazu ausgelegt ist, aus dem zeitlichen Verlauf der Differenzfrequenz (Δω(t)) sowie dem zeitlichen Verlauf der Frequenz (ω s (t)) des Sendersignals selbstkonsistent den zeitlichen Verlauf von Abstand d(t) und Geschwindigkeit v(t) des Objektes zu bestimmen.

2. 发明申请

WO2020011586A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2020011586A1
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：PCT/EP2019/067637
申请日：2019-07-01
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , ZOTT, Andy , HÖLLER, Frank , HORN, Jan
发明人： DAVYDENKO, Vladimir , ZOTT, Andy , HÖLLER, Frank , HORN, Jan
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/491 , G01S17/32 , G01S17/42 , G01S17/58 , G01S17/93
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquelle (210, 310) zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals, und ein dispersives Element (230, 334), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt gelenkt werden auf, wobei die Auswerteeinrichtung weiter zur Ermittlung einer Geschwindigkeit des Objekts auf Basis von jeweils zwei Differenzfrequenz- Bestimmungen zwischen jeweils einem an dem Objekt reflektierten Messsignal und einem nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignal ausgelegt ist, wobei die für diese beiden Differenzfrequenz-Bestimmungen herangezogenen Messsignale sich hinsichtlich der die jeweilige Zeitabhängigkeit ihrer Frequenz beschreibenden Funktion voneinander unterscheiden.

3. 发明申请

WO2019170703A3 VORRICHTUNG ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019170703A3
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：PCT/EP2019/055498
申请日：2019-03-06
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
发明人： DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
IPC分类号： G01S17/32 , G01S17/42 , G01S17/89 , G01S7/481
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts, mit einer Lichtquelle (110, 210, 310, 610) zum Aussenden eines optischen Signals (111, 211, 311) mit zeitlich variierender Frequenz, einer Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240, 340) auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals (121, 221, 321) und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals (122, 222, 322), und einem dispersiven Element (131, 231, 331, 620), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals (121, 221, 321) bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt (140, 240, 340) gelenkt werden.

4. 发明申请

WO2019170703A2 VORRICHTUNG ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019170703A2
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：PCT/EP2019/055498
申请日：2019-03-06
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS AG , DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
发明人： DAVYDENKO, Vladimir , HÖLLER, Frank , ZOTT, Andy
IPC分类号： G01S17/32 , G01S17/42 , G01S17/89 , G01S7/481
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts, mit einer Lichtquelle (110, 210, 310, 610) zum Aussenden eines optischen Signals (111, 211, 311) mit zeitlich variierender Frequenz, einer Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240, 340) auf Basis eines aus dem Signal hervorgegangenen, an dem Objekt reflektierten Messsignals (121, 221, 321) und eines nicht an dem Objekt reflektierten Referenzsignals (122, 222, 322), und einem dispersiven Element (131, 231, 331, 620), welches eine frequenzselektive Winkelverteilung des Messsignals (121, 221, 321) bewirkt, wobei hierdurch erzeugte Teilsignale unter voneinander verschiedenen Winkeln zu dem Objekt (140, 240, 340) gelenkt werden.

5. 发明申请

WO2019145242A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ERMITTELN EINES ABSTANDES EINES BEWEGTEN OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019145242A1
公开(公告)日：2019-08-01
申请号：PCT/EP2019/051320
申请日：2019-01-21
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , DAVYDENKO, Vladimir
发明人： DAVYDENKO, Vladimir
IPC分类号： G01S17/32 , G01S17/58 , G01S7/491
CPC分类号： G01S17/325 , G01S7/4917 , G01S17/58
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Ermitteln eines Abstandes eines bewegten Objekts, sowie eine Lichtquelle zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, insbesondere zur Verwendung in einer solchen Vorrichtung. Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist auf: eine Lichtquelle (110) zum Aussenden eines optischen Signals mit zeitlich variierender Frequenz, wobei die Lichtquelle einen Laser (201, 251), einen ersten WGM-Resonator (210, 260), welcher an den Laser optisch gekoppelt ist, und einen zweiten WGM-Resonator (220, 270), welcher an den Laser optisch gekoppelt ist, aufweist, einen Detektor (160) zur Erzeugung eines Detektorsignals aus einer Überlagerung eines ersten Teilsignals (111) und eines zweiten Teilsignals (121), wobei das erste Teilsignal und das zweite Teilsignal durch Zerlegung des von der Lichtquelle (110) ausgesandten optischen Signals hervorgegangen sind, wobei das erste Teilsignal ohne vorherige Reflexion an dem Objekt zum Detektor gelangt und wobei das zweite Teilsignal nach Reflexion an dem Objekt zum Detektor (160) gelangt, wobei das Detektorsignal für die Differenzfrequenz zwischen der Frequenz des zweiten Teilsignals und der Frequenz des ersten Teilsignals charakteristisch ist, und eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts auf Basis dieser Differenzfrequenz.

6. 发明申请

WO2020064224A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2020064224A1
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：PCT/EP2019/072229
申请日：2019-08-20
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , DAVYDENKO, Vladimir , WEIMANN, Claudius
发明人： DAVYDENKO, Vladimir , WEIMANN, Claudius
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/491 , G01S17/32 , G01S17/42 , G01S17/93
摘要： Eine erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine Lichtquelle (110, 210) zum simultanen Aussenden einer Mehrzahl von optischen Signalen mit jeweils zeitlich variierender Frequenz, wobei sich diese Signale hinsichtlich des Frequenzbereichs, innerhalb dessen diese zeitliche Variation stattfindet, voneinander unterscheiden, eine Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140, 240) auf Basis von aus den optischen Signalen jeweils hervorgegangenen, an dem Objekt (140, 240) reflektierten Messsignalen (121, 221) und nicht an dem Objekt (140, 240) reflektierten Referenzsignalen (122, 222), und ein dispersives Element (130, 230) auf, welches eine vom jeweiligen Frequenzbereich abhängige Winkelverteilung der zu dem Objekt (140, 240) gelenkten Messsignale (121, 221) bewirkt.

7. 发明申请

WO2019170700A1 VORRICHTUNG ZUR SCANNENDEN ABSTANDSERMITTLUNG EINES OBJEKTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019170700A1
公开(公告)日：2019-09-12
申请号：PCT/EP2019/055494
申请日：2019-03-06
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , DAVYDENKO, Vladimir
发明人： DAVYDENKO, Vladimir
IPC分类号： G01S17/32 , G01S17/42 , G01S17/89 , G01S7/481
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts, mit einer Lichtquelle (110) zum Aussenden eines optischen Signals (111) mit zeitlich variierender Frequenz, einer Auswerteeinrichtung zur Ermittlung eines Abstandes des Objekts (140) auf Basis eines aus dem Signal (111) hervorgegangenen, an dem Objekt (140) reflektierten Messsignals (121) und eines nicht an dem Objekt (140) reflektierten Referenzsignals (122), und einer Ablenkeinrichtung zum Ändern des Winkels, unter dem das Messsignal (121) auf das Objekt (140) gelenkt wird, während jeweils eines Abschnitts mit monotoner Zeitabhängigkeit der Frequenz des optischen Signals (111).

8. 发明申请

WO2015124270A1 BELEUCHTUNGSSYSTEM EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SOLCHEN 审中-公开
标题翻译：的微光刻投射曝光设备用于操作相同的照明系统和方法
公开(公告)号：WO2015124270A1
公开(公告)日：2015-08-27
申请号：PCT/EP2015/000273
申请日：2015-02-10
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： DEGÜNTHER, Markus , DAVYDENKO, Vladimir , KORB, Thomas , EISENMENGER, Johannes
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70058 , G03F7/70041 , G03F7/7005 , G03F7/70075 , G03F7/70116
摘要： Ein Beleuchtungssystem einer lithographischen Projektionsbelichtungsanlage (12) umfasst eine Lichtquelle (LS; LS 1, LS 2), die zur Erzeugung einer Abfolge von Lichtpulsen (42-1 bis 42-3; 42-1, 42-2, 52-1, 52-2) eingerichtet ist. Ferner umfasst das Beleuchtungssystem ein Array (28) von optischen Elementen (32), die zwischen zwei Schaltstellungen digital umschaltbar sind. Eine Steuereinrichtung (34) steuert die optischen Elemente (32) so an, dass sie nur zwischen zwei aufeinander folgenden Lichtpulsen ihre Schaltstellung ändern und während der Lichtpulse ihre Schaltstellung beibehalten.
摘要翻译：光刻投射曝光设备（12）的一种照明系统，包括光源（LS; LS 1，LS 2）（用于产生光脉冲的42-1到42-3的序列; 52-1 42-1，42-2，52 -2）被设置。此外，该照明系统包括光学元件（32），其被两个切换位置之间切换的数字的阵列（28）。控制器（34）控制所述光学元件（32）以这样的方式使得它们仅改变两个连续的光脉冲和光脉冲之间它们的开关位置，同时保持他们的切换位置。

9. 发明申请

WO2017108448A1 ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC APPARATUS 审中-公开
标题翻译：微型记录仪器的照明系统
公开(公告)号：WO2017108448A1
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：PCT/EP2016/080406
申请日：2016-12-09
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： DAVYDENKO, Vladimir
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70075
摘要： An illumination system of a microlithographic apparatus has an optical axis (OA) and comprises an optical integrator (52) and a scattering structure (51). The scattering structure is arranged, along a light propagation direction of the system, in front of the optical integrator and comprises a first array of first optical raster elements (76a) and a second array of second optical raster elements (76b). The first array and the second array are spaced apart from each other along the optical axis (OA). This ensures that the light impinging on the optical integrator has an optimum divergence irrespective of the angular distribution of the light impinging on the scattering structure.
摘要翻译：微光刻设备的照明系统具有光轴（OA）并且包括光学积分器（52）和散射结构（51）。散射结构沿着系统的光传播方向布置在光学积分器的前方并且包括第一光栅元件阵列（76a）和第二阵列第二光栅元件（76b）。第一阵列和第二阵列沿着光轴（OA）彼此间隔开。这确保了入射到光学积分器上的光具有最佳发散性，而不管入射到散射结构上的光的角度分布如何。

10. 发明申请

WO2017097601A1 BELEUCHTUNGSSYSTEM EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSANLAGE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SOLCHEN SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：微型投影系统的照明系统和操作这种系统的方法
公开(公告)号：WO2017097601A1
公开(公告)日：2017-06-15
申请号：PCT/EP2016/078695
申请日：2016-11-24
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： DEGÜNTHER, Markus , DAVYDENKO, Vladimir , JÜRGENS, Dirk , KORB, Thomas
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70116 , G03F7/70075 , G03F7/70208
摘要： Ein Beleuchtungssystem einer mikrolithographischen Projektionsanlage (10) hat eine Bildebene (66), in der eine Maske (14) anordenbar ist, und eine erste Objektebene (OP1 ), die zu der Bildebene (66) optisch konjugiert ist. Eine erste Beleuchtungsoptik (42, 50, 52, 58) beleuchtet die erste Objektebene so mit erstem Projektionslicht (301 ), dass das erste Projektionslicht in der Bildebene eine erste Beleuchtungswinkelverteilung hat. Eine zweite Beleuchtungsoptik (42', 51, 70, 72) beleuchtet eine zweite Objektebene, die ebenfalls zu der Bildebene (66) optisch konjugiert ist, so mit zweitem Projektionslicht (302), dass das zweite Projektionslicht in der Bildebene eine zweite Beleuchtungswinkelverteilung hat, die sich von der ersten Beleuchtungswinkelverteilung unterscheidet. Ein optischer Integrator (52), ist ausschließlich im Lichtweg des ersten Projektionslichts (301 ) angeordnet.
摘要翻译：具有
微光刻投射系统（10）的图像平面（66），其中掩模（14）可以被布置的照明系统和第一物体面（OP1），它是共轭的像平面（66），其光学是。第一照明光学系统（42,50,52,58）用第一投影光（301）照射第一物体平面，使得第一投影光在像平面中具有第一照射角度分布。第二照明光学系统（42”，51，70，72）照射的第二对象平面，其是共轭也与图像平面（66）在视觉上，所以与第二投影光（302）在图像平面上的第二投影光具有第二照明角度分布，这不同于第一照明角度分布。一个光学积分器（52）专门设置在第一投影光（301）的光路中。

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