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    • 4. 发明申请
    • 薄膜半導体基板およびその製造装置
    • 薄膜半导体基板及其制造方法
    • WO2010010739A1
    • 2010-01-28
    • PCT/JP2009/056283
    • 2009-03-27
    • 次世代モバイル用表示材料技術研究組合日本電気株式会社株式会社日立ディスプレイズ大槻 重義江口 敏正中 正敏竹知 和重大内 潔
    • 大槻 重義江口 敏正中 正敏竹知 和重大内 潔
    • G09F9/00G02F1/13G02F1/1333G09F9/33
    • G02F1/133305G02F1/1362H01L27/1218
    • 【課題】フラットパネルディスプレイの大量生産を可能とし、かつ保管、運搬が容易で安価である。 【解決手段】プラスチック基板と対向して組み合わせてフラットパネルディスプレイとするための薄膜半導体基板であって、薄膜半導体アレイ3を有する単板状の絶縁基板4が長尺状のプラスチックフィルム2上に連続して貼合されてなる。プラスチック基板と対向して組み合わせてフラットパネルディスプレイとするための薄膜半導体基板を製造する装置であって、薄膜半導体アレイ3を保護するための保護フィルム5が貼合された単板状の絶縁基板4を長尺状のプラスチックフィルム2上に連続して貼合する貼合部20と、保護フィルム5を加熱または紫外線照射により剥がす剥離部30と、長尺状の保護フィルム6を長尺状のプラスチックフィルム2にラミネートして薄膜半導体アレイ3を保護するラミネート部40と、長尺状の保護フィルム6をラミネートした長尺状のプラスチックフィルム2をロール状に巻き取る巻取り部50とを有する。
    • 平板显示器通过批量生产制造,并且以低成本易于储存和运输。 提供一种薄膜半导体衬底,其面向塑料衬底并与塑料衬底组合以便成为平板显示器。 每个具有薄​​膜半导体阵列(3)的单板状绝缘基板(4)连续地接合在长的塑料薄膜(2)上。 还提供了用于制造薄膜半导体衬底的装置,其面向塑料衬底并与塑料衬底组合以便成为平板显示器。 该装置具有用于在长的塑料薄膜(2)上连续地接合单板状绝缘基板(4)的接合部分(20),每个单板状绝缘基板(4)上都有一个保护膜(5),用于保护薄膜 半导体阵列(3); 用于通过加热或紫外线照射剥离保护膜(5)的剥离部分(30); 层叠部分(40),其在长的塑料膜(2)上层叠长的保护膜(6),以保护薄膜半导体阵列(3); 以及卷取部,其卷绕有长度保护膜(6)的长型塑料膜(2)。