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1. 发明申请

WO2004024982A1 成膜装置审中-公开
标题翻译：电影制作装置
公开(公告)号：WO2004024982A1
公开(公告)日：2004-03-25
申请号：PCT/JP2003/011599
申请日：2003-09-10
申请人：エア・ウォーター株式会社 , 稲垣徹 , 山本和馬 , 横山敬志 , 白幡孝洋
发明人：稲垣徹 , 山本和馬 , 横山敬志 , 白幡孝洋
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/45574
摘要：ガス噴出ヘッドの各ノズルからのガス噴出状態が適正化された成膜装置を提供する。　処理空間１内のガス噴出ヘッド７には、被処理物５側に面するヘッド面８に各処理ガスを独立して噴出させる噴出部９がそれぞれ多数設けられ、ガス噴出ヘッド７は、各処理ガス毎の導入側流路１６Ａ，１７Ｂ，１８Ｃをそれぞれ有し、各処理ガス毎に対応して存在する流路部材１０Ａ，１１Ｂ，１２Ｃから構成されるとともに、上記各流路部材がヘッド面８に実質的に沿う方向で分離した積層構造を呈しており、各流路部材１０Ａ，１１Ｂ，１２Ｃのノズル側流路１９Ａ，２０Ｂ，２１Ｃからそれぞれの処理ガスに対応するノズルに対して処理ガスが供給されるように構成されている。これにより、各処理ガスが独立した流路を経て被処理物５に噴射され、良好な品質の成膜が形成される。
摘要翻译：一种成膜装置，其中气体喷射头中的每个喷嘴的气体的注入状态是适当的。处理空间（1）中的气体注入头（7）包括安装在面向处理对象（5）的头表面（8）中的多个出口部分（9），用于独立地注入单独的处理气体，流动通道（16A， 17B，18C）和对应于各个加工气体的流路部件（10A，11B，12C），所述流动通道部件提供层叠结构，其中它们在基本上沿着头部表面的方向上分离（ 8），以使处理气体从流路部件（10A，11B，12C）的喷嘴侧流路（19A，20B，21C）供给到与处理气体对应的喷嘴中。由此，各处理气体通过独立流路向处理对象物（5）注入，从而获得良好质量的成膜。

2. 发明申请

WO2003065800A1 燻蒸方法およびそれに用いる燻蒸装置审中-公开
标题翻译：方法和装备装备
公开(公告)号：WO2003065800A1
公开(公告)日：2003-08-14
申请号：PCT/JP2003/001082
申请日：2003-02-03
申请人：エア・ウォーター株式会社 , 関東港業株式会社 , 山本和馬 , 柴田仁 , 清水洋志 , 吉田隆夫 , 山内和夫 , 若松寛徳
发明人：山本和馬 , 柴田仁 , 清水洋志 , 吉田隆夫 , 山内和夫 , 若松寛徳
IPC分类号： A01M13/00
CPC分类号： A01M13/00
摘要： A method for fumigation which comprises providing a compressed-argon gas cylinder (1) and a PO cylinder (8) filled with liquid propylene oxide, introducing an argon gas fed from the compressed-argon gas cylinder (1) and liquid propylene oxide fed from the PO cylinder (8) in advance to a gas-liquid mixer (5) to mix them, introducing the resultant gas-liquid mixture from the gas-liquid mixer (5) to a vaporizer (25) for vaporization, and then introducing the resulting mixed gas to a place (31) to be fumigated; and an apparatus for practicing the method. The method can be employed for fumigating a wide place such as a cultural facility with a compact apparatus.
摘要翻译：一种熏蒸方法，其特征在于包括：提供压缩氩气瓶（1）和填充有液体环氧丙烷的PO筒（8），引入从压缩氩气瓶（1）供给的氩气和从 PO气缸（8）预先放入气液混合器（5）中以混合，将得自气液混合器（5）的气液混合物引入汽化器（25）进行汽化，然后将将混合气体送至要熏蒸的地方（31）; 以及实施该方法的装置。该方法可以用于使用紧凑的设备来熏蒸广泛的地方，例如文化设施。

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