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1. 发明申请

WO2008045972A2 PRECURSOR DELIVERY SYSTEM 审中-公开
标题翻译：前身派送系统
公开(公告)号：WO2008045972A2
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/US2007/081005
申请日：2007-10-10
申请人： ASM AMERICA, INC.
发明人： FONDURULIA, Kyle , SHERO, Eric , VERGHESE, Mohith, E. , WHITE, Carl, L.
IPC分类号： C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/4401 , C23C16/4402
摘要： A precursor source vessel (100) comprises a vessel body (104), a passage (145) within the vessel body (104), and a valve (108, 110, 210) attached to a surface of the body (104). An internal chamber (111) is adapted to contain a chemical reactant, and the passage (145) extends from outside the body (104) to the chamber (111). The valve (108, 110, 210) regulates flow through the passage (145). The vessel (100) has inlet and outlet valves (108, 110), and optionally a vent valve (210) for venting internal gas. An external gas panel (97) can include at least one valve (182) fluidly interposed between the outlet valve (110) and a substrate reaction chamber (162). Gas panel valves (182) can each be positioned along a plane that is generally parallel to, and no more than about 10.0 cm from, a flat surface of the vessel (100). Filters (130) in a vessel Hd (106) or wall filter gas flow through the vessel's valves (108, 110, 210). A quick-connection assembly (102) allows fast and easy connection of the vessel (100) to a gas panel (97).
摘要翻译：前体源容器（100）包括容器主体（104），容器主体（104）内的通道（145）和连接到主体（104）表面的阀（108,110,210）。内室（111）适于容纳化学反应物，并且通道（145）从主体（104）的外部延伸到腔室（111）。阀（108,110,210）调节通过通道（145）的流动。容器（100）具有入口和出口阀（108,110），并且可选地具有用于排放内部气体的排气阀（210）。外部气体面板（97）可以包括流体插入在出口阀（110）和基板反应室（162）之间的至少一个阀（182）。燃气面板阀（182）可以分别沿着与容器（100）的平坦表面大致平行且不超过约10.0cm的平面定位。容器Hd（106）中的过滤器（130）或壁过滤气体流过容器的阀门（108,110,210）。快速连接组件（102）允许容器（100）快速且容易地连接到气体面板（97）。

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