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1. 发明申请

WO2012177477A2 METHOD OF OPTIMIZING AN OPTICAL PARAMETRIC MODEL FOR STRUCTURAL ANALYSIS USING OPTICAL CRITICAL DIMENSION (OCD) METROLOGY 审中-公开
标题翻译：使用光学关键尺寸（OCD）方法优化结构分析的光学参数模型的方法
公开(公告)号：WO2012177477A2
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/US2012/042437
申请日：2012-06-14
申请人： TOKYO ELECTRON LIMITED , KLA-TENCOR CORPORATION , DZIURA, Thaddeus, G. , CHUANG, Yung-Ho , TSAI, Bin-ming, Benjamin , LIN, Xuefeng , HENCH, John, J.
发明人： DZIURA, Thaddeus, G. , CHUANG, Yung-Ho , TSAI, Bin-ming, Benjamin , LIN, Xuefeng , HENCH, John, J.
IPC分类号： G06T7/00 , G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24 , G01B2210/56 , G01N21/47 , G01N21/956 , G01N2021/95615 , G03F7/70625 , G06F17/5009
摘要： Optimization of optical parametric models for structural analysis using optical critical dimension metrology is described. A method includes determining a first optical model fit for a parameter of a structure. The first optical model fit is based on a domain of quantities for a first model of the structure. A first near optical field response is determined for a first quantity of the domain of quantities and a second near optical field response is determined for a second, different quantity of the domain of quantities. The first and second near optical field responses are compared to locate a common region of high optical field intensity for the parameter of the structure. The first model of the structure is modified to provide a second, different model of the structure. A second, different optical model fit is determined for the parameter of the structure based on the second model of the structure.
摘要翻译：描述了使用光学关键尺寸度量结构分析的光学参数模型的优化。一种方法包括确定适合结构参数的第一光学模型。第一个光学模型拟合是基于结构的第一个模型的数量域。对于第一量的量域确定第一近场光响应，并且针对量的第二个不同数量的量确定第二近场光响应。比较第一和第二近场光响应，以定位用于结构参数的高光场强度的公共区域。该结构的第一个模型被修改以提供第二个不同的结构模型。基于结构的第二个模型，确定结构参数的第二个不同的光学模型拟合。

2. 发明申请

WO2012177477A3 METHOD OF OPTIMIZING AN OPTICAL PARAMETRIC MODEL FOR STRUCTURAL ANALYSIS USING OPTICAL CRITICAL DIMENSION (OCD) METROLOGY 审中-公开
标题翻译：使用光学关键尺寸（OCD）方法优化结构分析的光学参数模型的方法
公开(公告)号：WO2012177477A3
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：PCT/US2012042437
申请日：2012-06-14
申请人： TOKYO ELECTRON LTD , KLA TENCOR CORP , DZIURA THADDEUS G , CHUANG YUNG-HO , TSAI BIN-MING BENJAMIN , LIN XUEFENG , HENCH JOHN J
发明人： DZIURA THADDEUS G , CHUANG YUNG-HO , TSAI BIN-MING BENJAMIN , LIN XUEFENG , HENCH JOHN J
IPC分类号： G06T7/00 , G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24 , G01B2210/56 , G01N21/47 , G01N21/956 , G01N2021/95615 , G03F7/70625 , G06F17/5009
摘要： Optimization of optical parametric models for structural analysis using optical critical dimension metrology is described. A method includes determining a first optical model fit for a parameter of a structure. The first optical model fit is based on a domain of quantities for a first model of the structure. A first near optical field response is determined for a first quantity of the domain of quantities and a second near optical field response is determined for a second, different quantity of the domain of quantities. The first and second near optical field responses are compared to locate a common region of high optical field intensity for the parameter of the structure. The first model of the structure is modified to provide a second, different model of the structure. A second, different optical model fit is determined for the parameter of the structure based on the second model of the structure.
摘要翻译：描述了使用光学关键尺寸度量结构分析的光学参数模型的优化。一种方法包括确定适合结构参数的第一光学模型。第一个光学模型拟合是基于结构的第一个模型的数量域。对于第一量的量域确定第一近场光响应，并且针对量的第二个不同数量的量确定第二近场光响应。比较第一和第二近场光响应，以定位用于结构参数的高光场强度的公共区域。该结构的第一个模型被修改以提供第二个不同的结构模型。基于结构的第二个模型，确定结构参数的第二个不同的光学模型拟合。

3. 发明申请

WO2012107666A1 PROCEDE DE DETECTION DE DEFAUT OPTIQUE DANS UN PARE-BRISE 审中-公开
标题翻译：用于检测风窗中的光学缺陷的方法
公开(公告)号：WO2012107666A1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：PCT/FR2012/050190
申请日：2012-01-30
申请人： PEUGEOT CITROEN AUTOMOBILES SA , LE ROUX, Stephanie , LIN, Xuefeng
发明人： LE ROUX, Stephanie , LIN, Xuefeng
IPC分类号： G01N21/958
CPC分类号： G01N21/958 , G01N2021/9586
摘要： L'invention a trait à un procédé de détection de distorsions optiques dans une plaque de verre telle qu'un pare-brise. Le procédé consiste à procéder à l'observation, avec un capteur CCD (8), au travers du pare-brise (2) d'une mire (6) constituée d'une série de lignes horizontales, selon un angle d'incidence (β - ι +32 ) supérieur à 45° et à détecter les diminutions d'épaisseur, les ressauts et/ou les décalages verticaux des lignes dans l'image observée. La présence de diminutions d'épaisseur, de ressauts et/ou de décalages verticaux ponctuels sur plusieurs lignes adjacentes, ces défauts ponctuels étant alignés selon un droite transversale, est indicatrice de la présence d'un défaut susceptible de générer une coupure des objets observés au travers de la plaque de verre.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测玻璃板（例如挡风玻璃）中的光学失真的方法。该方法包括：利用CCD传感器（8）观察通过挡风玻璃（2）并且以大于45º的入射角（β-α+ 32）观察，由一系列水平线组成的目标（6）线; 并且检测观察图像中的线的厚度，偏差和/或垂直偏移的减小。在多个相邻线上的特定点处存在厚度，偏差和/或垂直偏移的减少，特定点处的所述缺陷在直线横向线对齐，表示存在能够切割的缺陷关闭通过玻璃板观察到的物体。

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