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    • 3. 发明申请
    • 感放射線組成物、積層体及びその製造方法並びに電子部品
    • 辐射敏感组合物,层压板,生产SANE和电子部件的工艺
    • WO2005096100A1
    • 2005-10-13
    • PCT/JP2005/006014
    • 2005-03-30
    • 日本ゼオン株式会社大森 宏紀寺田 和代木内 孝司
    • 大森 宏紀寺田 和代木内 孝司
    • G03F7/038
    • C08G59/32C08L63/00G03F7/0007G03F7/038C08L2666/02
    • 【課題】 電気特性に優れ、現像時の膜厚の減少や現像膜の剥がれを起こさず、高温加熱後も形状保持性及び透明性が高く、更に耐薬品性に優れた感放射線組成物、この感放射線組成物を用いてなる樹脂膜を基板上に形成した積層体、及びこの積層体の製造方法を提供する。 【解決手段】 エポキシ基と反応する極性基を含有する重合体、主鎖構造に脂環構造を有し3個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物を含有してなる架橋剤及び感放射線化合物を含有してなる感放射線組成物。基板と、この架橋性樹脂組成物を用いて形成された樹脂膜とからなる積層体。
    • [问题]为了提供在电性能上优异的辐射敏感性组合物,在显影时没有任何膜厚度的降低和显影的膜分离,并且即使在高温下加热,也表现出高的形状保持能力和透明度, 卓越的耐化学性。 提供叠层在基板上的具有该辐射敏感性组合物的树脂膜的层压体; 和层叠体的制造方法。 解决问题的手段提供一种包含具有与环氧基反应的极性基团的聚合物的辐射敏感性组合物,含有在其主链骨架中具有脂环结构的聚环氧化合物的交联剂,并具有三个或更多个环氧 基团和辐射敏感性化合物。 此外,提供了包含该可交联树脂组合物的基板和树脂膜的层压体。
    • 4. 发明申请
    • 感放射線組成物、積層体及びその製造方法並びに電子部品
    • 辐射敏感组合物,多层体及其制造方法和电子元件
    • WO2005098539A1
    • 2005-10-20
    • PCT/JP2005/005094
    • 2005-03-22
    • 日本ゼオン株式会社東 広和寺田 和代木内 孝司
    • 東 広和寺田 和代木内 孝司
    • G03F7/004
    • G03F7/0048G03F7/038
    • 【課題】 電気特性に優れ、溶解安定性が良好で、塗布ムラがなく、安全性の高い感放射線組成物、この感放射線組成物を用いてなる樹脂膜を基板上に形成した積層体、及びこの積層体の製造方法を提供する。 【解決手段】 プロトン性極性基を含有する環状オレフィン系重合体、感放射線化合物、架橋剤及び溶媒を含有してなる感放射線組成物であって、該溶媒が、同一分子内に互いに異なる二つのアルキル基を有するジアルキレングリコールジアルキルエーテルを含有してなることを特徴とする感放射線組成物。基板と、その上に上記感放射線組成物を用いて形成された樹脂膜とからなる積層体。
    • 公开了一种非常安全的辐射敏感性组合物,其具有优异的电特性和良好的溶液稳定性,能够形成不含凹凸的涂层。 还公开了一种多层体,其中通过使用该辐射敏感性组合物在基材上形成树脂膜,以及这种多层体的制造方法。 含有具有极性质子基团,辐射敏感性化合物,交联剂和溶剂的环状烯烃聚合物的辐射敏感性组合物的特征在于,溶剂在一个分子中含有具有两个不同烷基的二烷基二醇二烷基醚。 使用上述辐射敏感性组合物的多层体包含在基板上形成的基板和树脂膜。