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1. 发明申请

WO2015160058A1 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기 审中-公开
标题翻译：用于处理加工设备产生的排气的等离子体反应器
公开(公告)号：WO2015160058A1
公开(公告)日：2015-10-22
申请号：PCT/KR2014/010121
申请日：2014-10-27
申请人： 주식회사 클린팩터스
发明人： 고경오 , 강경두 , 노명근
IPC分类号： H01L21/02 , H05H1/46 , H05H1/28
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2245/1215
摘要： 본 발명은, 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 공정 챔버에서 배출되는 배기가스를 분해하도록 공정챔버와 진공펌프 사이에 배치되는 플라즈마 반응기에 있어서, 상기 배기가스가 유동하며, 유전체로 형성된 도관; 상기 도관 상에 설치되어, 상기 도관의 내부 공간과 차폐되는 제1 전극부; 및 상기 제1 전극부와 이격되어 배치되며, 상기 제1 전극부와 플라즈마 방전을 일으켜서 상기 배기가스를 분해하는 제2 전극부를 포함하고, 상기 플라즈마 방전에 의한 상기 도관의 손상을 방지하기 위하여, 상기 도관의 두께는 상기 플라즈마 방전이 집중되는 부분의 두께가 주변 부분의 두께보다 두껍게 형성된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于处理从处理设备产生的废气的等离子体反应器，更具体地，涉及一种布置在处理室和真空泵之间的等离子体反应器，以便溶解从处理室排出的废气，包括：由废气流过的电介质制成的管; 第一电极部，其安装在所述管上并与所述管的内部空间隔离; 以及第二电极部分，其与第一电极部分分离，用于通过引起等离子体放电来溶解排气，其中管的厚度形成为使得等离子体放电浓缩的区域比厚度厚的周围区域，以防止等离子体放电对管造成损坏。

2. 发明申请

WO2017007059A1 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기 审中-公开
标题翻译：用于处理工艺设备中生产的排气的等离子体反应器
公开(公告)号：WO2017007059A1
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：PCT/KR2015/007778
申请日：2015-07-27
申请人： 주식회사 클린팩터스
发明人： 강경두 , 고경오 , 노명근
IPC分类号： H01L21/02 , H05H1/46
CPC分类号： H01L21/02 , H05H1/46
摘要： 본 발명은, 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 상기 공정챔버와 상기 진공펌프 사이에 배치되며, 상기 공정챔버로부터 유입된 상기 배기가스가 상기 진공펌프로 배출되게 유동될 수 있도록 내부공간이 형성된 도관; 상기 내부공간 내에 배치되어, 상기 도관과의 사이에 플라즈마 방전이 일어나는 공간을 형성하며, 상기 내부공간 내에서 상기 배기가스가 유동하는 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 내부 모듈; 및 상기 내부 모듈에 설치되며, 상기 플라즈마 방전이 일어나는 공간에서 플라즈마 방전을 일으키는 제1 전극부를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于处理在工艺设备中生产的废气的等离子体反应器，所述等离子体反应器包括：管，其设置在处理室和真空泵之间，并且具有形成在其中的内部空间，以允许废气从处理室引入流过其中并被排出到真空泵中; 内部模块，其设置在所述内部空间中，使得在所述内部模块和所述管之间形成有产生等离子体放电的空间，并且沿与所述内部空间中排出气体流动的方向交叉的方向延伸; 以及第一电极单元，其安装在所述内部模块中，并且在产生所述第一电极单元的空间中产生等离子体放电。

3. 发明申请

WO2015160057A1 공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기 审中-公开
标题翻译：用于处理加工设备产生的排气的等离子体反应器
公开(公告)号：WO2015160057A1
公开(公告)日：2015-10-22
申请号：PCT/KR2014/010120
申请日：2014-10-27
申请人： 주식회사 클린팩터스
发明人： 고경오 , 강경두 , 노명근
IPC分类号： H01L21/02 , H05H1/46
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2245/1215
摘要： 본 발명은, 플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 공정 챔버에서 배출되는 배기가스를 분해하도록 공정챔버와 진공펌프 사이에 배치되는 플라즈마 반응기에 있어서, 상기 배기가스가 유동하는 도관; 상기 도관에 구비되어 플라즈마 방전을 일으켜서 상기 배기가스를 분해하는 플라즈마 생성수단; 상기 도관을 감싸며, 상기 도관의 외주면과의 사이에 이격 공간이 형성되는 하우징; 상기 도관 또는 상기 이격 공간의 환경 조건을 감지하는 감지수단; 및 상기 감지수단으로부터 수신된 상기 환경 조건의 정보로부터 상기 도관 또는 상기 이격 공간의 상태를 판단하는 제어부를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种等离子体反应器，更具体地说，涉及一种布置在处理室和真空泵之间的等离子体反应器，以便溶解从处理室排出的废气，包括：排气流过的管; 等离子体产生装置，其设置在管上，用于通过引起等离子体放电来溶解废气; 壳体，其围绕所述管并且在所述壳体和所述管的外周表面之间产生分离的空间; 检测装置，用于检测管或分离空间中的环境状况; 以及控制单元，用于基于从检测装置接收到的环境条件的信息来确定管或分离空间的状态。

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