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1. 发明申请

WO2004057266A8 INTERFEROMETER SYSTEM AND MEASURING DEVICE 审中-公开
标题翻译：干涉仪系统的光学相干断层扫描
公开(公告)号：WO2004057266A8
公开(公告)日：2005-01-20
申请号：PCT/EP0314636
申请日：2003-12-19
申请人： ZEISS CARL , ZEISS CARL AG , HAUGER CHRISTOPH , LASSER THEO , SIEGEL AUGUSTIN , HOELLER FRANK , KNUPFER KLAUS , MONZ LUDWIN , GROSS HERBERT
发明人： HAUGER CHRISTOPH , LASSER THEO , SIEGEL AUGUSTIN , HOELLER FRANK , KNUPFER KLAUS , MONZ LUDWIN , GROSS HERBERT
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00 , G01B11/03 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02057 , G01B9/02063 , G01B9/02081 , G01B9/0209 , G01B11/005 , G01B2290/45
摘要： The invention relates to an interferometer system (41), especially for use in a co-ordinate measuring system. Said interferometer system comprises, disposed in an illumination beam path, a pair of spaced-apart boundary surfaces (52, 53). A boundary surface (53) facing an object (9) is arranged in a detection beam path, a detector (61) being additionally disposed in said detection beam path. The invention also relates to an interferometer system, especially one of the above-described type, which is provided with a speed indicating system for detecting a relative speed between the test head and the object. A frequency filter of the interferometer system is adjusted depending on the relative speed.
摘要翻译：它是一种干涉仪（41），特别是建议用于坐标测量机上的使用，其中，所述干涉仪系统包含在照明光路中，一对间隔开的布置的边界表面（52，53）的和在所述接口对一个物体（9）分配边界表面（53）被布置在检测光束路径，被布置在所述检测光束路径进一步包括检测器（61）。此外，它是一个干涉仪，特别是上述类型，提出了具有用于检测测量头与上述目的，干涉仪的频率滤波器之间的相对速度的速度测量系统上的相对速度依赖性调节。

2. 发明申请

WO2004057266A3 INTERFEROMETERSYSTEM FÜR OPTISCHE KOHÄRENZTOMOGRAPHIE 审中-公开
公开(公告)号：WO2004057266A3
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/EP2003/014636
申请日：2003-12-19
申请人： CARL ZEISS , CARL ZEISS AG , HAUGER, Christoph , LASSER, Theo , SIEGEL, Augustin , HÖLLER, Frank , KNUPFER, Klaus , MONZ, Ludwin , GROSS, Herbert
发明人： HAUGER, Christoph , LASSER, Theo , SIEGEL, Augustin , HÖLLER, Frank , KNUPFER, Klaus , MONZ, Ludwin , GROSS, Herbert
IPC分类号： G01B9/02
摘要： Es wird ein Interferometersystem (41) insbesondere zur Verwendung für ein Koordinatenmessgerät vorgeschlagen, wobei das Interferometersystem in einem Beleuchtungsstrahlengang ein Paar von mit Abstand voneinander angeordneten Grenzflächen (52, 53) aufweist und eine einem Objekt (9) zuweisende Grenzfläche (53) des Grenzflächenpaares in einem Detektionsstrahlengang angeordnet ist, wobei in dem Detektionsstrahlengang ferner ein Detektor (61) angeordnet ist. Ferner wird ein Interferometersystem, insbesondere der vorangehend geschilderten Art, vorgeschlagen, welches ein Geschwindigkeitsmesssystem zur Erfassung einer Relativgeschwindigkeit zwischen dem Messkopf und dem Objekt aufweist, wobei ein Frequenzfilter des Interferometersystems in Abhängigkeit von der Relativgeschwindigkeit eingestellt wird.

3. 发明申请

WO2010017884A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR AN物体的表面进行光学检查
公开(公告)号：WO2010017884A1
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/EP2009/005341
申请日：2009-07-23
申请人： CARL ZEISS OIM GMBH , KNUPFER, Klaus
发明人： KNUPFER, Klaus
IPC分类号： G01B11/25 , G01N21/88
CPC分类号： G01B11/25 , G01N21/8806
摘要： Eine Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (16) an einem Gegenstand (14) besitzt eine Aufnahme (12) zum Platzieren des Gegenstandes (14). Sie besitzt ferner eine Anzeigeeinheit (18), die dazu ausgebildet ist, ein Hell-Dunkel- Muster (20) mit einem sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernden Helligkeitsverlauf (22) zu erzeugen. Die Anzeigeeinheit (18) ist relativ zu der Aufnahme (12) so angeordnet, dass das Hell-Dunkel-Muster (20) auf die Oberfläche (16) fällt. Eine Kamera (26) dient zum Aufnehmen einer Anzahl von Bildern der Oberfläche (16) mit dem Hell-Dunkel-Muster (20). Mit einer Auswerteeinheit (30) werden Eigenschaften der Oberfläche (16) in Abhängigkeit von den Bildern bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist zwischen der Anzeigeeinheit (18) und der Oberfläche (16) eine milchglasartige Streuscheibe (36) angeordnet.
摘要翻译：为一个对象（14）上光学检测的表面（16）上的装置具有用于将所述物体（14）的容座（12）。它还具有适于产生明暗图案（20），其具有至少在很大程度上连续变化的亮度轮廓（22）的显示单元（18）。所述显示单元（18）设置为相对于所述容器（12），使得明暗图案（20）撞击面（16）。一种照相机（26），其布置成接收数字的表面（16）与所述明暗图案（20）的图像。与评估单元（30）是响应于图像中的面（16）的确定的特性。根据本发明的一个方面，一个毛玻璃漫射屏（36）被设置在显示单元（18）和所述表面（16）之间。

4. 发明申请

WO2009083251A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND 审中-公开
标题翻译：方法和装置的物体的表面进行光学检查
公开(公告)号：WO2009083251A1
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：PCT/EP2008/011127
申请日：2008-12-29
申请人： CARL ZEISS AG , KNUPFER, Klaus , SPRUCK, Bernd , KIMMIG, Wolfgang , BECK, Rolf
发明人： KNUPFER, Klaus , SPRUCK, Bernd , KIMMIG, Wolfgang , BECK, Rolf
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/47 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/2536 , G01N21/8806 , G01N21/9515 , G01N2021/8829
摘要： Zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (17) wird ein Muster bereitgestellt, das einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) mit einer ersten räumlichen Periode bildet. Der Gegenstand mit der Oberfläche (17) wird relativ zu dem Muster derart positioniert, dass der erste räumliche Intensitätsverlauf (34a) auf die Oberfläche (17) fällt. Es wird eine Anzahl von Primärbildern aufgenommen, die die Oberfläche (17) mit dem ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34a) zeigt. In Abhängigkeit von den Primärbildern werden Eigenschaften der Oberfläche (17) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird zumindest ein weiterer räumlicher Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) mit einer weiteren räumlichen Periode bereitgestellt. Die erste und die weiteren räumlichen Perioden sind verschieden voneinander. Es wird eine Anzahl von weiteren Primärbildern aufgenommen, die die Oberfläche (17) mit dem weiteren räumlichen Intensitätsverlauf (34b, 34c, 34d) zeigen, in Abhängigkeit von den ersten und weiteren Primärbildern wird zumindest eine Kenngröße bestimmt, die für eine Streucharakteristik (110, 112) der Oberfläche (17) repräsentativ ist.
摘要翻译：用于光学检测的表面（17），提供了一种图案，其形成具有第一空间周期的第一空间强度轮廓（34A）。与所述表面（17）的对象相对于所述图案被定位成使得所述表面上的第一空间强度轮廓（34A）...（17）下降。它是采取了一些主要的图像，所述表面（17）与所述第一空间强度轮廓（34A）示出。根据表面的主图像的特性（17）被确定。根据本发明的一个方面，至少一个另外的空间强度轮廓（34B，34C，34D）上设置有另外的空间周期。所述第一和所述另外的空间周期是彼此不同的。它是采取了一些其他主图像，所述表面（17）与所述另外的空间强度轮廓（34B，34C，34D）所示，作为特征变量至少是所确定的第一和另一主图像的功能（对于散射特性110 表面（17）的112）是代表。

5. 发明申请

WO2005085749A1 TASTKOPF FÜR EIN KOORDINATENMESSGERÄT 审中-公开
标题翻译：用探头坐标测量仪
公开(公告)号：WO2005085749A1
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：PCT/EP2005/000007
申请日：2005-01-04
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , STACKLIES, Horst , KNUPFER, Klaus
发明人： STACKLIES, Horst , KNUPFER, Klaus
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/007 , G01B5/012
摘要： Ein Tastkopf für ein Koordinatenmessgerät besitzt eine Tastkopfbasis (40) und einen relativ dazu beweglichen Taststift (28). Ein optischer Detektor zum Erfassen von Auslenkungen des Taststiftes (28) beinhaltet einen Lichtsender (52) zum Erzeugen einer definierten Lichtfigur (64) und einen Lichtempfänger (54, 56). Gemäss einem Aspekt der Erfindung weist der Lichtempfänger zumindest zwei Zeilensensoren (54, 56) mit einer Vielzahl von zeilenförmig aneinandergereihten lichtempfindlichen Elementen (58) auf. Die zumindest zwei Zeilensensoren (54, 56) sind raümlich versetzt zueinander angeordnet, jedoch von der Lichtfigur (64) gemeinsam beleuchtet (Fig. 2).
摘要翻译：的探针具有探针头（40）和可移动的相对于探针销（28）的坐标测量机。用于检测所述触针（28）的偏转的光学检测器包括用于产生一个定义的光图案（64）和光接收器（54，56）光发射器（52）。根据本发明的一个方面，在具有多个并列线性光敏元件（58）的至少两个线阵传感器（54，56）的光接收器。所述至少两个线阵传感器（54，56）的偏移raümlich布置成彼此但是从图中的光（64）照亮在一起（图2）。

6. 发明申请

WO2009007130A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND 审中-公开
标题翻译：方法和装置的物体的表面进行光学检查
公开(公告)号：WO2009007130A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/EP2008/005683
申请日：2008-07-11
申请人： CARL ZEISS AG , KNUPFER, Klaus
发明人： KNUPFER, Klaus
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/25 , G01B11/30
CPC分类号： G01N21/8806 , G01B11/2518 , G01N2021/1772 , G01N2021/1774 , G01N2021/8845
摘要： Zum Inspizieren einer Oberfläche (17) an einem Gegenstand (16) wird ein Muster (29) mit einer Vielzahl von helleren und dunkleren Bereichen (30, 31, 32, 33) bereitgestellt. Die Bereiche bilden einen ersten räumlichen Intensitätsverlauf (34) mit einer ersten räumlichen Periode (36). Der Gegenstand mit der Oberfläche wird relativ zu dem Muster positioniert, so dass der Intensitätsverlauf auf die Oberfläche fällt. Der Intensitätsverlauf wird relativ zu der Oberfläche um eine definierte Schiebedistanz (18) verschoben, wobei die Oberfläche entlang der Schiebedistanz (18) eine Vielzahl von unterschiedlichen Positionen relativ zu dem ersten Intensitätsverlauf einnimmt. Es wird eine Vielzahl von Bildern aufgenommen, die die Oberfläche mit dem ersten Intensitätsverlauf an den unterschiedlichen Positionen zeigen. In Abhängigkeit von den Bildern werden Eigenschaften der Oberfläche bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung beinhaltet das Muster (29) eine Überlagerung von zumindest zwei verschiedenen Streifenmustern (26, 28), die gemeinsam auf die Oberfläche fallen. Ein erstes Streifenmuster (26) bildet den ersten räumlichen Intensitätsverlauf mit der ersten räumlichen Periode (36). Ein weiteres Streifenmuster (28) bildet einen weiteren räumlichen Intensitätsverlauf mit einer weiteren räumlichen Periode. Die zumindest zwei verschiedenen Streifenmuster (26, 28) werden vor dem Bestimmen der Eigenschaften der Oberfläche mit Hilfe einer Filterung getrennt. Die Eigenschaften der Oberfläche werden in Abhängigkeit von dem ersten und/oder in Abhängigkeit von dem weiteren Streifenmuster (26, 28) bestimmt.
摘要翻译：用于在物体上检测的表面（17）（16）设有的较亮和较暗的区域（30，31，32，33）的多个图案（29）。的区域形成具有第一空间周期（36）的第一空间强度轮廓（34）。与表面的物体相对于所述图案，使得强度分布落到表面定位。强度曲线由定义的偏移距离（18），其中，沿着所述滑动距离（18）的表面占据的多个相对于所述第一强度分布的不同位置的相对于表面移动。它溶于多个这表明了与在不同位置处的第一强度分布的表面图像。根据表面图像的特性被确定。根据本发明的一个方面，所述图案（29）包括至少两个不同的条形图案（26,28），其聚集在一起的表面上的叠加。第一条纹图案（26）形成与所述第一空间周期（36）的第一空间强度轮廓。另一个条纹图案（28）形成具有另外的空间周期进一步的空间强度轮廓。所述至少两种不同的条纹图案（26，28）之前，通过过滤的方式确定所述表面的特性分离。表面的特性响应于所述第一和/或在另外的条带图案的函数（26，28）确定。

7. 发明申请

WO2009007129A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES GEGENSTANDS 审中-公开
标题翻译：方法和装置的物体的表面进行光学检查
公开(公告)号：WO2009007129A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/EP2008/005682
申请日：2008-07-11
申请人： CARL ZEISS AG , KNUPFER, Klaus , SPRUCK, Bernd , KIMMIG, Wolfgang , BECK, Rolf
发明人： KNUPFER, Klaus , SPRUCK, Bernd , KIMMIG, Wolfgang , BECK, Rolf
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/25 , G01B11/30
CPC分类号： G01N21/8806 , G01B11/2518 , G01N2021/1772 , G01N2021/1774 , G01N2021/8845
摘要： Zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (17) an einem Gegenstand (16) wird ein Muster (26, 28) mit einer Anzahl von helleren (30, 32) und dunkleren (31, 33) Streifen bereitgestellt, die einen sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernden Helligkeitsverlauf (34) mit einer definierten Periode (36) bilden. Der Gegenstand (16) wird an einer ersten Position relativ zu dem Streifenmuster (26, 28) so positioniert, dass der Helligkeitsverlauf (34) auf die Oberfläche (17) fällt. Mit Hilfe einer Bildaufnahmeeinheit (42), die an einer ersten Position angeordnet ist, wird ein erstes Abbild von der Oberfläche (17) einschließlich des darauf fallenden Helligkeitsverlaufs (34) aufgenommen. Anschließend wird der Helligkeitsverlauf (34) relativ zu der Oberfläche (17) verschoben, und es wird zumindest ein weiteres Abbild von der Oberfläche (17) aufgenommen. In Abhängigkeit von den Abbildern werden Eigenschaften der Oberfläche (17) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird der Helligkeitsverlauf (34) räumlich stationär gehalten und der Gegenstand (16) mit der Oberfläche (17) wird verschoben. Außerdem wird das zumindest eine weitere Abbild mit einer Bildaufnahmeeinheit (44, 46, 48) aufgenommen, die an einer zweiten Position angeordnet ist. Die erste und die zweite Position liegen in einem definierten Abstand zueinander, der gleich der definierten Distanz ist.
摘要翻译：为一个对象（16），图案（26，28）上与多个点火器（30，32）和暗（31,33），条件是至少在很大程度上连续变化的亮度轮廓条光学检测的表面（17）（34）以限定的时间段（36）。所述制品（16）被定位在相对于条纹图案（26,28），所述亮度曲线（34）落在表面（17）上的第一位置。与摄像单元（42）的帮助下布置在第一位置时，所述表面（17）包括入射到其上的亮度曲线（34）被接收的第一图像。随后，亮度曲线（34）相对于所述表面（17）移动，并且存在的溶液中加入所述表面（17）的至少一个另外的图像。根据表面的图像特性（17）被确定。根据本发明的一个方面中，亮度曲线（34）被保持在空间和与所述表面的物体（16）固定（17）被移动。此外，随着图像拾取单元（44，46，48）的至少一个另外的图像被接收其中，布置在第二位置。第一和在限定的距离内的第二位置谎言等于定义的距离。

8. 发明申请

WO2004057266A2 INTERFEROMETER SYSTEM AND MEASURING DEVICE 审中-公开
标题翻译：干涉仪测量装置
公开(公告)号：WO2004057266A2
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/EP0314636
申请日：2003-12-19
申请人： ZEISS CARL , ZEISS STIFTUNG , HAUGER CHRISTOPH , LASSER THEO , SIEGEL AUGUSTIN , HOELLER FRANK , KNUPFER KLAUS , MONZ LUDWIN , GROSS HERBERT
发明人： HAUGER CHRISTOPH , LASSER THEO , SIEGEL AUGUSTIN , HOELLER FRANK , KNUPFER KLAUS , MONZ LUDWIN , GROSS HERBERT
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/00 , G01B11/03 , G01B11/24
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02057 , G01B9/02063 , G01B9/02081 , G01B9/0209 , G01B11/005 , G01B2290/45
摘要： The invention relates to an interferometer system (41), especially for use in a co-ordinate measuring system. Said interferometer system comprises, disposed in an illumination beam path, a pair of spaced-apart boundary surfaces (52, 53). A boundary surface (53) facing an object (9) is arranged in a detection beam path, a detector (61) being additionally disposed in said detection beam path. The invention also relates to an interferometer system, especially one of the above-described type, which is provided with a speed indicating system for detecting a relative speed between the test head and the object. A frequency filter of the interferometer system is adjusted depending on the relative speed.
摘要翻译：它是一种干涉仪（41），特别是建议用于坐标测量机上的使用，其中，所述干涉仪系统包含在照明光路中，一对间隔开的布置的边界表面（52，53）的和在所述接口对一个物体（9）分配边界表面（53）被布置在检测光束路径，被布置在所述检测光束路径进一步包括检测器（61）。此外，它是一个干涉仪，特别是上述类型，提出了具有用于检测测量头与上述目的，干涉仪的频率滤波器之间的相对速度的速度测量系统上的相对速度依赖性调节。

9. 发明申请

WO2010075846A1 VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER ZUMINDEST TEILWEISE GLÄNZENDEN OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND 审中-公开
标题翻译：设备中，用于物体的至少部分表面有光泽光学检测
公开(公告)号：WO2010075846A1
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：PCT/DE2009/001812
申请日：2009-12-23
申请人： CARL ZEISS OIM GMBH , REIMANN, Joachim , HUSS, Volker , SCHÖLLKOPF, Volker , KNUPFER, Klaus-Georg
发明人： REIMANN, Joachim , HUSS, Volker , SCHÖLLKOPF, Volker , KNUPFER, Klaus-Georg
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01N21/15
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/15 , G01N21/9515 , G01N2021/151 , G01N2021/1772 , G01N2021/1774 , G01N2021/8812 , G01N2021/8816 , G01N2021/8835 , G01N2201/0245 , G01N2201/0614 , G01N2201/0626 , G01N2201/0634 , G01N2201/0694
摘要： Eine Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden Oberfläche an einem Gegenstand besitzt einen ersten und zumindest einen zweiten Querträger (12, 14), die jeweils einen weitgehend kreissegmentförmigen Ausschnitt (32) bilden. Die Querträger (12, 14) sind in einem Längsabstand (D) zueinander angeordnet, der eine Längsrichtung (17) definiert. Die beiden Querträger (12, 14) werden mit einer Anzahl von Längsträgern (16) in dem Längsabstand (D) gehalten. Die Längsträger (16) sind in einem definierten Radialabstand (38) zu den kreissegmentförmigen Ausschnitten (32) angeordnet. Die Querträger (12, 14) halten eine lichtdurchlässige Mattscheibe (34), die einen tunnelförmigen Inspektionsraum (36) bildet. Außerhalb des tunnelförmigen Inspektionsraums (36) sind hinter der Mattscheibe eine Vielzahl von Lichtquellen (48) angeordnet, die einzeln oder in kleinen Gruppen ansteuerbar sind, um variable HeIl-Dunkel-Muster (90) auf der Mattscheibe (34) zu erzeugen. Zumindest eine Kamera (74, 78) ist in den tunnelförmigen Inspektionsraum (36) gerichtet.
摘要翻译：用于光学地检验至少部分光泽的表面到对象具有第一和至少一个第二横向构件（12,14），每个形成一基本上圆形的分段成形的切口（32）的装置。横梁（12,14）彼此（D）在布置的纵向距离，纵向方向（17）中所定义。两个横向构件（12，14）被保持与多个纵梁（16）的在所述纵向距离（D）。纵向梁（16）被布置在限定的径向间距（38）以圆形段形切口（32）。横梁（12,14）保持半透明无光泽盘（34），其形成隧道形检查空间（36）。外的隧道形检查空间（36）具有多个光源（48）被单独地或以小组布置可以被控制以产生屏幕（34）上可变药用暗图案（90）。毛玻璃的背后至少一个摄像机（74，78）被定向在隧道形检查空间（36）。

10. 发明申请

WO2009083248A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM OPTISCHEN INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE AN EINEM GEGENSTAND 审中-公开
标题翻译：方法和装置的物体的表面进行光学检查
公开(公告)号：WO2009083248A1
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：PCT/EP2008/011123
申请日：2008-12-29
申请人： CARL ZEISS AG , KNUPFER, Klaus , SPRUCK, Bernd , KIMMIG, Wolfgang , BECK, Rolf
发明人： KNUPFER, Klaus , SPRUCK, Bernd , KIMMIG, Wolfgang , BECK, Rolf
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/88 , G01B11/25 , G01B11/30
CPC分类号： G01B11/2509 , G01N21/55 , G01N21/8806 , G01N21/9515
摘要： Zum Inspizieren einer Oberfläche (17) an einem Gegenstand (16) wird ein Muster (26,28) mit einer Anzahl von helleren (30) und dunkleren (31) Streifen bereitgestellt, die einen sich zumindest weitgehend kontinuierlich ändernden, räumlichen Intensitätsverlauf (34) mit einer Amplitude (35) und einer räumlichen Periode (36) bilden. Der Gegenstand (16) mit der Oberfläche (17) wird relativ zu dem Muster (26,28) positioniert, so dass der räumliche Intensitätsverlauf (34) auf die Oberfläche (17) fällt. Es wird eine Bilderserie mit zumindest drei Primärbildern (66,66') aufgenommen, wobei jedes Primärbild (66,66') die Oberfläche (17) mit dem räumlichen Intensitätsverlauf (34) zeigt, und wobei der räumliche Intensitätsverlauf (34) in jedem der zumindest drei Primärbilder (66,66') eine andere Position relativ zu der Oberfläche (17) besitzt. In Abhängigkeit von den zumindest drei Primärbildern (66,66') werden Eigenschaften der Oberfläche (17) bestimmt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung zeigen die zumindest drei Primärbilder (66,66') die Oberflächenpunkte unter gleichen optischen Bedingungen, und aus den zumindest drei Primärbildern (66,66') werden rechnerisch zumindest zwei Sekundärbilder erzeugt, wobei die zumindest zwei Sekundärbilder voneinander verschieden sind und jedes für eine der drei folgenden Eigenschaften repräsentativ ist: lokale Oberflächenneigung der zu inspizierenden Oberflächenpunkte, lokale Reflektanz der zu inspizierenden Oberflächenpunkte, lokaler Glanzgrad der zu inspizierenden Oberflächenpunkte.
摘要翻译：用于在物体上检测的表面（17）（16）设置有多个的打火机（30）和暗（31）条的图案（26,28），一个至少在很大程度上连续变化的空间强度轮廓（34）的振幅（35）和一个空间周期（36）形成。所述制品（16）与所述表面（17）相对于所述图案（26,28）被定位，以使得在表面上的空间强度轮廓（34），（17）下降。据“并入，每个主图像（66,66具有至少三个主要图像（66,66）”是一系列图像）示出了表面（17）到空间强度轮廓（34），并且其中在每个所述的空间强度轮廓（34）至少三个伯图像（66,66“）具有相对于所述表面（17）的不同位置。作为所述至少三个主图像（66,66“）的函数是在表面（17）的确定的特性。根据本发明的一个方面，所述至少三个主图像（66,66“）中的表面点相同的光学条件下，和从所述至少三个主图像（66,66”上显示）在计算上产生至少两个次级图像，其中，所述至少两个副图像是彼此不同和下面的三个属性中的一个的每个代表：所述表面的局部表面倾斜待检查点时，表面的局部反射率要被检查的表面的局部光泽度的点被检查点。

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