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    • 2. 发明申请
    • レジスト積層体の形成方法
    • 形成多层耐蚀性的方法
    • WO2005050320A1
    • 2005-06-02
    • PCT/JP2004/016937
    • 2004-11-15
    • ダイキン工業株式会社荒木 孝之高 明天佐藤 数行大橋 美保子岸川 洋介
    • 荒木 孝之高 明天佐藤 数行大橋 美保子岸川 洋介
    • G03F7/11
    • G03F7/0046C09D133/16G03F7/091
    •  真空紫外領域の光線を利用するフォトリソグラフイープロセスにおいて充分な反射防止効果を有し、かつ現像プロセスにおいても充分な現像特性を有するレジスト積層体を形成する。(I)基板上にフォトレジスト層(L1)を形成する工程、および(II)フォトレジスト層(L1)上に、親水性基Yを有する含フッ素重合体(A)を含むコーティング組成物を塗布することにより反射防止層(L2)を形成する工程を含むフォトレジスト積層体の形成方法であって、含フッ素重合体(A)が親水性基Yを含有する含フッ素エチレン性単量体由来の構造単位を有し、さらに該含フッ素重合体(A)が、(i)親水性基YがpKaで11以下の酸性OH基を含むこと、(ii)フッ素含有率が50質量%以上であること、および(iii)含フッ素重合体(A)100g中の親水性基Yのモル数が0.14以上であることを特徴とする。
    • 公开了一种在光刻工艺中具有足够抗反射效果的多层抗蚀剂的形成方法,其中利用了真空紫外线范围内的光,并且在显影过程中具有充分的显影特性。 用于形成多层抗蚀剂的方法包括在基板上形成光致抗蚀剂层(L1)的步骤(I)和用于在光致抗蚀剂层(L1)上形成抗反射层(L2)的步骤(II) 含有亲水性基团Y的含氟聚合物(A)的涂料组合物的特征在于,含氟聚合物(A)具有来自具有亲水性基团Y的含氟乙烯性单体的结构单元, (i)含氟聚合物(A)的亲水性基团Y含有pKa为11以下的酸性OH基,(ii)含氟聚合物(A)的氟含量不少于 50质量%以下,(iii)100g含氟聚合物(A)中的亲水性基团Y的摩尔数不小于0.14。
    • 4. 发明申请
    • 水性重合体分散組成物および撥水撥油剤
    • 水性聚合物分散体组合物和水反应性油剂
    • WO2009104728A1
    • 2009-08-27
    • PCT/JP2009/052999
    • 2009-02-20
    • ダイキン工業株式会社岸川 洋介武内 留美山本 育男
    • 岸川 洋介武内 留美山本 育男
    • C09K3/18C08L27/06C08L33/04C09D5/02C09D5/16C09D127/04C09D133/16
    • C08L33/08C08L33/16C09D5/1668C08L2666/04
    •  Rf含有樹脂の使用量を大幅に減少させても、高い撥水撥油性およびその耐久性を発揮し得る水分散型撥水撥油剤組成物を得る。  重合体(A)と重合体(B)とを含み、かつ、重合体(A)と重合体(B)が同一の粒子内に存在しないことを特徴とする撥水撥油剤組成物を提供する。  重合体(A):下記重合性単量体(a)の重合単位と、下記重合性単量体(b)または(c)を含む付加重合体。重合体(B):重合性単量体(a)の重合単位を含まず、重合性単量体(c)または重合性単量体(y)を含む付加重合体。  重合性単量体(a):ポリフルオロアルキル基を有する(メタ)アクリレートあるいはα位がハロゲン置換されたアクリレート類。重合性単量体(b)および(c):アルキル基を有し、ポリフルオロアルキル基を有しないα位がハロゲン置換されていることがあるアクリレート。  重合性単量体(y):不飽和二重結合を形成する炭素原子にハロゲン原子が結合した重合性単量体。
    • 公开了即使当其中使用的含Rf树脂的量显着降低时,也可以表现出高斥水斥油性和耐久性的水分散防水斥油剂组合物。 拒水斥油剂组合物的特征在于含有不存在于同一个颗粒中的聚合物(A)和聚合物(B)。 聚合物(A)是含有下述可聚合单体(a)的聚合单元和下述可聚合单体(b)或(c)的聚合单元的加聚物。 聚合物(B)是不含可聚合单体(a)的聚合单元但含有可聚合单体(c)的聚合单元或可聚合单体(y))的加成聚合物。 聚合性单体(a)是在a位具有多氟烷基或丙烯酸酯卤素取代的(甲基)丙烯酸酯。 可聚合单体(b)和(c)是具有烷基但不具有多氟烷基的丙烯酸酯,其可以在a位被卤素取代。 可聚合单体(y)是其中卤素原子与构成不饱和双键的碳原子结合的可聚合单体。