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1. 发明申请

WO2008062669A1 電子線照射システム审中-公开
标题翻译：电子束辐照系统
公开(公告)号：WO2008062669A1
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：PCT/JP2007/071607
申请日：2007-11-07
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 石川昌義 , 内山圭吾
发明人：石川昌義 , 内山圭吾
IPC分类号： G21K5/04 , B41F23/04 , G21K5/00
CPC分类号： B41F23/0406 , G21K5/04 , G21K5/10
摘要：　電子線照射システム１００では、印刷物Ｐが搬送されるチャンバ３０内に電子線照射装置１の筐体２０が配置されている。チャンバ３０内には、筐体２０における搬入口３１側の外壁２０ｂに沿うように照射位置Ｑに向けて窒素ガスを流通させる第１の流路３７と、筐体２０における搬出口３２側の外壁２０ｃに沿うように照射位置Ｑに向けて窒素ガスを流通させる第２の流路３８とが設けられている。第１の流路３７及び第２の流路３８では、コアンダ効果によって照射位置Ｑに向かう窒素ガスの流れが整えられる。したがって、電子線照射システム１００では、流れムラの小さい窒素ガスを照射位置Ｑに供給でき、照射位置Ｑにおける雰囲気ガス中の酸素濃度を十分に低下させることができる。
摘要翻译：在电子束照射系统（100）中，电子束照射装置（1）的底架（20）设置在转印有印刷物（P）的室（30）内。在腔室（30）内设有第一和第二流路（37,38）。第一流动路径允许氮气沿着进入入口（31）侧的底盘（20）的外壁（20b）朝向照射位置（Q）流动。第二流路允许氮气沿着进出口（32）侧朝向照射位置（Q）沿着底盘（20）的外壁（20c）流动。在第一和第二流路（37,38）中，由于Coanda效应，朝着照射位置（Q）流动的氮气的流动被排列。因此，电子束照射系统（100）可以供应氮气对照射位置（Q）具有小程度的流动不均匀性，从而可以充分降低照射位置（Q）的环境气体中的氧浓度。

2. 发明申请

WO2008062670A1 電子線照射システム审中-公开
标题翻译：电子束辐照系统
公开(公告)号：WO2008062670A1
公开(公告)日：2008-05-29
申请号：PCT/JP2007/071608
申请日：2007-11-07
申请人：浜松ホトニクス株式会社 , 原口大 , 内山圭吾 , 松村達也
发明人：原口大 , 内山圭吾 , 松村達也
IPC分类号： G21K5/04 , B01J19/12 , G01T1/24 , H01J37/244 , H01L21/027
CPC分类号： G21K5/04 , H01J37/244 , H01J2237/026 , H01J2237/24585
摘要：　電子線照射システムにおいては、チャンバ２に収容された試料４に電子線Ｅを照射し、その試料４に照射された電子線エネルギーを、電子線検出器７によって測定する。このとき、電子線検出器７の検出面７ａを、導電性遮光膜７ｂで覆うことにより、当該電子線検出器７にて電子線Ｅを検出する際に、チャンバ２内における可視光や紫外光等から影響を受けることを防止する。これによって、試料４に照射された電子線エネルギーを正確に測定することができる。
摘要翻译：在电子束照射系统中，照射容纳在室（2）中的样品（4），用电子束（E）照射样品（4）照射的电子束的能量，通过电子束检测器（7）。电子束检测器（7）的检测面（7a）被导电遮光膜（7b）覆盖，使得当电子束检测器（7）检测到电子束（E）时，可见光消除了室（2）中的光，紫外线和其它光。这使得能够准确地测量照射样品（4）的电子束的能量。

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