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1. 发明申请

WO2011154244A1 ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM FOR EUV PROJECTION LITHOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：用于EUV投影光刻的照明光学系统
公开(公告)号：WO2011154244A1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：PCT/EP2011/058418
申请日：2011-05-24
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , PATRA, Michael , DITTMANN, Olaf , KIRCH, Marc , ENDRES, Martin , WALTER, Markus , BIELING, Stig , DÖRN, Sebastian
发明人： PATRA, Michael , DITTMANN, Olaf , KIRCH, Marc , ENDRES, Martin , WALTER, Markus , BIELING, Stig , DÖRN, Sebastian
IPC分类号： G03F7/20 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/70116 , G02B26/0833 , G03F7/70075
摘要： An illumination optical system for EUV projection lithography for illuminating an illumination field, in which an object field of a following imaging optical system can be arranged, has a first facet mirror with a plurality of first facets (7 1 ) for the reflective guidance of part bundles of a bundle of EUV illumination light (3). A downstream second facet mirror (10) with a plurality of second facets (11) is used for the reflective guidance of the part bundles (3 1 ; 3 1' ) reflected by the first facets (7 1 ), so object field illumination channels, to which, in each case, a first (7 1 ) and a second (11 1 ; 11 1' ) facet is allocated in each case, are predetermined by the first facets (7) and the second facets (11 1 ; 11 1' ) allocated by means of the reflected bundle guidance. The reflection faces of at least some of the first facets (7 1 ) are tiltable in each case between at least one illumination tilting position to guide the part bundle along an object field illumination channel (3 1 ; 3 1' ) in the direction of one of the second facets (11 1 ; 11 1' ) and at least one switch-off tilting position to guide the part bundle in the direction of a switch-off beam path (30) not impinging on the object field. The direction of the switch-off beam path (30) differs from the direction of the object field illumination channel (3 1 ; 3 1' ). In addition, methods for predetermining a set of switch-off tilting positions of the tiltable first facets (7) are disclosed. The result is an illumination optical system, with which a fine adjustment of illumination settings to be predetermined for the illumination of the illumination field is possible.
摘要翻译：一种用于EUV投影光刻的照明光学系统，用于照亮其中可以布置后续成像光学系统的物场的照明场，具有第一刻面镜，其具有多个第一刻面（71），用于部分束的反射引导的一束EUV照明灯（3）。具有多个第二小面（11）的下游第二分面反射镜（10）用于由第一面（71）反射的部分束（31; 31'）的反射引导，因此物场照明通道在每种情况下，在每种情况下分配第一（71）和第二（111; 111'）面是由第一面（7）和第二面（111; 111'）预先分配反映束指导。第一小面（71）中的至少一些的反射面在每种情况下可在至少一个照明倾斜位置之间倾斜，以沿着物场照明通道（31; 31'）沿着物体照明通道第二小面（111; 111'）和至少一个关闭倾斜位置，以沿着不撞击物体场的关闭光束路径（30）的方向引导部分束。关闭光束路径（30）的方向与物场照明通道（31; 31'）的方向不同。此外，公开了用于预先确定可倾斜第一面（7）的一组关闭倾斜位置的方法。结果是照明光学系统，可以对照明场的照明进行预定的照明设置的微调。

2. 发明申请

WO2013010806A1 OPTICAL ASSEMBLY WITH SUPPRESSION OF DEGRADATION 审中-公开
标题翻译：光学组件抑制降解
公开(公告)号：WO2013010806A1
公开(公告)日：2013-01-24
申请号：PCT/EP2012/063101
申请日：2012-07-05
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , SCHMIDT, Stefan-Wolfgang , EHM, Dirk Heinrich , WALTER, Markus
发明人： SCHMIDT, Stefan-Wolfgang , EHM, Dirk Heinrich , WALTER, Markus
IPC分类号： G03F7/20 , G21K1/06
CPC分类号： G03F7/70883 , G03F7/70891 , G03F7/70916 , G03F7/70925 , G03F7/70983
摘要： The invention relates to an optical assembly, in particular a projection exposure apparatus for EUV lithography, comprising: a beam generating system for generating radiation (6) at an operating wavelength,at least one optical element (13, 14) which is subjected to the radiation (6) and is arranged in a residual gas atmosphere, and a feed device for feeding at least one gaseous constituent into the residual gas atmosphere in order to suppress a degradation of the surface (14a) of the optical element (14) that is induced by the radiation, wherein either a beam diameter (d) of the radiation (6) at the surface of the optical element, in particular at the surfaces of all optical elements of the optical assembly, lies above a threshold value (d c ) so that a suppression of the degradation by the gaseous constituent is effective, or the beam diameter (d) at the surface (14a) of the optical element (14) lies below the threshold value (d c ) so that a reduction of the effectiveness of the suppression of degradation occurs,and at least one further device (25, 27) for the improved suppression of the degradation of the surface (14a) is assigned to the optical element (14).The invention also relates to an associated method for operating an optical assembly.
摘要翻译：本发明涉及一种光学组件，特别是用于EUV光刻的投影曝光设备，包括：用于产生工作波长的辐射（6）的光束产生系统，至少一个光学元件（13,14）辐射（6）并且设置在残留气体气氛中，以及用于将至少一种气态成分供给到残留气体气氛中的进料装置，以便抑制光学元件（14）的表面（14a）的劣化，其特征在于光学组件的所有光学元件的表面处的辐射（6）的光束直径（d）在光学元件的表面处，特别是在阈值（dc）之上，所以光束直径（d）抑制气态组分的降解是有效的，或者光学元件（14）的表面（14a）处的光束直径（d）低于阈值（dc），使得降低 suppres 并且至少一个用于改善对表面（14a）的降解的抑制的装置（25,27）被分配给光学元件（14）。本发明还涉及一种用于操作光学组件。

3. 发明申请

WO2010025752A1 VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SYSTEMS AUS WENIGSTENS EINEM ELEKTRISCHEN VERBRAUCHER UND EINER BRENNSTOFFZELLENANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：一种用于运行至少一个用电设备的系统及燃料电池装置
公开(公告)号：WO2010025752A1
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：PCT/EP2008/007265
申请日：2008-09-05
申请人： DAIMLER AG , WALTER, Markus
发明人： WALTER, Markus
IPC分类号： H01M8/04
CPC分类号： H01M8/04559 , H01M8/04589 , H01M8/0494
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Systems (1) aus wenigstens einem elektrischen Verbraucher (3) und einer Brennstoffzellenanordnung (2), von der eine elektrische Leistung (PBz) für den Verbraucher (3) bereitgestellt wird und die durch einen die bereitgestellte Leistung (PBz) repräsentierenden Ausgangsstrom (IBz) und eine die bereitgestellte Leistung (PBz) repräsentierende Ausgangsspannung (PBZ) sowie einen zugehörigen Arbeitspunkt (AP) charakterisiert ist, wobei anhand einer aktiven Variation einer oder eines durch den elektrischen Verbraucher (3) vorgegebenen Spannung (U) oder Strom (I) eine dynamische Leistungskennzahl (KMPP) ermittelt wird, anhand der der Arbeitspunkt (AP) der Brennstoffzellenanordnung (2) ermittelt und eingestellt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种操作的系统（1）包括至少一个电负载从其中提供（3）和燃料电池组件（2），为消费者（3）的电功率（PBZ）的方法，并通过提供的电力（PBZ）表示输出电流（IBZ）和表示输出电压（PBZ）和相关联的工作点（AP）所提供的功率（PBZ）的特征在于，其中（上一个的活性的变化或通过所述电负载（3）给定的电压U的基于）或电流（I）具有的性能（KMPP的动态系数）的燃料电池组件（2）的工作点（AP）的基础上确定被确定和设置。

4. 发明申请

WO2009052953A1 BRENNSTOFFZELLENSYSTEM MIT ZUMINDEST EINER BRENNSTOFFZELLE 审中-公开
标题翻译：与至少一个燃料电池的燃料电池系统
公开(公告)号：WO2009052953A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/EP2008/008524
申请日：2008-10-09
申请人： DAIMLER AG , WALTER, Markus
发明人： WALTER, Markus
IPC分类号： H01M8/04
CPC分类号： H01M8/04246 , H01M8/04223
摘要： Die Erfindung betrifft ein Brennstoffzellensystem mit zumindest einer Brennstoffzelle (2), welche mit elektrischen Anschlussleitungen (3, 4) verbunden ist, wobei die Brennstoffzelle (2) für eine erforderliche Notabschaltung kurzschließbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种燃料电池系统，具有至少一个燃料电池（2），其连接到电连接线（3，4），其中，用于所需要的紧急关闭所述燃料电池（2）是短路的。

5. 发明申请

WO2004015503A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM STEUERN EINES REAKTORS 审中-公开
标题翻译：设备及其控制方法的反应器
公开(公告)号：WO2004015503A1
公开(公告)日：2004-02-19
申请号：PCT/DE2003/002538
申请日：2003-07-29
申请人： DAIMLERCHRYSLER AG , WALTER, Markus
发明人： WALTER, Markus
IPC分类号： G05B5/01
CPC分类号： G05B5/01
摘要： Eine Steuervorrichtung für einen Reaktor (1) umfasst wenigstens einen Sensor (4) zum Erfassen einer für die Effektivität des Reaktors repräsentativen Größe und zum Liefern eines der erfassten Größe entsprechenden Messsignals, eine mit dem Sensor verbundene Steuereinheit (3) zum Ableiten wenigstens eines Steuersignals (e) von dem vom Sensor (4) gelieferten Messsignal (a) and wenigstens einen Aktor (2) zum Beeinflusen eines Prozessparameters des Reaktors (1) anhand des Steuersignals (e). Die Steuereinheit (3) erzeugt das Steuersignal (e) mit einem von der erfassten Größe abhängigen Gleichanteil und einer mit einer ersten Frequenz (f 1 ) oszillierenden Komponente and ist eingerichtet, den Gleichanteil anhand eines Verhältnisses zwischen der oszillierenden Komponente des Steuersignals (e) and einer mit der ersten Frequenz oszillierenden Komponente des Messsignals (a) festzulegen.
摘要翻译：用于反应器的控制装置（1）包括至少一个传感器（4），用于检测反应器的尺寸的效果的代表，和用于相应的测量信号，连接到传感器控制单元（3），用于导出至少一个控制信号提供所检测到的尺寸中的一个（由传感器提供的e）测量信号（4）（a）和至少一个致动器（2），用于Beeinflusen反应器（1）（控制信号e的基础上的处理参数）。所述控制单元（3）产生具有根据直流分量的检测到的尺寸的值的控制信号（S）和一个具有第一频率（F1）振荡成分和被布置成控制信号（一个或多个）的振动分量之间的关系的基础上的DC分量和与所述测量信号（A）组的第一频率分量的振荡。

6. 发明申请

WO2010031864A1 REFLOW-LÖTVORRICHTUNG MIT EINER EINE TRENNWAND AUFWEISENDEN PROZESSKAMMER VERFAHREN ZUM REFLOW-LÖTEN -UNTER VERWENDUNG EINER SOLCHEN REFLOW- LÖTVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： WITH A一个分区HAVING处理室METHOD FOR回流焊 - 下层 - 使用这种回流焊接设备回流焊
公开(公告)号：WO2010031864A1
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：PCT/EP2009/062191
申请日：2009-09-21
申请人： SEHO SYSTEMTECHNIK GMBH , DIEHM, Rolf , SCHLEMBACH, Thomas , ULLRICH, Ruldolf , WALTER, Markus
发明人： DIEHM, Rolf , SCHLEMBACH, Thomas , ULLRICH, Ruldolf , WALTER, Markus
IPC分类号： B23K1/00 , B23K1/008 , B23K1/012 , F27B9/02 , H05K3/34
CPC分类号： B23K1/008 , B23K1/0016 , B23K1/012 , B23K2201/42
摘要： Die Erfindung betrifft eine Reflow-Lötvorrichtung umfassend - eine Prozesskammer mit einer Fördereinrichtung zum Befördern von einer Wärmebehandlung zu unterziehenden Baugruppen, - Gebläseeinrichtungen (28) zum Zuführen eines Luftstroms zu den Leiterplatten, - Heizeinrichtungen (35) zum Erwärmen des Luftstroms. Die Reflow-Letvorrichtung weist weiter auf, dass in der Prozesskammer eine Trennwand (10) angeordnet ist, die die Prozesskammer in Querrichtung in zwei Prozessteilkammern (11, 12) unterteilt, wobei die Gebläseeinrichtungen (28) und Heizeinrichtungen (35) der beiden Prozessteilkammern (11, 12) unabhängig voneinander ansteuerbar sind, so dass in den Prozessteilkammern (11, 12) unterschiedliche Temperaturen einstellbar sind.
摘要翻译：本发明涉及一种回流焊接装置，包括： - 具有用于输送热处理的输送机的处理室以进行装配， - 风扇装置（28）用于供给空气流至所述印刷电路板， - 用于加热空气流加热装置（35）。回流Letvorrichtung还包括在处理室（10）的分隔壁被布置在横向方向上的处理室中的两个处理子腔室（11，12）被划分，（其中，所述两个过程子腔室的风扇装置（28）和加热装置（35） 11，12）彼此独立地控制，使得在该过程子室（11，12）不同的温度是可调节的。

7. 发明申请

WO2010020332A1 VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES BRENNSTOFFZELLENSYSTEMS MIT EINER BRENNSTOFFZELLE UND EINEM ELEKTRISCH ANTREIBBAREN TURBOLADER 审中-公开
标题翻译：一种用于操作燃料电池系统的燃料电池和电驱动的涡轮增压器
公开(公告)号：WO2010020332A1
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：PCT/EP2009/005451
申请日：2009-07-28
申请人： DAIMLER AG , FORD GLOBAL TECHNOLOGIE, LLC , ESSLING, Rolf-Peter , KNOOP, Andreas , STRAUHS, Jörg , TÜXEN, Thorsten , WALTER, Markus , WEIGELE, Klaus , WIESHEU, Norbert
发明人： ESSLING, Rolf-Peter , KNOOP, Andreas , STRAUHS, Jörg , TÜXEN, Thorsten , WALTER, Markus , WEIGELE, Klaus , WIESHEU, Norbert
IPC分类号： H01M8/04
CPC分类号： H01M8/04111 , H01M2008/1095
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Brennstoffzellensystems mit einer Brennstoffzelle 16, einem elektrisch antreibbaren Turbolader, der einen Verdichter 13 und eine parallel zum Verdichter angeordnete Bypassleitung 19 mit einer Durchflusssteuereinrichtung 15 umfasst, und einer Sensoreinrichtung 12, 20 zur Messung und/oder Berechnung eines Massenstroms durch die Bypassleitung 19, bei dem mit Hilfe der Durchflusssteuereinrichtung 15 ein Massenstrom durch die Bypassleitung 19 derart eingestellt wird, dass der Verdichter 13 in einem Betriebsbereich zwischen einer Pumpgrenze 2 des Verdichters 13 und einer Druckverlustkurve 3 der Brennstoffzelle 16 betrieben wird. Die Erfindung betrifft ferner ein Brennstoffzellensystem 10 zur Durchführung des Verfahrens.
摘要翻译：本发明涉及一种用于操作燃料电池系统的燃料电池16，电驱动的涡轮增压器，其包括压缩机13，和一个平行于带流量调节压缩机设置旁通管路19装置15和传感器装置12，20，用于测量和/或计算质量流量通过旁通管路19中，质量流量通过旁通通道19调整，以便通过流量控制装置15，该压缩机在压缩机13的喘振线2和燃料电池16第十三的压力损失曲线3之间的操作范围内操作本发明进一步涉及一种燃料电池系统10用于实现该方法。

8. 发明申请

WO2009049782A1 VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES SYSTEMS AUS MINDESTENS EINEM IN EINEM ELEKTRISCHEN NETZ ANGEORDNETEN ELEKTRISCHEN VERBRAUCHER UND EINEM BRENNSTOFFZELLENSYSTEM 审中-公开
标题翻译：为经营的至少一个系统的电力法ARRANGED用电设备及燃料电池系统
公开(公告)号：WO2009049782A1
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：PCT/EP2008/008415
申请日：2008-10-06
申请人： DAIMLER AG , WALTER, Markus
发明人： WALTER, Markus
IPC分类号： B60L11/18 , H01M8/04 , H01M16/00
CPC分类号： H01M16/006 , B60L11/1824 , B60L11/1887 , B60L2210/10 , H01M8/04559 , H01M8/04567 , H01M8/04753 , H01M8/04888 , H01M8/04947 , H01M2250/20 , Y02T10/7072 , Y02T10/7216 , Y02T90/12 , Y02T90/121 , Y02T90/127 , Y02T90/14 , Y02T90/32 , Y02T90/34
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Systems aus mindestens einem in einem elektrischen Netz (6) angeordneten elektrischen Verbraucher (3) und einem Brennstoffzellensystem (1), von welchem eine elektrische Leistung in das elektrische Netz (6) eingespeist wird, wobei eine dem Brennstoffzellensystem (1) zugeführte Menge von Medien entsprechend einer vom Brennstoffzellensystem (1) geforderten Leistung (P soll ) gesteuert wird, wobei eine Zwischenkreisspannung (U zκ ) im elektrischen Netz (6) auf einen vorgegebenen Wert geregelt wird, wobei die Zwischenkreisspannung (U zκ ) vom Brennstoffzellensystem (1) vorgegeben und mittels eines DC/DC-Wandlers (4), über den einem Energiespeicher (5) Energie aus dem elektrischen Netz (6) zugeführt und/oder über den dem elektrischen Netz (6) Energie aus dem Energiespeicher (5) zugeführt wird, geregelt wird oder dass dem elektrischen Netz (6) Energie direkt aus dem Energiespeicher (5) zugeführt und/oder dem Energiespeicher (5) Energie direkt aus dem elektrischen Netz (6) zugeführt wird, wobei das Brennstoffzelensystem (1) die Zwischenkreisspannung (U zκ ) selbst regelt.
摘要翻译：本发明涉及一种操作，其在电网络布置在至少一个（6）的电负载（3）和燃料电池系统（1），从该电网（6）中的电功率被馈送的系统中，一种方法，其中所述燃料电池系统（1）的按照所涉及的燃料电池系统（1）功率（Psoll）所需的媒体供给量进行控制，其特征在于，一个中间电路电压（乌斯？）是电网（6）调节为预定值，其中，所述中间电路电压（乌斯？）燃料电池系统（1）是预定的，由（4），通过该能量存储装置（5）和/或经由所述电网（6）从所述能量存储器提供的能量从电网（6）的能量的DC / DC转换器的装置（ 5）被供给，被控制，或者，所述电网络（6）从所述能量存储装置（5）和/或所述能量存储装置（5）供给能量的能量直接直接从电网（6）被提供，其中，所述Brennstoffzelensystem（1）本身调节中间电路电压（乌斯？）。

9. 发明申请

WO2009049779A1 VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES BRENNSTOFFZELLENSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：一种用于运行的燃料电池系统
公开(公告)号：WO2009049779A1
公开(公告)日：2009-04-23
申请号：PCT/EP2008/008403
申请日：2008-10-04
申请人： DAIMLER AG , STRAUHS, Jörg , WALTER, Markus
发明人： STRAUHS, Jörg , WALTER, Markus
IPC分类号： H01M8/04
CPC分类号： H01M8/04097 , H01M8/04223 , H01M8/04231 , H01M8/04268 , H01M8/04302 , H01M2008/1095
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren Verfahren zum Betreiben eines Brennstoff zellensystems (1), welches nach einem Abschalten angefahren wird und bei dem in der Anfahrphase ein Brennstoff durch den sich zumindest anteilig mit Luft gefüllten Anodenraum (4) einer Brennstoffzelle (2) geleitet wird, und ein während der Anfahrphase aus dem Anodenraum (4) austretendes Anodengasgemisch in einer Rezirkulationseinrichtung (9) des Brennstoff zellensystems (1) zumindest anteilig wieder in den Anodenraum (4) geleitet wird, wobei die von einem Brennstoff Speicher (6) zum Anodenraum (4) zugeleitete Menge von Brennstoff während der Anfahrphase zumindest zeitweise variiert wird.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于操作燃料电池系统（1），其在关闭后接近，并且其中在所述启动阶段中，燃料通过至少部分地填充有空气，阳极室（4）供给到燃料电池（2），和从阳极空间的开始期间（4）泄漏阳极气体混合物中的再循环装置（9），所述燃料电池系统（1）的至少引导成比例回到阳极室（4），从燃料储存箱（6）到阳极室（4）在启动期间燃料供给起始量为至少间断地变化。

10. 发明申请

WO2008125308A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER NEGATIVFORM FÜR DIE FERTIGUNG VON EIN GERINNE AUFWEISENDEN SCHACHTBODENSTÜCKEN 审中-公开
标题翻译：方法产生负形成用于水槽制造具有BAY地板件
公开(公告)号：WO2008125308A1
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：PCT/EP2008/002903
申请日：2008-04-11
申请人： BFS BETONFERTIGTEILESYSTEME GMBH , MUELLER, Klaus , MARTIN, Juergen , SCHWABE, Joerg-Henry , WALTER, Markus
发明人： MUELLER, Klaus , MARTIN, Juergen , SCHWABE, Joerg-Henry , WALTER, Markus
IPC分类号： B28B7/16 , B28B7/34 , B26F3/08
CPC分类号： B26D3/006 , B26F3/08 , B28B7/168 , B28B7/346
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Negativform für die Fertigung von ein Gerinne aufweisenden Schachtbodenstücken, bei welchem man aus einem Grundkörper (22) aus einem Material, welches bei Raumtemperatur fest ist und dann, wenn es nach dem Schmelzen durch Temperaturerhöhung und dem anschließenden Abkühlen wieder ausgehärtet ist, im Wesentlichen die gleiche spezifische Dichte aufweist wie vor dem Schmelzen, mittels eines Schneidwerkzeugs (30) ein zur Ausbildung des Gerinneasts bestimmtes Negativformteil (20b) aus dem Grundkörper (22) herauslöst und auf dem Boden einer Form zur Fertigung des Schachtbodenstücks anordnet.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于制造阴模的制造水槽的具有轴底部件，其在室温下为固体，然后在材料的基体（22）的其中之一，当其温度增加和随后的冷却熔融后再次硬化，具有基本相同的比重为熔化，通过切割工具的手段之前（30）溶解的特定顺序以形成兰Easts阴模部分（20b）的所述基体（22）和布置在模具的底部用于生产轴底部件的的，

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