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1. 发明申请

WO2013077556A1 전자 맴돌이 공명 이온원 장치용 자석 및 이의 제조 방법 审中-公开
标题翻译：用于电子循环谐振离子源装置的磁体及其制造方法
公开(公告)号：WO2013077556A1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：PCT/KR2012/008594
申请日：2012-10-19
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 이병섭 , 원미숙 , 윤장희 , 최세용 , 박진용
IPC分类号： H01F7/06 , H01F41/02
CPC分类号： H01F7/202 , H01F41/064 , H01F2005/006
摘要： 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치용 자석은, 내부 구조체; 및 상기 내부 구조체의 외주면에 서로 이격하여 배열되는 복수 개의 코일을 포함하는 폴 자석부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수 개의 코일 각각은, 상기 내부 구조체로부터의 거리가 증가할수록 단면적이 증가하는 계단형 구조를 가질 수 있다. 상기 ECR 이온원 장치용 자석은 코일이 권선된 모양이 계단형 구조를 갖도록 함으로써 전자기력을 받는 영역을 분산시킬 수 있으며, 코일 사이에 쐐기가 삽입되는 각도를 감소시켜 쐐기가 자체 잠김력을 획득하도록 할 수 있는 이점이 있다.
摘要翻译：用于电子回旋共振（ECR）离子源装置的磁体可以包括内部结构; 以及磁极单元，其包括分别布置在所述内部结构的外周表面处的多个线圈。这里，多个线圈中的每一个可以具有阶梯状结构，使得其横截面积随着与内部结构的距离的增加而增加。通过将线圈卷绕成具有台阶结构的形状，用于ECR离子源装置的磁体能够分配接收电磁力的区域，并且楔形件能够通过减小楔形件的角度来获得自锁力被插入在线圈之间。

2. 发明申请

WO2013077555A1 전자 맴돌이 공명 이온원 장치 및 이의 인출 전류를 증가시키는 방법 审中-公开
标题翻译：电子循环谐振离子源装置和提取电流的方法
公开(公告)号：WO2013077555A1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：PCT/KR2012/008586
申请日：2012-10-19
申请人： 한국기초과학지원연구원
发明人： 이병섭 , 원미숙 , 윤장희 , 최세용 , 옥정우
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/02
CPC分类号： H01J27/18 , H01J37/08
摘要： 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치는, 플라즈마가 발생되는 플라즈마 챔버; 상기 플라즈마 챔버 내에 자기장을 인가하는 자석부; 상기 플라즈마 챔버 내에 마이크로파를 인가하는 마이크로파 발생부; 상기 자기장 및 상기 마이크로파에 의한 전자 맴돌이 공명에 의하여 상기 플라즈마로부터 발생된 이온을 상기 플라즈마 챔버로부터 인출하는 이온 인출부; 및 상기 플라즈마 챔버의 내부 또는 외부에 위치하며, 상기 자석부에 의해 인가되는 자기장의 크기를 조정하는 자기장 조절부를 포함할 수 있다. 상기 ECR 이온원 장치는 플라즈마 챔버 내부 및/또는 외부에 위치하는 자기장 조절 재료에 의하여 ECR 영역을 확장시킬 수 있는 이점이 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种电子回旋共振（ECR）离子源装置和一种提升电流的方法。电子回旋共振离子源装置包括：等离子体室，其中产生等离子体; 将磁场施加到等离子体室中的磁体部分; 将微波应用于等离子体室的微波产生部; 离子提取部，通过磁场和微波的ECR从等离子体室中提取由等离子体产生的离子; 以及设置在等离子体室内部或外部的磁场调节部，以调节由磁体部分施加的磁场的强度。 ECR离子源设备可以通过设置在等离子体室内部和/或外部的磁调节材料来扩展ECR区域。

3. 发明申请

WO2013077483A1 가변형 이온 가이드 및 이를 포함하는 전자 맴돌이 공명 이온원 장치 审中-公开
标题翻译：可变离子指南和电子循环谐振离子源装置
公开(公告)号：WO2013077483A1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：PCT/KR2011/009083
申请日：2011-11-25
申请人： 한국기초과학지원연구원 , 이병섭 , 원미숙 , 윤장희 , 최세용 , 옥정우 , 박진용 , 김병철
发明人： 이병섭 , 원미숙 , 윤장희 , 최세용 , 옥정우 , 박진용 , 김병철
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/04 , H01J27/02
CPC分类号： H01J27/024 , H01J27/18 , H01J37/08 , H01J2237/04 , H01J2237/0817
摘要： 가변형 이온 가이드는, 일 방향의 길이를 조절할 수 있도록 구성된 가변형 챔버; 상기 가변형 챔버의 길이를 조절하는 것에 의하여 위치가 결정되도록 상기 가변형 챔버에 연결되는 하나 이상의 가이드 전극; 및 상기 가변형 챔버의 한쪽 끝에 연결되는 인출 전극을 포함할 수 있다. 상기 가변형 이온 가이드를 이용하여, 상기 가변형 이온 가이드와 함께 플라즈마 챔버, 자석부 및 마이크로파 발생부 등을 포함하는 전자 맴돌이 공명(Electron Cyclotron Resonance; ECR) 이온원 장치를 구성할 수도 있다. 상기 가변형 이온 가이드 및 ECR 이온원 장치에 의하면, 이온 인출을 위한 전극의 형태 및 전극에 형성된 구멍의 크기 및 위치를 적절히 조절함으로써 양질의 빔을 인출할 수 있으며 높은 전류의 빔을 다양하게 인출할 수 있다.
摘要翻译：可变离子引导件可以包括：可变腔，其长度在一个方向上被调节; 一个或多个引导电极连接到可变室并且具有通过调节可变室的长度确定的位置; 以及连接到可变室的一端的引出电极。利用可变离子导向器，可以通过包括可变离子导向器，等离子体室，磁体单元和微波产生单元来配置电子回旋共振（ECR）离子源。根据可变离子导向器和ECR离子源装置，可以通过适当地调节电极形状和形成在电极中的孔的尺寸和位置，来各种提取具有优异质量的束和高电流的束，用于离子提取。

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