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    • 2. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TEMPERIEREN VON ELEMENTEN IN MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGEN
    • WO2021239299A1
    • 2021-12-02
    • PCT/EP2021/058218
    • 2021-03-30
    • CARL ZEISS SMT GMBH
    • MONZ, ThomasKEMP, AlexandreLIPPERT, Johannes
    • G03F7/20
    • Die Erfindung betrifft eine mikrolithographi sehe Proj ektionsbelichtungsanlage, insbesondere für den DUV-Bereich (400) oder für den EUV-Bereich (100), aufweisend eine Beleuchtungseinrichtung (102; 402) und ein Proj ektionsobj ektiv (104, 340, 640; 404) mit mindestens einem Element (370, 372, 380, 382, 390, 396, 397, 399, 391, 392, 393, 394, 398, 451, 930, 1010, 1012, 1014), das zu seiner Temperierung zumindest bereichsweise von mindestens einer zum Leiten eines Temperierfluids vorgesehenen Temperi erflui dl eitung (302, 304, 306, 308, 310, 452, 476, 486, 602, 919, 921, 1007) durchzogen ist, wobei die Temperierfluidleitung (302, 304, 306, 308, 310, 452, 476, 486, 602, 919, 921, 1007) mit mindestens einem T emperi erflui dvorratsb ehälter (470, 480, 615, 515, 516, 519, 460, 920, 1020) verbunden ist und wobei mindestens ein Temperierelement (702, 704, 706, 906, 916, 1006) zum Temperieren des Temperierfluids an oder in der T emperi erflui dl eitung (302, 304, 306, 308, 310, 452, 476, 486, 602, 919, 921, 1007) vorgesehen ist, wobei - mindestens zwei der Elemente (370, 372, 380, 382, 390, 396, 397, 399, 391, 392, 393, 394, 398, 451, 930, 1010, 1012, 1014) unabhängig voneinander mit jeweils mindestens einer separaten der T emperi erflui dl eitungen (302, 304, 306, 308, 310, 452, 476, 486, 602, 919, 921, 1007) oder - mindestens zwei verschiedene Bereiche des mindestens einen Elements (370, 372, 380, 382, 390, 396, 397, 399, 391, 392, 393, 394, 398, 451, 930, 1010, 1012, 1014) unabhängig voneinander mit jeweils mindestens einer separaten der Temperierfluidleitungen (302, 304, 306, 308, 310, 452, 476, 486, 602, 919, 921, 1007) oder - mindestens zwei der Elemente (370, 372, 380, 382, 390, 396, 397, 399, 391, 392, 393, 394, 398, 451, 930, 1010, 1012, 1014) mit der Temperierfluidleitung (302, 304, 306, 308, 310, 452, 476, 486, 602, 919, 921, 1007) durchzogen sind. Die Erfindung betrifft zudem ein Verfahren zur Temperierung mindestens eines Elements einer mikrolithographi sehen Proj ektionsbelichtungsanlage (300, 400).