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1. 发明申请

WO2003100492A1 AN OPTICAL ACTUATOR 审中-公开
标题翻译：光学执行器
公开(公告)号：WO2003100492A1
公开(公告)日：2003-12-04
申请号：PCT/GB2003/002260
申请日：2003-05-23
申请人： ALCATEL OPTRONICS UK LIMITED , BLAIR, Paul , PODLECKI, Jean , McMEEKIN, Scott , BEGBIE, Mark, Lawrence , BURGER, Gerardus, Johannes , GARDENIERS, Han
发明人： BLAIR, Paul , PODLECKI, Jean , McMEEKIN, Scott , BEGBIE, Mark, Lawrence , BURGER, Gerardus, Johannes , GARDENIERS, Han
IPC分类号： G02B6/35
CPC分类号： G02B6/3584 , G02B6/3512 , G02B6/353
摘要： A method of manufacture of an optical actuator comprising an optically interacting element and an integral actuator, the method comprising the steps of (a) providing a wafer comprising a substrate, an insulating layer on the substrate and upper layer on the insulating layer; (b) depositing a first mask layer on the upper layer; (c) depositing a second mask layer on the upper layer; (d) etching the remaining exposed upper layer to a depth less than the thickness of the upper layer to reveal an actuator and a coplanar optically interacting element base portion; (e) removing the second mask layer; (f) further etching the upper layer to the depth of the insulating layer to reveal an optically interacting element upper portion extending upwardly from the optionally interacting element base portion out of the plane of the actuator; (g) etching the insulating layer beneath the upper layer so separating the optically interacting element and a rotor portion of the actuator from the insulating layer.
摘要翻译：一种制造光学致动器的方法，包括光学相互作用元件和整体致动器，所述方法包括以下步骤：（a）提供包括衬底，所述衬底上的绝缘层和所述绝缘层上的上层的晶片; （b）在上层上沉积第一掩模层; （c）在上层上沉积第二掩模层; （d）将剩余的暴露的上层蚀刻到小于上层的厚度的深度，以露出致动器和共面光学相互作用的元件基部; （e）去除所述第二掩模层; （f）进一步将所述上层蚀刻到所述绝缘层的深度，以露出从所述可执行地相互作用的元件基部向上延伸出所述致动器的平面的光学相互作用的元件上部; （g）蚀刻上层之下的绝缘层，从而将光学相互作用元件和致动器的转子部分与绝缘层分离。

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