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1. 发明申请

WO2008038611A1 気体搬送ポンプ、ヒータの形成方法、検出センサ审中-公开
标题翻译：气体输送泵，形成加热器和传感器的方法
公开(公告)号：WO2008038611A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/JP2007/068507
申请日：2007-09-25
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所 , オリンパス株式会社 , ヘイシグスベン , 池原毅 , 三原孝士
发明人：ヘイシグスベン , 池原毅 , 三原孝士
IPC分类号： F04B37/06 , G01N5/02
CPC分类号： F04B19/006 , G01N1/24 , G01N5/02
摘要：　気体を微量であっても高い精度で搬送することができ、しかも信頼性に優れる技術を提供することを目的として、気体搬送ポンプ１０は、チャンバー部１２、入口側チャンネル１３、出口側チャンネル１４、テーパ状の入口側ディフューザ部１５、テーパ状の出口側ディフューザ部１６からなる流路と、ヒータ２０を備えるようにし、ヒータ２０によってチャンバー部１２内の気体を膨張・収縮させて体積変化を生じさせることで、入口側チャンネル１３から出口側チャンネル１４へと気体を確実に搬送するようにした。そして、チャンバー部１２に設けたヒータ２０は、ホウ素を拡散させたシリコンによって形成するようにした。さらに、ヒータ２０は、棒状のヒータ部材２０ａを複数本並べ、チャンバー部１２内を貫通するように設けるのが好ましい。
摘要翻译：这种技术能够高精度地输送甚至少量的气体并且高可靠性。气体输送泵（10）具有流动通道和加热器（20）。流动通道由腔室（12），入口侧通道（13），出口侧通道（14）和锥形入口侧扩散器部分（15）组成，锥形出口侧扩散器部分（16）组成。加热器（20）使得室（12）内部的气体膨胀和收缩，从而改变了腔室（12）的体积，从而可靠地将气体从入口侧通道（13）输送到出口侧通道（14）。设置在室（12）中的加热器（20）由在其中扩散的硼的硅形成。优选地，加热器（20）由并排设置的加热器构件（20a）构成，以便穿透室（12）的内部。

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