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    • 1. 发明申请
    • 感光性樹脂組成物
    • 光敏树脂组合物
    • WO2017170249A1
    • 2017-10-05
    • PCT/JP2017/012086
    • 2017-03-24
    • 東レ株式会社
    • 木内洋平荘司優磯部王郎
    • G03F7/075G03F7/027G03F7/037G03F7/20C08G77/26
    • 耐薬品性および電気絶縁性に優れ、かつ硬化後に順テーパーの断面形状を有する硬化レリーフパターンを得られる感光性樹脂組成物を提供する。本発明はポリイミドおよびその前駆体、ならびにポリベンゾオキサゾールおよびその前駆体 から選択される1種類以上を含むアルカリ可溶性樹脂(A)、ならびに (メタ)アクリル基含有化合物(B)を含有し、 前記(メタ)アクリル基含有化合物(B)が、 一般式(1)で表される構造と、一般式(2-1)、一般式(2-2)、および一般式(2-3)から選択される1種類以上の構造とを有する化合物の縮合物であって、 一般式(1)の構造を複数有する多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)を含み、 前記化合物(B1)の重量平均分子量が1,000~20,000である、 感光性樹脂組成物。 (一般式(1)中、R1は水素原子またはメチル基を示す。mは1≦m≦4の範囲内の整数を表す。*印は結合部を示す。一般式(2-1)(2-2)および(2-3)においてR 2 はメチル基またはエチル基を示す。nは1≦n≦4の範囲内の整数を表す。*印は結合部を示す。)
    • 本发明提供一种感光性树脂组合物,其具有优异的耐化学性和电绝缘性,并且可以获得固化后具有正锥形截面形状的固化凸纹图案。 (A)含有选自聚酰亚胺及其前体和聚苯并恶唑及其前体中的至少一种以及含(甲基)丙烯酰基的化合物(B),其中所述( 含有化合物(B)选自通式(1)和通式(2-1),通式(2-2)和通式(2-3)表示的结构, 含有具有多个通式(1)的结构的含(甲基)丙烯酰基的硅烷缩合物(B1),其中化合物(B1)为具有至少一个结构 一种重均分子量为1,000至20,000的光敏树脂组合物。 其中R 1表示氢原子或甲基,m表示1≤m≤4范围内的整数,并且*表示键合部分:在通式(2-1)中, -2)和(2-3)中,R 2表示甲基或乙基,n表示1≤n≤4范围内的整数。星号 。)