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1. 发明申请

WO2012165793A2 박막 증착 장치용 원료 공급유닛 审中-公开
标题翻译：用于薄膜沉积装置的燃料供应单元
公开(公告)号：WO2012165793A2
公开(公告)日：2012-12-06
申请号：PCT/KR2012/004026
申请日：2012-05-22
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 공두원 , 박상현 , 권진환 , 차재정 , 박병민 , 이영국
发明人： 공두원 , 박상현 , 권진환 , 차재정 , 박병민 , 이영국
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56
CPC分类号： C23C16/455 , C23C14/246 , C23C14/56
摘要： 본 발명은 박막 증착 장치용 원료 공급유닛에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 박막 증착 장치용 원료 공급유닛은 박막 증착 장치용 챔버 내부에 배치되어 증발 재료를 분사하는 인젝터에 증발 재료를 공급하는 박막 증착 장치용 원료 공급유닛에 있어서, 증발 재료가 보관되는 저장공간이 내부에 형성되고, 일측에 형성되는 배출구가 연결라인을 통해 상기 인젝터측에 연결되는 용기몸체;와, 상기 용기몸체의 저장공간에 직선방향으로 이동 가능하게 삽입되는 피스톤몸체와, 외주면에 안착부가 형성되어 상기 피스톤몸체의 외측면에 배치되는 두 개 이상의 안착부재와, 상기 안착부재의 안착부에 조립되어 상기 용기몸체의 저장공간 내주면에 밀착하는 적어도 두 개의 접촉링이 형성된 이송부재; 및, 상기 이송부재가 용기몸체의 배출구를 향해 이동하도록 이송부재에 가압력을 인가하는 가압부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于薄膜沉积设备的燃料供应单元。本发明的薄膜蒸镀装置的燃料供给装置，其向蒸发材料供给设置在该薄膜沉积装置的室内的喷射器的喷射蒸镀材料的喷射装置，其特征在于，包括：容纳体，储存蒸发的物质，容器主体具有限定在其一侧的排放孔，并且通过连接线连接到喷射器; 活塞体，其插入以能够沿直线方向移动到所述容器主体的收纳空间; 至少两个座椅构件，每个座椅构件在其外表面上包括座椅部件，并且设置在所述活塞体的外表面上; 传送构件，其包括分别与所述座椅构件的所述座椅部件组装并且紧密地附接到所述容器主体的所述存储空间的内表面的至少两个接触环; 以及向所述转印构件施加按压力的按压构件，使得所述转印构件朝向所述容器主体的出口移动。

2. 发明申请

WO2011093617A2 진공 증착 장비 审中-公开
标题翻译：真空沉积装置
公开(公告)号：WO2011093617A2
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：PCT/KR2011/000423
申请日：2011-01-21
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 박병민 , 공두원 , 권진환 , 정용범 , 조황신 , 정성재
发明人： 박병민 , 공두원 , 권진환 , 정용범 , 조황신 , 정성재
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C23C14/56 , C23C16/4412 , C23C16/54
摘要： 진공증착장비가 개시된다. 기판에 증착할 사용물질을 기체 상태로 분사하는 소스가 장착된 챔버(chamber), 챔버의 내벽 및 내부 부품에 형성된 히터, 챔버 내부의 공기를 흡입하는 펌프(pump) 및 챔버와 펌프 사이에 개재되고 펌프로 흡입되는 공기를 냉각시켜 공기 중 사용물질을 제거하는 복수의 콜드트랩(cold trap)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 증착 장비는 사용물질이 챔버 내부의 부품이나 내벽에 쌓여 직접적인 손상을 주는 것을 방지할 수 있고 콜드트랩을 복수 개를 두어 교체 시에 공정을 중단할 필요가 없어 오염방지를 위해 생산의 연속성이 끊어지는 것을 방지할 수 있어 동일 사양의 장비에 비해 생산성이 향상된다.
摘要翻译：公开了一种真空沉积设备，其包括：安装有用于喷射处于气态的涂覆材料以便沉积到基底上的源的室; 加热器形成在腔室的内壁和内部部件上; 用于将空气抽出室的泵; 以及插入在所述室和所述泵之间的多个冷阱，用于冷却由所述泵抽吸的空气以从所述空气中除去所述施加材料。根据真空沉积设备，可以通过积聚在其上的施加材料来防止对室的内部部件或内壁的直接损坏。此外，多个冷阱能够防止连续生产中的污染和停止，从而能够不间断地进行替代。因此，与具有相似规格的其他设备相比，可以提高生产率。

3. 发明申请

WO2013187547A1 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템 审中-公开
标题翻译：具有防止损坏功能的基板处理系统
公开(公告)号：WO2013187547A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/KR2012/004933
申请日：2012-06-22
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 박상현 , 이동현 , 오현필 , 전광진 , 권진환 , 박성진
发明人： 박상현 , 이동현 , 오현필 , 전광진 , 권진환 , 박성진
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01J37/32807 , B01J3/002 , C23C14/06 , C23C14/243
摘要： 본 발명은 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 파손방지 기능을 구비한 유체탱크는 유체를 저장할 수 있는 유체탱크; 상기 유체탱크로부터 유체를 공급받아 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 유체가 유동 가능하도록 상기 유체탱크와 상기 챔버를 상호 연결하는 파이프; 상기 파이프에서 상기 유체가 유동함에 따라 열을 공급받아 발생하는 열팽창에 대응하여 상기 유체탱크의 위치변경이 가능하도록 하는 파손방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 유체탱크가 파이프의 열팽창에 따른 부피변화에 대응하여 유체탱크의 파손을 방지할 수 있는 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템이 제공된다.
摘要翻译：本发明涉及具有防止损坏的功能的基板处理系统。根据本发明的具有防止损坏功能的基板处理系统包括：用于储存流体的流体箱; 从流体箱供给流体并提供衬底被处理的空间的腔室; 将流体箱和室彼此连接以使得流体能够流过其中的管; 以及能够响应于由于管道中的流体的运动而由供热产生的热膨胀而改变流体箱的位置的损坏防止单元。因此，提供了具有防止损坏的功能的基板处理系统，其能够防止对应于由管道的热膨胀引起的体积变化的对流体箱的损坏。

4. 发明申请

WO2013187624A1 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템 审中-公开
标题翻译：具有防破坏功能的基板处理系统
公开(公告)号：WO2013187624A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/KR2013/004877
申请日：2013-06-03
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 박상현 , 이동현 , 오현필 , 전광진 , 권진환 , 박성진
IPC分类号： H01L21/203 , H01L21/02
CPC分类号： H01J37/32807 , B01J3/002 , C23C14/06 , C23C14/243
摘要： 본 발명은 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 파손방지 기능을 구비한 유체탱크는 유체를 저장할 수 있는 유체탱크; 상기 유체탱크로부터 유체를 공급받아 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 유체가 유동 가능하도록 상기 유체탱크와 상기 챔버를 상호 연결하는 파이프; 상기 파이프에서 상기 유체가 유동함에 따라 열을 공급받아 발생하는 열팽창에 대응하여 상기 유체탱크의 위치변경이 가능하도록 하는 파손방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及具有防破坏功能的基板处理系统。根据本发明的具有防破坏功能的流体箱包括：能够储存流体的流体箱; 接收来自流体箱的流体的室，用于提供用于处理基板的空间; 用于将流体箱与腔室连接以使流体在其中流动的管道; 以及用于使得能够根据根据管道中的流体的流动而传递热量产生的热膨胀来改变流体箱的位置的防破坏单元。

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