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    • 1. 发明申请
    • 近接場光学顕微鏡の信号光測定システム
    • 用于近场光学显微镜的信号灯测量系统
    • WO2010032429A1
    • 2010-03-25
    • PCT/JP2009/004588
    • 2009-09-15
    • 独立行政法人科学技術振興機構市村垂生矢野隆章井上康志河田聡
    • 市村垂生矢野隆章井上康志河田聡
    • G01N13/14
    • G01Q20/02G01N21/6458G01Q60/22
    •  近接場光により試料から放射される信号光のプローブ・試料間距離依存性を調べることができる近接場光学顕微鏡の信号光測定システムを提供する。本発明の信号光測定システムは、試料の表面を走査するプローブ12、光源16、試料から放射される信号光を検出する分光器18を備えている。前記プローブ12はカンチレバーとその先端の銀チップから成る。カンチレバーは振動子20によって加振され、これにより銀チップの先端が試料表面に間欠接触する。光源16から出射された光は、光変調器24、ビームスプリッタ26,対物レンズ22,透明基板12を経て試料表面に照射され、試料表面に近接場光を生成させる。この近接場光によって試料から信号光が放射される。
    • 公开了一种用于近场光学显微镜的信号光测量系统,其能够通过近场光相对于探针和样本之间的距离来研究从样本发射的信号光的依赖性。 该信号光测量系统配备有扫描样品表面的探针(14),光源(16)和检测从样品发出的信号光的分光镜(18)。 探针(14)在其顶端包括悬臂和银芯片。 悬臂由振荡器(20)振动,导致银芯片的尖端间断地与试样的表面接触。 从光源(16)发射的光通过光调制器(24),分束器(26),物镜(22)和透明基板(12),并且撞击样本表面,产生近场 在样品表面发光。 信号光通过该近场光从样品辐射。