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1. 发明申请

WO2013187548A1 태양 전지용 박막 급속 열처리 시스템 审中-公开
标题翻译：用于太阳能电池薄膜快速热处理系统
公开(公告)号：WO2013187548A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/KR2012/004935
申请日：2012-06-22
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 유상우 , 김주원 , 전광진 , 박상현 , 차재정
发明人： 유상우 , 김주원 , 전광진 , 박상현 , 차재정
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01L31/0272 , H01L21/02614 , H01L21/67115 , H01L31/1828 , Y02E10/543
摘要： 본 발명은 태양 전지용 박막 열처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 태양 전지용 박막 열처리 시스템은 수용공간을 형성하는 챔버;와 기판이 배치되는 밀폐공간을 형성하는 케이싱;과 기판에 열을 가하는 램프;와 밀폐공간에 반응가스를 분사하는 분사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 밀폐공간에 균일하게 반응가스를 분사하고 균일하게 열을 가함으로써, 셀레늄 및 반응가스의 확산을 통한 손실이 최소화되는 태양 전지용 박막 열처리 시스템이 제공된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于太阳能电池薄膜的热处理系统和根据本发明的用于太阳能电池薄膜的热处理系统，包括：用于形成容纳空间的室; 用于形成其中设置有基板的密封空间的壳体; 用于向衬底施加热量的灯; 以及用于将反应气体喷射到密封空间中的喷射单元。因此，本发明提供了一种用于太阳能电池薄膜的热处理系统，其可以将反应气体均匀地喷射到密封空间中并且可以均匀地加热，从而最小化由反应气体和硒的分散引起的损失。

2. 发明申请

WO2012165793A2 박막 증착 장치용 원료 공급유닛 审中-公开
标题翻译：用于薄膜沉积装置的燃料供应单元
公开(公告)号：WO2012165793A2
公开(公告)日：2012-12-06
申请号：PCT/KR2012/004026
申请日：2012-05-22
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 공두원 , 박상현 , 권진환 , 차재정 , 박병민 , 이영국
发明人： 공두원 , 박상현 , 권진환 , 차재정 , 박병민 , 이영국
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56
CPC分类号： C23C16/455 , C23C14/246 , C23C14/56
摘要： 본 발명은 박막 증착 장치용 원료 공급유닛에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막 증착 장치용 원료 공급유닛은 박막 증착 장치용 챔버 내부에 배치되어 증발 재료를 분사하는 인젝터에 증발 재료를 공급하는 박막 증착 장치용 원료 공급유닛에 있어서, 증발 재료가 보관되는 저장공간이 내부에 형성되고, 일측에 형성되는 배출구가 연결라인을 통해 상기 인젝터측에 연결되는 용기몸체;와, 상기 용기몸체의 저장공간에 직선방향으로 이동 가능하게 삽입되는 피스톤몸체와, 외주면에 안착부가 형성되어 상기 피스톤몸체의 외측면에 배치되는 두 개 이상의 안착부재와, 상기 안착부재의 안착부에 조립되어 상기 용기몸체의 저장공간 내주면에 밀착하는 적어도 두 개의 접촉링이 형성된 이송부재; 및, 상기 이송부재가 용기몸체의 배출구를 향해 이동하도록 이송부재에 가압력을 인가하는 가압부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于薄膜沉积设备的燃料供应单元。本发明的薄膜蒸镀装置的燃料供给装置，其向蒸发材料供给设置在该薄膜沉积装置的室内的喷射器的喷射蒸镀材料的喷射装置，其特征在于，包括：容纳体，储存蒸发的物质，容器主体具有限定在其一侧的排放孔，并且通过连接线连接到喷射器; 活塞体，其插入以能够沿直线方向移动到所述容器主体的收纳空间; 至少两个座椅构件，每个座椅构件在其外表面上包括座椅部件，并且设置在所述活塞体的外表面上; 传送构件，其包括分别与所述座椅构件的所述座椅部件组装并且紧密地附接到所述容器主体的所述存储空间的内表面的至少两个接触环; 以及向所述转印构件施加按压力的按压构件，使得所述转印构件朝向所述容器主体的出口移动。

3. 发明申请

WO2013187625A1 태양 전지용 박막 급속 열처리 시스템 审中-公开
标题翻译：太阳能电池薄膜快速热处理系统
公开(公告)号：WO2013187625A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/KR2013/004878
申请日：2013-06-03
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 유상우 , 김주원 , 전광진 , 박상현 , 차재정
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01L31/0272 , H01L21/02614 , H01L21/67115 , H01L31/1828 , Y02E10/543
摘要： 본 발명은 태양 전지용 박막 열처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 태양 전지용 박막 열처리 시스템은 수용공간을 형성하는 챔버;와 기판이 배치되는 밀폐공간을 형성하는 케이싱;과 기판에 열을 가하는 램프;와 밀폐공간에 반응가스를 분사하는 분사부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及太阳能电池薄膜的快速热处理系统。根据本发明的太阳能电池薄膜的快速热处理系统包括：用于形成存储空间的室; 用于形成其中布置基板的封闭空间的壳体; 用于加热基板的灯; 以及用于将反应气体注入封闭空间的注入单元。

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