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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES ELEMENTS MIT MINDESTENS EINER FREIFORMFLÄCHE MIT HOHER FORMGENAUIGKEIT UND GERINGER OBERFLÄCHENRAUHIGKEIT
    • 方法和设备制作元件与至少一个自由形式表面的高形状精度和表面粗糙度低
    • WO2008113858A2
    • 2008-09-25
    • PCT/EP2008/053398
    • 2008-03-20
    • CARL ZEISS SMT AGBÖHM, ThureBURKART, StefanMANN, Hans-JürgenCHAN, DannyMALTOR, Holger
    • BÖHM, ThureBURKART, StefanMANN, Hans-JürgenCHAN, DannyMALTOR, Holger
    • B24B13/00
    • B24B13/0043Y10T428/24355
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Elements mit mindestens einer beliebig frei geformten Fläche (Freiformfläche) mit hoher Formgenauigkeit und geringer Oberflächenrauhigkeit sowie ein optisches Element mit einer optischen Freiformfläche und eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem entsprechenden optischen Element, wobei die Freiformfläche durch mindestens einen ersten Bearbeitungsschritt mit einem formgebenden Materialbearbeitungsverfahren, bei dem zumindest eine Annäherung an die gewünschte Freiformfläche (Zielform) erfolgt, und mindestens einem zweiten Schritt mit einem die Oberfläche glättenden Materialbearbeitungsverfahren erhalten wird, wobei mindestens während eines zweiten Bearbeitungsschrittes der glättenden Materialbearbeitung das zu bearbeitende Element (1) durch Krafteinleitung derart elastisch verspannt ist, dass die zu glättende Freiformfläche durch Glättprozesse für sphärische, plane oder asphärische Oberflächen bearbeitbar ist. Die Erfindung betrifft ferner eine entsprechende Vorrichtung zum Glätten einer beliebig frei geformten Fläche (Freiformfläche) eines Elements mit hoher Formgenauigkeit und geringer Oberflächenrauhigkeit mit einer Halterung zur Aufnahme des zu bearbeitenden Elements und einem Glättwerkzeug zur glättenden Bearbeitung der Freiformfläche, wobei die Aufnahme mindestens einen Aktor (6) zur Ausübung einer Kraft auf das zu bearbeitende Element aufweist, so dass das zu bearbeitende Element in eine intermediäre Form (2") elastisch verspannt ist, so dass die zu glättende Freiformfläche mit dem Glättwerkzeug durch Glättprozesse für sphärische, plane oder asphärische Oberflächen bearbeitbar ist.
    • 本发明涉及一种用于具有至少一个任意地自由形成的表面(自由曲面)与形式和低的表面粗糙度的精度高以及具有用于微光刻光学自由形式表面和投射曝光系统与相应的光学元件,其中,所述自由形态的表面由光学元件产生的元件 至少用模制材料处理方法,其中至少一个近似为所需的自由形式表面(目标形状)的第一加工步骤中进行,和至少一个第二步骤中,用表面平滑化,其中在平滑材料处理元件的第二处理步骤,用于至少编辑材料的加工方法获得的 (1)通过的力,该自由曲面以通过平滑球形,平面,或一个进程被平滑应用弹性支撑 球形表面是可编辑的。 本发明还涉及一种相应的装置,用于保持待加工的构件和用于自由形式表面的平滑化处理的平滑化工具,其中所述接收至少一个致动器平滑用的保持件的形式和低的表面粗糙度的精度高的元件的任意自由曲面(自由曲面)( 6),用于在元件上施加力,以进行处理,从而使待处理的部件(在中间形式2“)被弹性地通过平滑球形,平面,或非球面表面处理强调与平滑工具处理,使得被平滑的自由曲面 是。