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1. 发明申请

WO2009010353A3 COMPONENT COMPRISING AT LEAST ONE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HAVING AN INTEGRATED CIRCUIT 审中-公开
标题翻译：带有一个集成的电路的至少一个半导体基底部件
公开(公告)号：WO2009010353A3
公开(公告)日：2009-03-26
申请号：PCT/EP2008057523
申请日：2008-06-16
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , BRUEGGENOLTE CHRISTOPH , KUEMMEL THOMAS , FISCHER FRANK
发明人： BRUEGGENOLTE CHRISTOPH , KUEMMEL THOMAS , FISCHER FRANK
IPC分类号： H01L23/34
CPC分类号： H01L23/345 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The invention relates to a component (1) comprising at least one semiconductor substrate (5, 6) having an integrated circuit. The invention is characterized in that the component (1) comprises at least one electrical heating element (4) for heating the integrated circuit. The invention also relates to a method for determining at least one temperature-dependent function of a component (1) which comprises at least one semiconductor substrate (5, 6) having an integrated circuit. The method according to the invention comprises the following steps: determining the temperature-dependent function of the component (1) at at least two different temperatures thereof, and generating at least one of the two different temperatures of the component (1) from the component's (1) own built-up heat.
摘要翻译：本发明涉及一种具有至少一个半导体衬底（5,6），具有集成电电路中的组件（1）。本发明的核心是，部件（1）具有用于加热所述集成电路的至少一个电加热元件（4）。本发明还涉及一种用于具有至少一个半导体衬底（5,6），具有集成电路确定的成分（1）中的至少一个温度相关的函数。该方法包括方法步骤，随着部件的至少两个不同温度（1），其温度依赖性函数被确定，并且所产生的组分（1）的自加热的两个不同的温度的部件（1）中的至少一个。

2. 发明申请

WO2011069869A2 ELECTRIC MOTOR HAVING A PULSE WIDTH MODULATOR 审中-公开
标题翻译：用脉冲宽度调制器，电机
公开(公告)号：WO2011069869A2
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：PCT/EP2010068639
申请日：2010-12-01
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , LURK VOLKER , HABERL NIKOLAS , FISCHER FRANK , PODDEY CHRISTIAN , STIEFEL TOBIAS , KOERNER MICHAEL
发明人： LURK VOLKER , HABERL NIKOLAS , FISCHER FRANK , PODDEY CHRISTIAN , STIEFEL TOBIAS , KOERNER MICHAEL
IPC分类号： H02P7/29
CPC分类号： H02P7/29
摘要： The invention relates to an electric motor having a stator and a rotor. The electric motor also comprises a controller, wherein the controller is connected to the stator and/or rotor, and is designed for applying current to the stator and/or rotor for rotating the rotor. According to the invention, the controller comprises a pulse width modulator designed for controlling a power output of the electric motor, in order to generate a predetermined number of different current application patterns. The current application patterns each represent a power output of the electric motor, and preferably comprise a time sequence of current pulses, each having a current pulse duration. The controller is designed for applying current to the electric motor according to at least two different current application patterns for actuating the electric motor during a time interval of actuation, such that a power output of the electric motor in the time-based average of the time interval of actuation, in particular from the beginning to the end of the time interval, is different from the power outputs represented by the current application patterns in the time interval of actuation.
摘要翻译：本发明涉及一种具有定子和转子的电动机。电动机还具有控制单元，其中，与所述定子和/或转子的控制单元连接，并配置为将所述定子和/或转子通电，转子的旋转运动。根据本发明，所述控制单元包括：脉宽调制器，其被设计为产生用于控制电动机的输出功率，预定数量的不同通电模式彼此。的电流源分别表示所述电动机的输出功率，并且优选地具有电流脉冲的时间序列，每一个电流脉冲的持续时间。该控制单元适于以激励用于根据至少两个相互不同的电流模式驱动所述电动机的时间间隔期间驱动所述电动机，使得在驾驶的时间间隔的时间平均值的电动机的到的所述时间间隔的端部的功率输出，特别是从一开始就通过在表示驱动功率输出的时间间隔的通电模式不同。

3. 发明申请

WO2004026760A3 DEVICE AND METHOD 审中-公开
标题翻译：法蚀刻的沟槽及相关设备
公开(公告)号：WO2004026760A3
公开(公告)日：2005-01-27
申请号：PCT/DE0300629
申请日：2003-02-27
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , METZGER LARS , FISCHER FRANK
发明人： METZGER LARS , FISCHER FRANK
IPC分类号： B81C1/00 , G01P15/08 , B81B1/00
CPC分类号： B81C1/00611 , B81B2203/033 , B81C2201/0112 , B81C2201/0119 , G01P15/0802
摘要： The invention relates to a device provided with a micromechanical structure and a method, wherein a relatively flat surface (60) of a covering layer is provided with walls (20) of the structure which have etching grooves adhering thereto.
摘要翻译：建议用的微机械结构的装置和在其上设置有相对光滑的表面（60）的覆盖层（50）上受折磨的与该结构的光栅槽壁（20）的方法。

4. 发明申请

WO2004028959A3 METHOD AND MICROMECHANICAL DEVICE 审中-公开
标题翻译：方法和微机械装置
公开(公告)号：WO2004028959A3
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/DE0300704
申请日：2003-03-06
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , METZGER LARS , FISCHER FRANK
发明人： METZGER LARS , FISCHER FRANK
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00246 , B81C2203/0735
摘要： Disclosed are a method and a device in which a high frequency component comprising a metallic conductor is produced by means of a low temperature method.
摘要翻译：提出了一种方法和设备，其中通过低温工艺利用金属导体制造高频器件。

5. 发明申请

WO0158803A3 METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT, AND A COMPONENT PRODUCED ACCORDING TO SAID METHOD 审中-公开
标题翻译：用于生产微机械结构和直线到组件MADE
公开(公告)号：WO0158803A3
公开(公告)日：2002-03-14
申请号：PCT/DE0004673
申请日：2000-12-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , FISCHER FRANK , HEIN PETER , GRAF ECKHARD
发明人： FISCHER FRANK , HEIN PETER , GRAF ECKHARD
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00 , B81C3/00 , G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84
CPC分类号： B81C1/00801 , B81B2203/0136 , B81B2203/0315 , B81C2201/0109 , B81C2201/053 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814
摘要： The invention relates to a method for producing a micromechanical component (100) that comprises at least one cavity (110) and one functional element (12) at least partially disposed in said cavity (110) and/or one functional layer (13a, 13b, 13c) at least partially disposed therein. The invention further relates to a micromechanical component (100) produced according to the inventive method. The aim of the invention is to reduce the production costs for such a micromechanical component. To this end, the functional element (12) and/or the functional layer (13a, 13b, 13c) is provided with a first protective layer (41; 71) at least in a zone that adjoins a first sacrificial coating (52) that temporarily occupies the space of the cavity (22) subsequently formed in one or more etching steps. The material of the first protective layer (41) is selected in such a manner that at least one etching method and/or etching agent etching or dissolving the first sacrificial coating (52) does substantially not corrode the first protective layer (41; 71) or corrodes it only at a reduced etching rate in relation to the first sacrificial coating (52).
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造微机械部件（100）的方法，设置有至少一个腔（110）和一个至少在所述腔内部分（110）的功能元件（12）和/或至少部分地设置在其中功能层（13A， 13B，13C），以及根据根据有关独立权利要求的前序部分的方法（100）制备的微机械部件。以降低制造成本，功能元件（12）和/或所述功能层（13A，13B，13C）是相邻于第一牺牲层（52）的区域中的至少该暂时形成在下面的一个或多个蚀刻步骤的空间空腔（22）占据，其中第一保护层（41; 71）提供（图4;图7），其中，所述第一保护层（41）的材料被选择为使得至少一个第一牺牲层（52）或腐蚀性。解析度蚀刻和/或蚀刻介质，所述第一保护层（41; 71）基本上仅与相对于所述第一牺牲层（52）蚀刻速度降低的接合或没有。

6. 发明申请

WO03106328A2 MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD 审中-公开
标题翻译：微机械结构及相应方法
公开(公告)号：WO03106328A2
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：PCT/DE0300552
申请日：2003-02-21
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , NUECHTER WOLFGANG , FISCHER FRANK , HAAG FRIEDER , GRAF ECKHARD
发明人： NUECHTER WOLFGANG , FISCHER FRANK , HAAG FRIEDER , GRAF ECKHARD
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , B81C3/00 , H01L21/56 , H01L21/60 , H01L23/02 , H01L23/495
CPC分类号： B81B7/0077 , H01L21/563 , H01L23/49575 , H01L2224/16145 , H01L2224/32145 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/73204 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： The invention relates to a micromechanical component comprising a chip (18;18a-e) mounted on a substrate (15a-e), said chip having a capped region (19; 19a-e) which is raised in relation to its surrounding area and an assembly region (9) provided in the surrounding area of the capped chip region (19; 19a-e). Said chip (18;18a-e) is mounted on the substrate (15a-e), by means of an assembly device (16) which is connected to the assembly region (9), in such a way that the capped chip region (19; 19a-e) faces the substrate (15a-e) and is at a distance from the same. The capped chip region (19; 19a-e) is surrounded by an underfilling (20) beneath the chip (18;18a-e). The invention also relates to a corresponding production method.
摘要翻译：本发明提供了一种具有微机械部件的基座（15A-E），其安装芯片（18; 18A）上相比，它的周围环境，其增加时，封端的芯片区域（19; 19A-E）和（在加盖芯片区域19的附近 ;具有图19A-E）提供了一种用于安装区域（9）; 其中，所述芯片;安装到所述封端的芯片区域（19; 19A-E）（18 18A-e）通过其被连接到所述安装区域（9），以这样的方式基座（15A-E）上的安装装置（16）的装置到基座（15A-E）具有并与其间隔开; 和封端的芯片面积;所述芯片下底层填料（20）的（19 19A-E）（18; 18A-E）被包围。本发明还提供了相应的制造方法。

7. 发明申请

WO03031319A3 MICROMECHANICAL COMPONENTS WITH REDUCED STATIC FRICTION 审中-公开
标题翻译： ADHÄSIONSVERMINDERTE微机械部件
公开(公告)号：WO03031319A3
公开(公告)日：2003-10-09
申请号：PCT/DE0203317
申请日：2002-09-06
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MAX PLANCK GESELLSCHAFT , FISCHER FRANK , RUMP ARNOLD
发明人： FISCHER FRANK , RUMP ARNOLD
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0008 , B81C2201/016
摘要： The invention concerns micromechanical components (4'; 40) with reduced static friction having in general a size less than 1 mm, devices comprising said components, the manufacture and use of said components, as well as a method for treating the surfaces of micromechanical components (4'; 40). Said method consists in modifying by a surface treatment faulty electronic regions of the semiconductor material used. The inventive components are used for example in acceleration sensors.
摘要翻译：有adhäsionsverminderte微机械部件（4“; 40）的尺寸通常小于1的Mn，容纳装置，制备和使用这些组件的以及用于治疗微机械装置的表面的方法这样的装置（4”; 40）提供，其中该方法包括所使用的半导体材料的电子杂质可以通过表面处理来改变的步骤。这种装置的使用，例如，在加速度传感器。

8. 发明申请

WO0158804A2 MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD 审中-公开
标题翻译：微机械结构及相应方法
公开(公告)号：WO0158804A2
公开(公告)日：2001-08-16
申请号：PCT/DE0004554
申请日：2000-12-20
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , FISCHER FRANK
发明人： FISCHER FRANK
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0077 , B81C2203/0136 , B81C2203/0145
摘要： The invention relates to a micromechanical component comprising a substrate (1), a functional region (5) on the substrate (1) and a cap-like cover (10, 14, 18; 10`, 14`, 20, 25; 10``, 14``, 30) for covering the functional region (5). The cap-like cover (10, 14, 18; 10`, 14`, 20, 25; 10``, 14``, 30) comprises at least one upper and one lower protective layer (10, 14; 10`, 14`; 10``, 14``). The protective layers (10, 14; 10`, 14`; 10``, 14``) each comprise a hole arrangement (11, 15), displaced relative to each other, of which at least one is sealed by a sealing layer (17; 20, 25; 14``, 30).
摘要翻译：本发明提供了一种具有衬底（1）的微机械部件; 一个基板（1）上的预期功能区域（5）; 和帽形盖（10，14，18; 10”，14`，20，25; 10``，14``，30），用于覆盖所述功能区域（5）。帽状盖子（10，14，18; 10”，14`，20，25; 10``，14``，30）具有至少一个上和下外层（10，14; 10' ，14`; 10 ``14``）上。外层（10，14; 10”，14`; 10``，14``）具有相应相互偏移的孔排列（11，15），其中至少一个（由至少一个Verschlusschicht 17; 20，25; 14 `，30）是封闭的”。

9. 发明申请

WO2004071941A2 METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL DEVICE AND A MICROMECHANICAL DEVICE 审中-公开
标题翻译：制造微机电装置和设备的方法
公开(公告)号：WO2004071941A2
公开(公告)日：2004-08-26
申请号：PCT/DE0303194
申请日：2003-09-25
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , METZGER LARS , FISCHER FRANK
发明人： METZGER LARS , FISCHER FRANK
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00047 , B81B2203/0127 , B81C1/0069 , B81C2201/0109
摘要： The invention relates to a method for producing a micromechanical device and to corresponding micromechanical device consisting of a substrate material (10), a membrane (20) and a hollow space (30) formed in the region of membrane (21) between said substrate and membrane. According to said invention holes (40) are embodied first and foremost in the membrane (20) during a first etching stage and afterwards, the hollow space is produced during a second etching stage.
摘要翻译：所以建议制造微机械装置和微型机械装置的方法，所述装置包括一个基底材料（10），膜（20）和其间单细胞结束的在一个膜部分（21）的阀腔（30），并且其中在第一蚀刻工序中，首先在膜（20）中产生孔（40），并且其中随后通过第二蚀刻步骤产生腔（30）。

10. 发明申请

WO2009010351A1 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING ELECTRICAL APPLIANCES 审中-公开
标题翻译：电气设备电路的方法和装置
公开(公告)号：WO2009010351A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008057492
申请日：2008-06-13
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , FISCHER FRANK
发明人： FISCHER FRANK
IPC分类号： G05B19/042
CPC分类号： G11B33/12
摘要： The invention relates to an electrical switching device (71), to an electrical appliance (1) comprising an electrical switching device (71), and to a method for controlling an electrical appliance.
摘要翻译：电气开关装置（71），具有电气开关装置（71）的电气装置（1）和用于开关电气装置的方法技术领域本发明涉及电气开关装置（71），具有电气开关装置

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