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1. 发明申请

WO2009065938A1 SONDE ATOMIQUE A HAUTE ACCEPTANCE 审中-公开
标题翻译：具有高度接受性的原子探针
公开(公告)号：WO2009065938A1
公开(公告)日：2009-05-28
申请号：PCT/EP2008/066012
申请日：2008-11-21
申请人： CAMECA , LE CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , YAVOR, Mikhaïl , BOSTEL, Alain
发明人： YAVOR, Mikhaïl , BOSTEL, Alain
IPC分类号： H01J49/06 , H01J49/40 , H01J37/285
CPC分类号： H01J49/40 , H01J49/0004 , H01J49/06 , H01J2237/285
摘要： La présente invention se rapporte au domaine des sondes atomiques tomographiques et plus particulièrement des sondes dites "sondes 3D". Elle propose une solution alternative aux dispositifs existants pour réaliser une sonde qui maximise l'angle d'acceptance tout en conservant une assez bonne résolution en masse. Ce résultat est obtenu en associant deux lentilles électrostatiques, une première lentille, appelée lentille objectif, placée à proximité de l'électrode accélératrice configurée pour maximiser l'angle d'acceptance, et une seconde lentille électrostatique, appelée lentille correctrice configurée pour corriger le phénomène d'aberration qui affecte les trajectoires des ions traversant la lentille objectif, phénomène d'aberration qui affecte particulièrement les ions qui suivent les trajectoires les plus éloignées de l'axe optique de la lentille. Les différents éléments constituant la sonde selon l'invention sont par ailleurs agencés de façon à maintenir un rapport minimum entre la distance séparant le plan principal de la lentille objectif de celui de la lentille correctrice et la distance séparant le plan principal de la lentille objectif de l'échantillon.
摘要翻译：本发明涉及断层原子探针的领域，更具体地涉及所谓的“3D探针”。它为现有设备提供了一种替代解决方案，用于生产探头，使探测角度最大化，同时仍保持相当高的体积分辨率。该结果通过组合两个静电透镜来实现 - 第一透镜，称为物镜，被放置在靠近加速电极的位置，以使接收角最大化;以及第二静电透镜（称为校正透镜），被配置为校正像差现象，影响通过物镜的离子的路径 - 该像差现象特别影响沿离透镜的光轴最远的路径的离子。构成根据本发明的探针的各种部件也被布置成保持分离物镜的主平面与校正透镜的距离的距离和将物镜的主平面分开的距离与标本。

2. 发明申请

WO2010092141A1 DISPOSITIF D'ANALYSE DE MASSE A LARGE ACCEPTANCE ANGULAIRE COMPRENANT UN REFLECTRON 审中-公开
标题翻译：具有包括电路在内的宽角度接受的质量分析装置
公开(公告)号：WO2010092141A1
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：PCT/EP2010/051764
申请日：2010-02-12
申请人： CAMECA , YAVOR, Mikhaïl
发明人： YAVOR, Mikhaïl
IPC分类号： H01J49/40
CPC分类号： H01J49/405 , H01J49/0004
摘要： Dispositif d'analyse de masse (100) à large acceptance angulaire, notamment du type spectromètre de masse ou microscope à sonde atomique, comprenant des moyens de réception d'un échantillon (101), des moyens d'extraction d'ions depuis la surface de l'échantillon (101), et un réflectron (103) produisant un champ électrostatique toroïdal dont les lignes équipotentielles sont définies par une première courbure dans une première direction et un premier centre de courbure (105), et une seconde courbure dans une seconde direction perpendiculaire à la première direction et un second centre de courbure, caractérisé en ce que l'échantillon (101) est disposé à proximité du premier centre de courbure (105).
摘要翻译：本发明涉及一种具有广角角接受度的质量分析装置（100），特别是质谱仪或原子探针显微镜，包括用于接收样品（101）的装置，用于从该表面提取离子的装置样品（101）和产生环形静电场的反射器（103），其中等电位线由第一方向和第一曲率中心（105）的第一曲率限定，第二方向垂直于第二方向到第一方向和第二曲率中心，其特征在于，样品（101）被放置成与第一曲率中心（105）相邻。

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