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1. 发明申请

WO0140770A3 ADAPTIVE TOLERANCE REFERENCE INSPECTION SYSTEM 审中-公开
标题翻译：自适应公差参考检查系统
公开(公告)号：WO0140770A3
公开(公告)日：2002-03-28
申请号：PCT/IL0000820
申请日：2000-12-05
申请人： ORBOTECH LTD , ASPIR DORON , KRAUS MENAHEM , ORGAD DROR , NADIVI JACOB
发明人： ASPIR DORON , KRAUS MENAHEM , ORGAD DROR , NADIVI JACOB
IPC分类号： G01R31/302 , G01N21/956
CPC分类号： G01R31/302
摘要： Method and apparatus for automatically optically inspecting electrical circuits by matching portions of an electrical circuit being inspected to corresponding portions in a reference, wherein an adaptive spatial tolerance representing a permissible deviation in the location of corresponding portions is applied to a portion. The spatial tolerances for each portion is in part a function of a characteristic of the portion, for example one or more of: the proximity of the portion to other portions of predetermined type, a spatial location of the portion in an electrical circuit, a material from which the portion is formed, the color of the portion and the intensity of light reflected by the portion. Non-defective matching portions an electrical circuit being inspected and in a reference must be separated by a distance which is less than the adaptive spatial tolerance.
摘要翻译：通过将被检查的电路的部分匹配到参考中的相应部分来自动光学检查电路的方法和装置，其中表示相应部分的位置的允许偏差的自适应空间公差被应用于一部分。每个部分的空间公差部分地是部分的特性的函数，例如以下中的一个或多个的功能：部分与预定类型的其他部分的接近，电路中的该部分的空间位置，材料形成该部分的部分的颜色和由该部分反射的光的强度。被检查的电路和参考中的无缺陷匹配部分必须分开小于自适应空间容差的距离。

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