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    • 4. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM SCHLEUSEN EINES SUBSTRATS IN EINE UND AUS EINER VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE
    • 方法和设备锁基板至并从真空涂布设备
    • WO2009000813A1
    • 2008-12-31
    • PCT/EP2008/057969
    • 2008-06-23
    • VON ARDENNE Anlagentechnik GmbHSCHULZE, DietmarHECHT, Hans-ChristianKRAUSE, JochenHOFMANN, Michael
    • SCHULZE, DietmarHECHT, Hans-ChristianKRAUSE, JochenHOFMANN, Michael
    • C23C14/56
    • C23C14/566
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Schleusen eines Substrats in eine oder aus einer Prozesskammer einer Vakuumbeschichtungsanlage, bei welcher an einen Prozessbereich eine Schleusenkammer angrenzt, die durch zwei vakuumdicht schließbare Schleusentore von der umgebenden Atmosphäre und vom Prozessbereich trennbar ist und der Prozessbereich zumindest eine Prozesskammer sowie eine Transferkammer zur Änderung der Transportgeschwindigkeit des Substrats umfasst. Zum Schleusen eines Substrats wird ein eingangsseitiges vakuumdichtes Tor eines Schleusensystems geöffnet, das Substrat in das Schleusensystem transportiert und das Tor geschlossen, nachfolgend der Druck im Schleusensystem auf den Druck in dem in Transportrichtung folgenden Raum angepasst, darauf ein das Schleusensystem abschließendes ausgangsseitiges Tor geöffnet und das Substrats aus dem Schleusensystem transportiert. Das Schleusensystem wird durch eine Schleusenkammer und eine daran angrenzende Transferkammer gebildet, indem während der Schleusung des Substrats die Transferkammer mit der Schleusenkammer verbunden wird und das Schleusentor zwischen Transferkammer und Schleusenkammer geöffnet bleibt.
    • 本发明涉及的方法和用于在或离开真空镀膜设备的处理腔室,其中一个过程区,相邻的锁定室,其是可分离的基板的锁装置通过周围大气的两个真空密闭的闸门,并从处理区域和所述处理区域中,至少一个 包括处理室和用于改变衬底的输送速度的传送室。 的输入侧的锁定系统的真空密闭门被打开以用于基片的锁,在锁系统传送所述衬底和所述门关闭时,随后适于对在输送方向室下面的压力在锁定系统中的压力,打开它,一个锁定系统最终输出侧端口和 基板输送出水闸系统。 闸门系统是由一个锁定室和传送腔室的邻接传送腔室构成的基板的走私期间被连接到锁定室,并保持打开传送室之间的闸门和负载锁定室。
    • 5. 发明申请
    • ELONGATE VACUUM SYSTEM FOR COATING ONE OR BOTH SIDES OF A FLAT SUBSTRATE
    • 用于平面基底的单面或双面涂层的纵向真空系统
    • WO2005045092A3
    • 2005-07-21
    • PCT/DE2004002466
    • 2004-11-04
    • ARDENNE ANLAGENTECH GMBHERBKAMM WOLFGANGSCHULZE DIETMARMELCHER JENSGAWER OLAF
    • ERBKAMM WOLFGANGSCHULZE DIETMARMELCHER JENS
    • C23C14/56
    • C23C14/568
    • The invention relates to an elongate vacuum system for coating one or both sides of a flat substrate which can be displaced by said system. Said vacuum system comprises at least one magnetron provided with a magnetron surrounding area and is subdivided into successive compartments in the direction of transportation of the substrate by closeable separating walls comprising suction openings. The compartments can be evacuated either directly by means of a vacuum end provided on the compartment or indirectly via a suction opening in the separating wall. At least one compartment comprises an upper partial compartment which is arranged above the substrate, said partial compartment comprising, in at least one of the outer walls thereof, a closeable upper opening. The aim of the invention is to produce an elongate coating system which is flexible to use according to the requirements of various one and two-sided coating processes and to carrying out the processes within the system and said system ensures a stable, differential and process-optimised sputter atmosphere. Said aim is achieved by virtue of the fact that, at least in one of the upper partial compartments, horizontal and/or vertical elements can be mounted in order to subdivide the upper partial compartments into several sections.
    • 本发明涉及一种纵向延伸的真空系统,用于单面或双面涂层可动的通过平基片的系统,其中所述真空系统包含至少一种磁控管用Magnetronumgebung并且具有在下面的隔室中的基片传输方向的隔壁闭吸入口上彼此被划分,或者直接 通过存在于隔室的真空连接,或间接地通过一个吸入口在分隔壁,其中至少一个隔室包括布置在所述基板的上方,在其外壁中的至少一个可封闭的顶部开口上Teilkompartment,任务是基于一个被抽空 指定纵向延伸的涂层系统,该系统根据工厂内的工艺流程灵活满足各种单面和双面涂层工艺的要求,从而获得稳定, 确保可区分和工艺优化的溅射气氛。 这是在该至少水平和/或垂直元件来实现,用于将上部Teilkompartments被安装在上部Teilkompartments之一成几个部分。
    • 8. 发明申请
    • LÄNGSERSTRECKTE VAKUUMANLAGE ZUR EIN- ODER BEIDSEITIGEN BESCHICHTUNG FLACHER SUBSTRATE
    • 纵向延伸的真空系统一侧或两侧涂层平面基板的
    • WO2005045092A2
    • 2005-05-19
    • PCT/DE2004/002466
    • 2004-11-04
    • VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBHGAWER, OlafERBKAMM, WolfgangSCHULZE, DietmarMELCHER, Jens
    • ERBKAMM, WolfgangSCHULZE, DietmarMELCHER, Jens
    • C23C14/56
    • C23C14/568
    • Der Erfindung, die eine längserstreckte Vakuumanlage zur ein- oder beidseitigen Beschichtung von durch die Anlage bewegbarer, flacher Substrate betrifft, wobei die Vakuumanlage zumindest ein Magnetron mit Magnetronumgebung aufweist und durch verschließbare Saugöffnungen aufweisende Trennwände in in Substrattransportrichtung aufeinander folgende Kompartments unterteilt ist, die entweder direkt über einen am Kompartment vorhandenen Vakuumanschluss oder indirekt über eine Saugöffnung in der Trennwand evakuierbar sind, wobei mindestens ein Kompartment ein oberhalb des Substrats angeordnetes, oberes Teilkompartment umfasst, welches in zumindest einer seiner Außenwandungen eine verschließbare, obere Öffnung aufweist, liegt die Aufgabe zugrunde, eine längserstreckte Beschichtungsanlage anzugeben, die den Anforderungen verschiedenster ein- und beidseitiger Beschichtungsprozesse hinsichtlich des Prozessdurchlaufs innerhalb der Anlage flexibel zu gestalten ist und dabei eine stabile, differenzierbare und prozessoptimierte Sputteratmosphäre gewährleistet. Dies wird dadurch gelöst, dass zumindest in einem der oberen Teilkompartments horizontale und/oder vertikale Elemente zur Unterteilung des oberen Teilkompartments in mehrere Sektionen montierbar sind.
    • 本发明涉及一种纵向延伸的真空系统,用于单面或双面涂层可动的通过平基片的系统,其中所述真空系统包含至少一种磁控管用Magnetronumgebung并且具有在下面的隔室中的基片传输方向的隔壁闭吸入口上彼此被划分,或者直接 通过存在于隔室的真空连接,或间接地通过一个吸入口在分隔壁,其中至少一个隔室包括布置在所述基板的上方,在其外壁中的至少一个可封闭的顶部开口上Teilkompartment,任务是基于一个被抽空 提供纵向延伸的涂覆设备,这是为了使各个单和双面涂覆工艺的要求在系统中运行灵活的处理方面,并由此稳定, 微分和工艺优化溅射保证。 这是在该至少水平和/或垂直元件来实现,用于将上部Teilkompartments被安装在上部Teilkompartments之一成几个部分。
    • 9. 发明申请
    • HOCHTEMPERATUR-LATENTWÄRMESPEICHER
    • 高温相变
    • WO2010084161A1
    • 2010-07-29
    • PCT/EP2010/050698
    • 2010-01-21
    • TECHNISCHE UNIVERSITÄT ILMENAUTHESS, AndréBÜHL, JürgenSCHULZE, DietmarNILIUS, Andreas
    • THESS, AndréBÜHL, JürgenSCHULZE, DietmarNILIUS, Andreas
    • F28D20/00F28D20/02C09K5/06C09K5/12F24J2/34
    • F28D20/00C09K5/063F24S60/00F28D20/02F28F19/00F28F2270/00Y02E60/142Y02E60/145
    • Die Erfindung betrifft einen Hochtemperatur-Latentwärmespeicher, der einen Speicherbehälter (32) mit einer Speicherbehälterinnenwand (33) sowie ein im Speicherbehälter (32) angeordnetes Speichermedium (31) besitzt, welches an die Speicherbehälterinnenwand (33) unmittelbar angrenzt und zumindest bei einer Betriebstemperatur im flüssigen Aggregatzustand vorliegt. Weiterhin sind eine Isolationsschicht (35), eine thermische Beladeeinrichtung und eine thermische Entladeeinrichtung vorgesehen. Erfindungsgemäß sind die Materialien von Speichermedium (31) und Speicherbehälterinnenwand (33) sowie die Betriebstemperatur des Latentwärmespeichers so gewählt, dass sich bei der thermischen Beladung bis zur Betriebstemperatur ein Opferanteil des Materials der Speicherbehälterinnenwand (33) in dem flüssigen Speichermedium (31) löst, bis sich ein stabiles thermodynamisches Gleichgewicht ausbildet. Die Dicke der Speicherbehälterinnenwand (33) ist dabei so gewählt, dass sie auch nach der Ablösung des Opferanteils bei maximaler thermisher Beladung geschlossen und dicht für das Speichermedium (31) ist, um den mechanischen Stabilitätserfordernissen zu genügen.
    • 本发明涉及一种高温潜热存储装置,其具有具有贮存器的内壁(33)的储存容器(32)和在所述储存容器(32),其布置的存储介质(31),其直接邻接存储容器的内壁(33)和至少在所述液体的操作温度 聚集状态。 此外,提供的绝缘层(35),热加载装置和热排出装置。 根据本发明,所述存储介质(31)和所述储存容器的内壁(33)和潜热储存装置的操作温度的材料被选择为使得达到工作解决了在热负荷液体存储介质(31)的储存容器的内壁(33)的材料的牺牲部分,直到 稳定的热力学平衡形式。 被选择存储容器的内壁(33)的厚度,使得它是封闭的,并且还在最大加载thermisher紧所述存储介质(31),以满足机械稳定性要求替换所述牺牲部分之后。
    • 10. 发明申请
    • HOCHDRUCKDIESELVENTIL UND GEEIGNETER MAGNET
    • 高压柴油阀和适当的磁铁
    • WO2008084112A1
    • 2008-07-17
    • PCT/EP2008/050313
    • 2008-01-11
    • HYDRAULIK-RING GMBHBLEECK, MatthiasCORNEA, MariusSCHULZE, Dietmar
    • BLEECK, MatthiasCORNEA, MariusSCHULZE, Dietmar
    • F16K31/06
    • F16K31/0668
    • Die Erfindung betrifft ein Druckventil bzw. Druckbegrenzungsventil (1) für eine hydraulische Anlage, insbesondere für ein Hochdruck Kraftstoffsystem, mit einem Ventilgehäuse (2) in dem ein elektromagnetischer Wandler (3) mit einem Spulenkörper (4), einem Polkern (5) und einem, ein Steuerelement (6) betätigenden, axialverschieblichen Anker (7) eingesetzt ist, wobei das Steuerelement (6) eine Druckmittelöffnung (8) in dem Ventilgehäuse (2) verschließen kann, und mit einem Deckel (27) zumVerschluss des Ventilgehäuses (2) nach der Montage des elektromagnetischen Wandlers (3). Um ein Druckbegrenzungsventilzu schaffen, dessen axialer Abstand (a) vom Polkern (5) zum Anker (7) von außen exakt justierbar und kontrollierbar ist, ist vorgesehen, dass der axiale Abstand (a) des Ankers (7) zu dem Polkern (5) über die Positionswahl und Festlegung des Deckels (27) an dem Ventilgehäuse (2) eingestellt ist. Um ein Druckventil(1)zu schaffen, das bei optimiertem Herstellungsaufwand im Betrieb verschleißarm und leichtgängig ist, ist vorgesehen, dass der Anker (7) mit einem Ankersitz (8) verbunden ist, der in dem Ventilgehäuse (2) mit Gleitsitz-oder Schlichtgleitsitzpassung verschiebbar gelagert ist und der Anker (7) zumindest Laufsitztoleranz oder eine größere Toleranz aufweist.Als weitere Optimierung, insbesondere zur Justierung, wird eine besondere Maßtoleranz für die Kombination aus Anker(7) und Ankersitz(8) vorgeschlagen.
    • 本发明涉及一种压力阀或泄压阀(1)的液压系统,尤其是用于高压燃料系统,包括:一个阀壳体(2),其中一个电磁换能器(3)配有一个骨架(4),一个极芯(5)和一个 ,一个控制元件(6)可致动的,轴向可移动的电枢(7)(2)根据插入,其中,所述控制部件(6)可以关闭压力流体开口(8)在阀壳(2),并用一个盖子(27)zumVerschluss阀壳体 电磁换能器的组件(3)。 为了提供Druckbegrenzungsventilzu,轴向距离(a)从所述磁极铁心(5)到所述电枢(7)从外侧是精确可调和可控制的,它提供的是,电枢的轴向距离(a)(7)连接到所述磁极铁芯(5) 在阀壳体上的盖(27)的位置选择和确定(2)被设置。 为了提供一个压力释放阀(1),这是耐磨在操作和顺利优化的生产复杂性,它提供的是,电枢(7)有锚座(8)连接,在阀壳体(2)通过滑动配合或Schlichtgleitsitzpassung 可滑动地安装和电枢(7)的至少一个运行的,用于调节一个特殊的尺寸公差为锚(7)和锚固座(8)的组合的配合公差或更大公差aufweist.Als进一步优化,特别是提出了。