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    • 9. 发明申请
    • SCHICHTSYSTEM MIT EINER SCHICHT AUS PARALLEL ZUEINANDER ANGEORDNETEN KOHLENSTOFFNANORÖHREN UND EINER ELEKTRISCH LEITENDEN DECKSCHICHT, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES SCHICHTSYSTEMS UND DESSEN VERWENDUNG IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK
    • WITH相互平行的碳纳米管和导电表面上,制造方法的层系统的结构和用法MICROSYSTEMS一层技术层体系
    • WO2013007645A2
    • 2013-01-17
    • PCT/EP2012/063280
    • 2012-07-06
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.HERMANN, SaschaGESSNER, ThomasSCHULZ, Stefan, E.
    • HERMANN, SaschaGESSNER, ThomasSCHULZ, Stefan, E.
    • C01B31/02
    • C01B31/0233B82Y30/00B82Y40/00C01B32/16C01B32/162C01B2202/08H01G2/08H01G11/36Y10T428/25
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schichtsystem, umfassend eine Schicht aus parallel zueinander ausgerichteten Kohlenstoffnanoröhren und eine unmittelbar damit verbundene Deckschicht mit metallischen Eigenschaften, aus der die Kohlenstoffnanoröhren im "tip"- Wachstum gewachsen sind. Das Schichtsystem kann weiterhin eine Basisschicht und/oder ein Substrat aufweisen. Es ist erhältlich durch das Erzeugen einer strukturierten Schicht aus einer ersten Phase, die aus einem Metall besteht, das keine eigenständige katalytische Aktivität hinsichtlich des Entstehens von CNTs aus der Gasphase aufweist, sowie einer zweiten Phase aus einem Metall, das die Entstehung von CNTs aus der Gasphase katalysiert, auf einem Substrat oder einer Basisschicht, wobei die erste Phase eine ungleichmäßig dicke und/oder gefaltete, gegebenenfalls mit Poren durchsetzte Struktur besitzt und die zweite Phase sich in Vertiefungen und/oder Poren der ersten Phase befindet derart, dass beide Materialphasen in der lateralen Ebene zumindest teilweise nebeneinander vorliegen, auf dem Substrat bzw. der darauf befindlichen Basisschicht. Auf dieser strukturierten Schicht wird Kohlenstoff aus einer kohlenwasserstoffhaltigen Gasatmosphäre abgeschieden, wobei sich Kohlenstoffnanoröhren bilden, die zumindest Teile der strukturierten Schicht in geschlossener Form anheben. Das Substrat oder die Basisschicht kann anschließend entfernt werden. Das Schichtsystem der Erfindung eignet sich zur Anwendung in einer Vielzahl von Bauelementen und elektronischen Mikro- und Nanosystemen, Flip-Chip-Verbindungen, Sensoren oder Aktoren, insbesondere von Drucksensoren, Berührungssensoren, optischen Sensoren, Spiegeln, Projektoren, optischen Filtern, Nanopositioniersystemen oder Interferometern, in einer spezifischen Form auch in einer Superkapazität.
    • 本发明涉及包含对准Kohlenstoffnanor&OUML平行的层的层系统;铅和具有金属特性的直接相关联的覆盖层,从该Kohlenstoffnanor&OUML梢QUOT;在&铅QUOT - 生长生长 , 层系统可以进一步包括基底层和/或基底。 通过产生由不独立位置BEAR Quantcast催化活性AUML的金属的第一相的图案化层ltlich;它在CNT的从气相和一个金属的第二阶段的出现而言获得具有吨GIRL CNT的从气相形成催化,一个基板或基极层上,其中所述第一相AUML一个ungleichm&;道路IG厚和/或折叠,任选具有孔设施和的在凹部和/或孔中的第二相穿插 第一阶段是这样的:在基板或其上的基层上,侧面中的两个材料相彼此至少部分地相邻。 在该图案化的层上,碳从含烃气体气氛沉积以形成碳纳米管,该碳纳米管以闭合形式提升结构化层的至少一部分。 随后可以去除衬底或基层。 本发明的层系统适用于在各种设备和电子微米和纳米系统的使用中,倒装芯片连接,传感器或致动器,特别是压力传感器,小檗碱导航用途货币传感器,光学传感器,反射镜,投影仪,光学过滤器,纳米定位或 干涉仪也是一种超级电容的特定形式。