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1. 发明申请

WO2004061983A1 電子デバイスおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：电子设备及其制造方法
公开(公告)号：WO2004061983A1
公开(公告)日：2004-07-22
申请号：PCT/JP2003/016837
申请日：2003-12-25
申请人：松下電器産業株式会社 , 生嶋君弥 , 菰淵寛仁 , 馬場彩子 , 内田幹也
发明人：生嶋君弥 , 菰淵寛仁 , 馬場彩子 , 内田幹也
IPC分类号： H01L35/34
CPC分类号： H01L37/00 , G01J5/045 , H01L37/02
摘要：　本発明では、空洞壁部材であるポリシリコン膜１４にエッチング用ホール２１を形成する。エッチング用ホール２１からフッ酸を注入し、シリコン酸化膜１３を溶解し、空洞２２を形成する。空洞２２内でセンサの検出部１２が露出された状態になる。次に、スパッタにより、エッチング用ホール２１内及び基板の上面上にＡｌ膜１６を堆積した後、エッチバックにより、Ａｌ膜１６のうちポリシリコン膜１４上に位置する部分を除去して、エッチング用ホールを封鎖しているＡｌからなる金属栓１６ａのみを残す。スパッタ工程は、５Ｐａ以下の圧力下で行なわれるので空洞２２内の圧力を低圧に保持することができる。
摘要翻译：一种电子器件及其制造方法，其特征在于，在形成于中空壁构件的多晶硅膜（14）上形成蚀刻孔（21），从蚀刻孔（21）填充氢氟酸溶解氧化硅膜（13），以形成传感器的检测部（12）露出的中空部（22），在蚀刻孔（21）和基板的上表面堆叠A1膜（16）通过溅射除去位于多晶硅膜（14）的上表面上的A1膜（16）的部分，通过蚀刻回去仅留下密封蚀刻孔的A1的金属塞（16a）。由于在5Pa以下的压力下进行飞溅工序，所以能够将中空部22的压力保持在低压状态。

2. 发明申请

WO2005015637A1 電子デバイスおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：电子装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2005015637A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/JP2004/011425
申请日：2004-08-03
申请人：松下電器産業株式会社 , 生嶋君弥 , 菰淵寛仁 , 馬場彩子
发明人：生嶋君弥 , 菰淵寛仁 , 馬場彩子
IPC分类号： H01L27/14
CPC分类号： G01J5/04 , G01J5/02 , G01J5/0215 , G01J5/023 , G01J5/024 , G01J5/045 , G01J5/061
摘要：　本発明の電子デバイスでは、空洞壁部によって囲まれ減圧された空洞と、空洞内に配置され、周囲の物質を吸着する機能を有するゲッタリング薄膜と、少なくとも一部が前記空洞内に配置され、ゲッタリング薄膜を発熱によって活性化する機能を有する活性化部を備えている。
摘要翻译：电子设备包括由空腔壁围绕并被抽真空的空腔，设置在空腔中的具有吸附周围物质的功能的薄吸气膜，以及激活部分，其至少一部分设置在空腔中，并且具有通过发热激活薄吸气膜的功能。

3. 发明申请

WO2006132155A1 電子デバイス及びその製造方法审中-公开
标题翻译：电子设备及其制造方法
公开(公告)号：WO2006132155A1
公开(公告)日：2006-12-14
申请号：PCT/JP2006/311113
申请日：2006-06-02
申请人：松下電器産業株式会社 , 生嶋君弥 , 馬場彩子
发明人：生嶋君弥 , 馬場彩子
IPC分类号： G01J1/02 , G01J1/42 , H01L27/14 , H01L37/00
CPC分类号： G01J5/10 , G01J5/02 , G01J5/024 , G01J5/0245 , G01J5/20 , G01J5/34 , H01L27/14669 , H01L31/02016 , H01L31/09 , Y10T29/49002
摘要：　本発明の電子デバイスは、第１コンタクト部（２４）を有し、赤外線の照射を受けて物理特性が変化する少なくとも１つの感熱部（１３）と、第２コンタクト部（４２）を有し、感熱部１３の物理特性の変化を検知する検出回路部と、第１コンタクト部（２４）と第２コンタクト部（４２）とを接触させて電気的に接続する第１状態と、第１コンタクト部（２４）と第２コンタクト部（４２）とを離間させて電気的に切断した第２状態とを交互に切り替えることができる駆動部（１１２）とを備える。
摘要翻译：电子装置包括：具有第一接触单元（24）的至少一个热敏单元（13），并且通过接收红外线的照射来改变其物理特性; 检测电路单元，具有第二接触单元（42）并检测所述热敏单元（13）的物理特性的变化; 以及驱动单元（112），其能够在第一接触单元（24）与用于进行电连接的第二接触单元（42）接触的第一状态和第二状态之间交替切换，其中第一接触单元（24）与用于断电的第二接触单元（42）分开。

4. 发明申请

WO2008044578A1 電子デバイス审中-公开
标题翻译：电子设备
公开(公告)号：WO2008044578A1
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/JP2007/069392
申请日：2007-10-03
申请人：松下電器産業株式会社 , 生嶋君弥
发明人：生嶋君弥
IPC分类号： G01J1/02 , G01J5/12 , G01J5/20 , G01J5/34
CPC分类号： G01J5/12 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/0245 , G01J5/08 , G01J5/084 , G01J5/0853
摘要：　本発明の電子デバイスは、赤外線の照射を受けて昇温する赤外線吸収部１２と、赤外線吸収部１２からの熱によって生じた温度変化に応じて物理特性が変化する少なくとも１つの感熱部１３とを備え、赤外線吸収部１２と感熱部１３とが接触した第１状態と、赤外線吸収部１２と感熱部１３とが離間した第２状態とを交互に切り替えるように感熱部１３と赤外線吸収部１２との位置関係を変化させることができる。
摘要翻译：电子设备包括：红外线吸收单元（12），其上施加红外线以增加其温度; 和至少一个具有根据由红外线吸收单元（12）的热引起的温度变化而变化的物理特性的热敏单元（13）。可以改变热敏单元（13）和红外线吸收单元（12）之间的位置关系，以便在红外线吸收单元（12）与热敏单元接触的第一状态之间交替地切换 13）和红外线吸收单元（12）离开热敏单元（13）的第二状态。

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