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1. 发明申请

WO2008075692A1 面発光レーザーおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：表面发射激光器及其制造方法
公开(公告)号：WO2008075692A1
公开(公告)日：2008-06-26
申请号：PCT/JP2007/074338
申请日：2007-12-18
申请人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション , 中川茂
发明人：中川茂
IPC分类号： H01S5/183
CPC分类号： H01S5/1833 , B82Y20/00 , H01S5/18311 , H01S5/18316 , H01S5/18347 , H01S5/18363 , H01S5/2081 , H01S5/3432 , H01S2301/163
摘要：【課題】　長寿命で信頼性の高い面発光レーザーの構造を提供し、かかる面発光レーザーを製造するための方法を提供する。【解決手段】　基板の上部に設けられた、複数の半導体層を含む下部ブラッグ反射鏡と、下部ブラッグ反射鏡の上部に設けられた、活性層、および活性層の下部に設けられた、開口部を有する第１の絶縁層を含む下部半導体層、および前記活性層の上部に設けられた、開口部を有する第２の絶縁層を含む上部半導体層を含む共振器と、共振器の上部に設けられた、複数の半導体層を含む上部ブラッグ反射鏡を備える、面発光レーザーが提供される。下部ブラッグ反射鏡の複数の半導体層のうちの最上層が第１の絶縁層の開口部を覆うエア・ギャップを形成し、上部ブラッグ反射鏡の複数の半導体層のうちの最下層が第２の絶縁層の開口部を覆うエア・ギャップを形成する。
摘要翻译：为了提供长的使用寿命和高度可靠的表面发射激光器结构，并提供制造这种表面发射激光器的方法。解决问题的手段表面发射激光器设置有下布拉格反射器，其布置在基板的上部并且包括多个半导体层，以及谐振器，其布置在所述基板的上部下布拉格反射器，并且包括下半导体层和上半导体层。下半导体层包括具有有源层的第一绝缘层和布置在有源层下部的开口部分。上半导体层布置在有源层的上部，并且包括具有开口部分的第二绝缘层。表面发射层还设置有布拉格反射器，其布置在谐振器的上部并且包括多个半导体层。下部布拉格反射器的半导体层中的最上层形成用于覆盖第一绝缘层的开口部的气隙，并且上部布拉格反射器的半导体层中的最下层形成用于覆盖第一绝缘层的开口部的空气间隙第二绝缘层。

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