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1. 发明申请

WO2008135320A1 SAUERSTOFF-INHIBIERUNG EINES HÄRTBAREN MATERIALS BEIM STRUKTURIEREN VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译：可固化材料的过程中结构SUBSTRATES氧抑制
公开(公告)号：WO2008135320A1
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：PCT/EP2008/053792
申请日：2008-03-31
申请人： Singulus Technologies AG , SICHMANN, Eggo , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter
发明人： SICHMANN, Eggo , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter
IPC分类号： G11B7/26 , B29D17/00 , G03F7/00 , G11B7/24
CPC分类号： G11B7/263 , B29D17/005 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B7/24038 , G11B7/265
摘要： Die Erfindung stellt ein Verfahren zum Strukturieren eines Substrats bereit. Das Verfahren gemäß der Erfindung weist die folgenden Schritte auf: Beschichten eines Trägersubstrats mit einer Schicht aus einem härtbaren Material, Aussetzen der Materialschicht einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre, Härten der Materialschicht in einem ersten Härtungsschritt durch Bestrahlen, wobei die der sauerstoffhaltigen Atmosphäre ausgesetzte Oberfläche der Schicht weitgehend ungehärtet bleibt, Eindrücken einer Matrize in die Materialschicht zum Ausbilden einer Struktur in der Materialschicht, und Härten der Materialschicht in einem zweiten Härtungsschritt vorzugsweise durch Heizen der Materialschicht. Weiterhin stellt die Erfindung eine Vorrichtung zum Strukturieren eines Substrats gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren bereit.
摘要翻译：本发明提供了图案化基底的方法。本发明的方法包括以下步骤：涂覆有可固化材料的一个层的载体衬底，露出含氧气氛的材料层，在第一固化步骤中通过辐射，其中所述暴露于所述层基本上未固化的含氧气氛表面固化所述材料层保持，按压在该材料层的模具，以在所述材料层的结构，并且在第二固化步骤固化所述材料层，优选地通过加热材料的层。此外，本发明提供了根据本发明的方法形成图案的基板的装置。

2. 发明申请

WO2010023221A1 BESCHICHTUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译：涂装线
公开(公告)号：WO2010023221A1
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/EP2009/060994
申请日：2009-08-26
申请人： SINGULUS TECHNOLOGIES AG , HUBER, Marco , BECKER, Wolfgang , BINKOWSKA, Patrick , CORD, Bernhard , HOHN, Oliver , KEMPF, Stefan , REISING, Michael , ROOS, Björn , RÜTH, Edgar , SICHMANN, Eggo , WOHLFART, Peter
发明人： HUBER, Marco , BECKER, Wolfgang , BINKOWSKA, Patrick , CORD, Bernhard , HOHN, Oliver , KEMPF, Stefan , REISING, Michael , ROOS, Björn , RÜTH, Edgar , SICHMANN, Eggo , WOHLFART, Peter
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67213 , C23C16/54 , H01L21/67167
摘要： Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten im Takt-Betrieb bereitgestellt. Die Prozessstationen der Beschichtungsanlage sind kreisförmig angeordnet. Eine Handhabung zum Überfuhren der Substrate zwischen den Prozessstationen wird bereitgestellt. Die Prozessstationen weisen eine Schleuse zum Be- bzw. Entladen der Substrate, mindestens zwei Beschichtungskammern jeweils mit einer Plasmaquelle zum stationären Beschichten der Substrate und vorzugsweise eine Heizstation auf.
摘要翻译：本发明提供了提供了一种用于在循环操作涂覆基材的涂层系统。所述涂覆设备的处理站被布置成圆形。为处理站之间传送基板的搬运车提供。处理站包括用于装载和基板的卸载锁，每个具有用于涂覆底物的静止等离子体源的至少两个涂布室，并优选在加热站。

3. 发明申请

WO2009000568A1 EINSATZ VON THERMOSETS BEIM STRUKTURIEREN VON SUBSTRATEN 审中-公开
标题翻译： THERMO的使用装置基板的结构
公开(公告)号：WO2009000568A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/EP2008/053794
申请日：2008-03-31
申请人： Singulus Technolgies AG , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter
发明人： HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter
IPC分类号： B29C59/02 , B29D17/00 , G11B7/26
CPC分类号： B29C59/026 , B29L2017/005 , G11B7/263
摘要： Die Erfindung stellt ein Verfahren zum Strukturieren eines Substrats bereit. Als Prägeschicht wird ein flüssiges Thermoset-Material auf die Oberfläche des Substrats aufgetragen. Ein Prägemuster wird durch Heißprägen mittels eines Heißprägestempels in das Thermoset-Material eingebracht; anschließend wird der Heißprägestempel entformt.
摘要翻译：本发明提供了图案化基底的方法。作为压花层，液态的热固性材料被施加到基底的表面上。压花图案由与所述热固性材料热压模热压施加; 然后在热冲压模具从模具中取出。

4. 发明申请

WO2008135319A1 INDUKTIONSHEIZUNG ZUR DYNAMISCHEN TEMPERIERUNG EINER MATRIZE 审中-公开
标题翻译：感应加热模具的动态温度
公开(公告)号：WO2008135319A1
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：PCT/EP2008/053791
申请日：2008-03-31
申请人： SINGULUS TECHNOLGIES AG , SICHMANN, Eggo , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter , REISING, Michael
发明人： SICHMANN, Eggo , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter , REISING, Michael
IPC分类号： H05B6/10 , H05B6/02
CPC分类号： H05B6/105
摘要： Die vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung zum abwechselnden Heizen und Kühlen eines Bauelements aus elektrisch leitendem Material bereit. Die Vorrichtung weist eine Einrichtung aus elektrisch isolierendem Material zum Kühlen des Bauelements über eine mit dem Bauelement in Wärmekontakt stehenden Kühlfläche, und eine Induktionsheizeinrichtung zum Heizen des Bauelements auf.
摘要翻译：本发明提供一种用于交替地加热和冷却导电材料制成的部件的装置。该装置包括电的设备的冷却通过在与所述元件的冷却面热接触的绝缘材料的装置，以及用于加热所述成分的感应加热器。

5. 发明申请

WO2013072282A1 METHOD AND SYSTEM FOR SPATIO-TEMPORAL SENSOR SELECTION 审中-公开
标题翻译：用于空间传感器选择的方法和系统
公开(公告)号：WO2013072282A1
公开(公告)日：2013-05-23
申请号：PCT/EP2012/072409
申请日：2012-11-12
申请人： ATS GROUP (IP HOLDINGS) LIMITED , STROHBACH, Martin , HUBER, Marco , CHANDRA-SEKARAN, Ashok-Kumar
发明人： STROHBACH, Martin , HUBER, Marco , CHANDRA-SEKARAN, Ashok-Kumar
IPC分类号： H04W84/18
CPC分类号： G01D11/00 , H04L67/12 , H04W84/18
摘要： A computer implemented method, computer program product and computer system for sensor selection. The computer system can run the computer program to execute the method by dividing a two-dimensional area into cells, wherein the cells are arranged in a grid; receiving a selection trigger for a subset of cells of the grid, wherein at least one cell of the subset has at least one sensor and the at least one cell has a sampling frequency associated; determining a set of constraints for the at least one sensor; selecting the at least one sensor if the at least one sensor complies with the set of constraints; and calculating a sampling frequency of the at least one sensor dependent on the sampling frequency of the at least one cell.
摘要翻译：计算机实现的方法，计算机程序产品和用于传感器选择的计算机系统。计算机系统可以运行计算机程序以通过将二维区域划分为单元格来执行该方法，其中单元布置在网格中; 接收所述网格的小区子集的选择触发器，其中所述子集的至少一个小区具有至少一个传感器，并且所述至少一个小区具有与之相关联的采样频率; 确定所述至少一个传感器的一组约束; 如果所述至少一个传感器符合所述约束集合，则选择所述至少一个传感器; 以及根据所述至少一个小区的采样频率计算所述至少一个传感器的采样频率。

6. 发明申请

WO2008135318A1 VORRICHTUNG ZUM DYNAMISCHEN TEMPERIEREN EINER MATRIZE 审中-公开
标题翻译：设备技术芯片的动态回火
公开(公告)号：WO2008135318A1
公开(公告)日：2008-11-13
申请号：PCT/EP2008/053790
申请日：2008-03-31
申请人： SINGULUS TECHNOLGIES AG , SICHMANN, Eggo , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter , REISING, Michael
发明人： SICHMANN, Eggo , HUBER, Marco , MARTIN, Frank , WOHLFAHRT, Peter , REISING, Michael
IPC分类号： B29C59/02 , B29D17/00 , G11B7/26
CPC分类号： B29C59/022 , B29C35/002 , B29C35/02 , B29L2017/005 , G11B7/263
摘要： Die vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung zum abwechselnden Heizen und Kühlen eines Bauelements bereit. Die Vorrichtung weist eine Einrichtung zum Halten eines Bauelements, eine Einrichtung zum Kühlen des Bauelements über eine mit dem Bauelement in Wärmekontakt stehenden Kühlfläche, wobei das Bauelement mittels einer Federeinrichtung von der Einrichtung zum Kühlen beabstandet ist, und eine Heizeinrichtung zum Heizen des Bauelements auf.
摘要翻译：本发明提供了用于交替地加热和冷却的组件的装置。该设备包括用于通过在与所述元件冷却表面热接触，其中，所述部件从所述冷却通过弹簧装置从所述装置是指隔开保持部件，用于装置的冷却装置的装置;以及用于在加热部件的加热器。

7. 发明申请

WO2013083823A1 METHOD AND SYSTEM FOR SENSOR CALIBRATION SUPPORT 审中-公开
标题翻译：传感器校准支持的方法和系统
公开(公告)号：WO2013083823A1
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：PCT/EP2012/074875
申请日：2012-12-07
申请人： ATS GROUP (IP HOLDINGS) LIMITED , HUBER, Marco , SASLOGLOU, Konstantinos , ZEIGER, Florian
发明人： HUBER, Marco , SASLOGLOU, Konstantinos , ZEIGER, Florian
IPC分类号： G06Q10/04
CPC分类号： G06Q10/04 , H04L67/125
摘要： A computer implemented method, computer program product and computer system for sensor calibration support. The computer system receives measurement data from at least one sensor node out of a plurality of sensor nodes. The measurement data is validated against an associated sensor state model and a global model, wherein the global model has knowledge about spatio-temporal phenomena observed by the plurality of sensor nodes and wherein the associated sensor state model is associated with the at least one sensor node and the associated sensor state model is based on at least one sensor parameter of the associated at least one sensor node. A de-calibration of the at least one sensor node is detected based on the measurement data validation and a local model is retrieved from the global model for the at least one de-calibrated sensor node, wherein the local model is a spatio-temporal snapshot of the global model. At least one sensor parameter of the at least one de-calibrated sensor node is optimized by comparing the at least one de-calibrated sensor node to at least one calibrated neighboring sensor node from the local model and the at least one optimized sensor parameter is provided to update the at least one sensor state model associated with the at least one de-calibrated sensor node.
摘要翻译：计算机实现的方法，计算机程序产品和用于传感器校准支持的计算机系统。计算机系统从多个传感器节点中的至少一个传感器节点接收测量数据。所述测量数据针对相关联的传感器状态模型和全局模型进行验证，其中所述全局模型具有关于由所述多个传感器节点观察到的时空现象的知识，并且其中所述相关联的传感器状态模型与所述至少一个传感器节点并且相关联的传感器状态模型基于相关联的至少一个传感器节点的至少一个传感器参数。基于测量数据验证来检测至少一个传感器节点的去校准，并且从用于至少一个未校准传感器节点的全局模型中检索到本地模型，其中本地模型是时空快照的全球模式。通过将至少一个去校准的传感器节点与来自本地模型的至少一个校准的相邻传感器节点进行比较来提供至少一个未校准的传感器节点的至少一个传感器参数，并且提供至少一个优化的传感器参数以更新与所述至少一个未校准的传感器节点相关联的所述至少一个传感器状态模型。

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