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1. 发明申请

WO2014171760A1 동시진공증발공정 기반의 CZTSE 광흡수층 제조방법 审中-公开
标题翻译：基于同时真空蒸发过程制造CZTSE光吸收层的方法
公开(公告)号：WO2014171760A1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：PCT/KR2014/003352
申请日：2014-04-17
申请人： 한국에너지기술연구원
发明人： 곽지혜 , 윤재호 , 안승규 , 신기식 , 안세진 , 조아라 , 윤경훈 , 어영주 , 조준식 , 박주형 , 유진수 , 박상현 , 최혜림
IPC分类号： H01L31/06 , H01L31/042 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/0322 , Y02E10/541
摘要： 본발명은 동시진공증발공정을 기반으로 양질의 CZTSe 광흡수층 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로, Cu, Zn, Sn및 Se를 동시에 증발시켜 기판에 증착하는단계 (단계 a);및 상기 기판의 온도를 내리면서, Zn, Sn및 Se를 동시에 증발시켜 기판에 증착하는 단계 (단계 b)를 포함한다. 본 발명은, 고온에서 동시 진공증발공정을 수행하고 기판의 온도를 낮추면서 추가적인 증발공정을 수행함으로써, 고온의 동시진공증발공정에서 수반되는 Sn손실에 따른 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명의제조방법으로 형성된 CZTSe 광흡수층은 막질이 뛰어나기 때문에 이를 이용하여 제조된 CZTSe태양전지의 광전변환 효율이향상되는 효과가 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种基于同时真空蒸发处理制造质量好的CZTSe光吸收薄膜的方法。该方法包括以下步骤：同时蒸发Cu，Zn，Sn和Se，并在衬底上沉积Cu，Zn，Sn和Se（步骤a）; 同时蒸发Zn，Sn和Se，并在衬底上沉积Zn，Sn和Se，同时降低衬底的温度（步骤b）。本发明在高温下进行同时真空蒸发处理，并且在降低基板的温度的同时进行附加的蒸发处理，从而具有解决伴随高温同时真空蒸发的Sn的损失引起的问题的效果处理。此外，由于通过本发明的制造方法形成的CZTSe光吸收层质量高，所以本发明具有提高使用CZTSe光吸收层制造的CZTSe太阳能电池的光电转换效率的效果。

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