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    • 8. 发明申请
    • プラズマ発生電極及びプラズマ反応器
    • 等离子体生产电极和等离子体反应器
    • WO2005027593A1
    • 2005-03-24
    • PCT/JP2004/013211
    • 2004-09-10
    • 日本碍子株式会社本田技研工業株式会社藤岡 靖昌桝田 昌明近藤 厚男
    • 藤岡 靖昌桝田 昌明近藤 厚男
    • H05H1/24
    • F01N3/0892H05H1/2406H05H2001/2418H05H2001/2437
    •  本発明のプラズマ発生電極は、互いに対向する二つ以上の、長方形の表面及び四つの端面を有する板状の単位電極2と、単位電極2を、単位電極2の四つの端面に対応した四つの端部のうち、一組の互いに平行な端部(一組の端部)の少なくとも一方(固定端6)を保持する保持部材5とを備えたプラズマ発生電極であって、互いに対向する単位電極2の少なくとも一方が、セラミック体3と導電膜4とを有する導電膜配設電極8であるとともに、導電膜配設電極8の四つの端部うち、一組の端部に隣接する他の一組の互いに平行な端部(他の一組の端部9)側における、導電膜4の先端からセラミック体3の先端までの距離a(mm)と、セラミック体3の厚さc(mm)とが、(c/2)≦a≦5cの関係を満たすプラズマ発生電極であり、熱衝撃による破損を有効に防止することができる。
    • 等离子体产生电极包括彼此相对并具有矩形表面和四个边缘表面的两个或更多个板状单元电极(2),以及至少在一个边缘(固定边缘)上保持单元电极(2)的保持构件(5) (6))在与每个单位电极(2)的四个边缘表面相对应的四个边缘之外的一组平行边缘(一组边缘)。 相对的单位电极(2)中的至少一个是具有陶瓷体(3)和导电膜(4)的导电性膜被覆电极(8)。 对于与导电膜涂覆电极(8)的四个边缘中的上述一组边缘相邻的另一组平行边缘(另一组边缘(9)),距离a(mm) 导电膜(4)到陶瓷体(3)的端部的端部和陶瓷体(3)的厚度c(mm)满足关系式(c / 2)<= a <= 5c。 可以有效防止热冲击造成的损坏。