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2. 发明申请

WO2017030318A1 디지털 마이크로미러 디바이스 제어기 및 그의 노광 이미지 출력 처리 방법 审中-公开
标题翻译：数字微镜设备控制器和曝光图像输出处理方法
公开(公告)号：WO2017030318A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：PCT/KR2016/008812
申请日：2016-08-10
申请人： 주식회사 에스디에이
发明人： 임창민 , 심상범 , 문영성
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00 , G03F1/76
CPC分类号： G03F1/76 , G03F7/20 , G03F9/00
摘要： 일실시예는 관리 컨트롤러로부터 전송받은 노광할 이미지를 저장하는 저장부, 상기 노광할 이미지의 디지털 마이크로미러 디바이스 출력 처리를 전체 제어하는 메인 제어부 및, 상기 메인 제어부의 제어하에, 싱크 컨트롤러의 트리거 신호에 따라 상기 노광 스테이지 위치 변화에 상응하여 상기 노광할 이미지를 이동해서, DMD로의 노광 이미지 출력을 처리하는 노광 이미지 매니저를 포함하고, 상기 노광할 이미지는 노광 스테이지나 마스크 필름을 메모리에 가상화하여 구현할 해상도의 메모리 비트 셀(Bit Cell)로 모델링화한 가상 프레임으로 생성하여 된 것이며, 상기 노광 이미지 매니저는 상기 생성된 가상 프레임을 노광할 이미지로 사용해서, 노광 이미지 출력을 처리하는 디지털 마이크로미러 디바이스 제어기 및 그의 노광 이미지 출력 처리 방법에 관한 것으로, 일정 픽셀 크기를 가진 디스플레이 장치에 정밀 미세 패턴을 구현하고, 노광 스테이지와 노광할 이미지 간 실시간 동기화도 이루어진다.
摘要翻译：实施例涉及数字微镜器件（DMD）控制器及其曝光图像输出处理方法。 DMD控制器包括：存储单元，用于存储从管理控制器接收的用于曝光的图像; 主控制单元，用于控制用于曝光图像的数字微镜装置的总体输出处理; 以及曝光图像管理器，其在主控制单元的控制下，根据吸收控制器的触发信号响应曝光阶段的位置变化而移动用于曝光的图像，并通过一个 DMD。生成用于曝光的图像作为虚拟框架，曝光阶段或掩模膜在存储器中被虚拟化，并以要实现的分辨率建模为存储位单元。曝光图像管理器使用所生成的虚拟帧作为曝光图像并处理曝光图像的输出。在具有一定像素尺寸的显示装置上实现了详细的精细图案，并且实现了曝光台和用于曝光的图像之间的实时同步。

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