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    • 1. 发明申请
    • METHOD AND DEVICE FOR COATING A POLYMER FILM WITH AN OXIDE LAYER
    • 用于涂覆聚合物膜与氧化物层的方法和装置
    • WO2007051340A1
    • 2007-05-10
    • PCT/CH2006/000617
    • 2006-11-02
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.FAYET, PierreOLOFSSON, TorstenTILLER, Hans-JurgenRICHTER, Thomas
    • FAYET, PierreOLOFSSON, TorstenTILLER, Hans-JurgenRICHTER, Thomas
    • C23C16/453C23C16/54C23C16/40
    • C23C16/453C23C16/401C23C16/54
    • A web of a polymer film (1) is coated with an oxide layer, in particular with an SiO x barrier layer, by transporting the web with the aid of a rotatable drum (12) through a plurality of flame bands, which are directed in a radial direction from above against the circumferential surface of the drum, which extend at a distance from each other across the width of the web being supported and transported on this circumferential surface, and which are fed with a gas mixture comprising a combustible gas an oxidant and a silicon containing compound. Therein the circumferential surface of the rotatable drum is cooled to a predetermined temperature and the web is transported through the area of the tip of the inner flame region. Polymer films with barrier layers produced in the named way have at small layer thicknesses of less than 10 nm very good barrier properties. In addition, the process being carried out at ambient pressure can be carried out with simple equipment and, if required, in a continuous roll-to-roll or in-line process.
    • 聚合物膜(1)的网由氧化物层,特别是SiO 2 x阻挡层涂覆,借助于可旋转的鼓(12)通过多个 火焰带,其从径向方向从上方抵靠着滚筒的圆周表面,该圆周表面在该圆周表面上被支撑和传送的幅材的宽度上彼此间隔一定距离延伸,并且被供给气体 包含可燃气体的氧化剂和含硅化合物的混合物。 其中可旋转滚筒的圆周表面被冷却到预定的温度,并且幅材被输送通过内火焰区域的尖端区域。 具有以指定方式生产的阻挡层的聚合物膜具有小于10nm的小层厚度非常好的阻隔性能。 此外,在环境压力下进行的方法可以用简单的设备进行,如果需要,可以连续的卷对卷或在线工艺进行。
    • 3. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINES BANDFÖRMIGEN MATERIALS IN EINEM PLASMA-UNTERSTÜTZTEN PROZESS
    • DEVICE FOR治疗频带那样的材料,等离子辅助过程
    • WO2004032175A1
    • 2004-04-15
    • PCT/CH2003/000609
    • 2003-09-09
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.FAYET, PierreJACCOUD, Bertrand
    • FAYET, PierreJACCOUD, Bertrand
    • H01J37/32
    • H01J37/32082C23C14/352C23C14/562H01J37/3266H01J37/3277H01J37/3405
    • Eine Vorrichtung zur Behandlung eines bandförmigen Materials in einem Plasma­unterstützten Prozess weist eine Vakuumkammer (1) mit Mitteln (2) zur Aufrechter­haltung eines konstanten, reduzierten Drucks in der Kammer auf und in der Vakuumkammer angeordnet eine rotierende Trommel (3) für die Stützung und den Trans­port des bandförmigen Materials (4), ein gegen das von der Trommel (3) gestützte und transportierte Material (4) gerichtetes Magnetron-Mittel und ein Gaszufüh­rungsmittel zur Zuführung eines Prozessgases oder einer Prozessgasmischung in den Raum (10) zwischen der Trommel (3) und dem Magnetron-Mittel, in welchem Raum (10) ein Plasma aufrechterhalten wird. Das Magnetron-Mittel weist eine Mehrzahl von voneinander unabhängigen Magnetron-Elektroden (6) auf, die rechteckige, ne­beneinander und parallel zueinander angeordnete Magnetron-Fronten haben. Jede der Magnetron-Elektroden (6) wird individuell von ihrer eigenen Spannungsquelle (7) mit einer Wechselspannung gespeist. Die Trommel (3) ist elektrisch geerdet, nicht an eine definierte Referenzspannung angeschlossen (floating) oder an eine ne­gative Vorspannung angeschlossen. Die Vorrichtung eignet sich insbesondere für die Beschichtung eines flexiblen, bandförmigen Materials (4) durch Plasma-unterstützte Abscheidung aus der Gasphase, beispielsweise für die Beschichtung eines Kunst­stofffilmes mit Siliziumoxyd zur Verbesserung der Barriereeigenschaften. Die Vor­richtung produziert mit einer hohen Zuverlässigkeit Beschichtungen mit sehr kon­stanter Qualität und braucht wenig Unterhalt, der in einfacher Weise durchführbar ist.
    • 一种用于在等离子辅助工艺处理的带状材料的装置包括真空室(1)的装置(2),用于保持所述腔室中的恒定,降低的压力和真空室中的旋转滚筒(3),用于支撑和运输 薄片材料(4),一支撑在所述滚筒(3)和输送材料(4)涉及磁控管装置和气体供应装置,用于供应处理气体或处理气体混合物到滚筒之间的空间(10)(3)和 磁控管装置在该空间(10)中,等离子体被维持。 磁控管装置包括多个独立的磁控管电极(6),其具有矩形的,并排并且平行于彼此磁控管面孔。 每个磁控管电极(6)是由自己的电压源(7)的交变电压供给个别。 滚筒(3)的电气接地,而不是连接到所定义的参考电压(浮动)或连接到负偏压。 该装置特别适合于通过等离子体辅助沉积从气相涂覆的挠性,带状材料(4)的,例如,用于涂覆的塑料膜用氧化硅以改善阻隔性能。 产生的器件具有高可靠性的涂层具有非常一致的质量和需要很少的维护,这以简单的方式进行。
    • 5. 发明申请
    • GAS BURNER
    • 燃气燃烧器
    • WO2009094791A3
    • 2010-04-22
    • PCT/CH2009000021
    • 2009-01-20
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCEROCHAT GILFAYET PIERRERICHTER THOMASZOBEL BERNHARD
    • ROCHAT GILFAYET PIERRERICHTER THOMASZOBEL BERNHARD
    • F23D99/00F23D14/10F23D14/58
    • F23D14/586C23C16/453F23D14/10F23D91/02
    • A gas burner, which is suited particularly for the flame treatment of large substrate surfaces, for example for coating such surfaces in a combustion chemical vapor deposition (CCVD) process, comprises a burner body (1) having a gas feed connection (2) and a nozzle plate (3), wherein the burner body (1) and the nozzle plate (3) together form a gas plenum, and the nozzle plat (3) forms a perforated wall region of the gas plenum. The nozzle plate (3) has a large number of nozzles (4), which extend from a plenum side (5) to a flame side (6) of the nozzle plate (3), and is made of a plurality of metal sheets (10), which are arranged in a stack and run substantially perpendicular or substantially parallel to the nozzle direction. The metal sheets (10) have continuous openings, wherein at least some of the continuous openings of all metal sheets are oriented relative to each other, or they have a comb-like shape. The nozzle plate (3) of the burner can be produced with little effort, for example from commercially available metal perforated plate, regardless of the burner size and the required ratio between the lengths and diameters of the nozzles. It can also be easily adapted to different requirements with respect to the nozzle size or density, and it can be cleaned with little effort.
    • 的燃气燃烧器,其特别适合用于火焰处理大基板的表面,例如的。 实施例对于在燃烧化学气相沉积涂覆这样的表面(CCVD或燃烧化学气相沉积),包括燃烧器主体(1)与气体进料口(2)和一个喷嘴板(3),其中,所述燃烧器本体(1)和喷嘴板 (3)一起形成一个气腔,和喷嘴板(3)形成所述气体增压室的穿孔的壁区域。 喷嘴板(3)具有大量喷嘴(4),延伸从气室侧延伸(5)的喷嘴板(3),它由多个片材(10)的向火焰侧(6) 被布置成堆叠且基本上垂直于或基本平行于喷嘴的方向。 片材(10)具有通孔,其中,所述通过所有片材的孔至少部分地相互对齐,或者它们是梳状。 燃烧器的喷嘴板(3)可以用很少的努力制成,。 实施例从可商购的,金属穿孔板,无论燃烧器尺寸和尺寸和喷嘴的直径产生之间所需的比率的。 您也可以只相对于喷嘴尺寸或不同的需求 - 被严密调节,它可以毫不费力地清洗。
    • 7. 发明申请
    • GASBRENNER
    • 燃气燃烧器
    • WO2009094791A2
    • 2009-08-06
    • PCT/CH2009/000021
    • 2009-01-20
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.ROCHAT, GilFAYET, PierreRICHTER, ThomasZOBEL, Bernhard
    • ROCHAT, GilFAYET, PierreRICHTER, ThomasZOBEL, Bernhard
    • F23D21/00F23D14/10F23D14/58
    • F23D14/586C23C16/453F23D14/10F23D91/02
    • Ein Gasbrenner, welcher sich besonders für die Flammenbehandlung von grossen Substratoberflächen eignet, z. Bsp. zur Beschichtung solcher Oberflächen in einem Verbrennungs-chemischen Gasphasenabscheidungsprozess (CCVD oder combustion chemical vapour deposition), weist einen Brennerkörper (1) mit einem Gaszuführungsanschluss (2) und einer Düsenplatte (3) auf, wobei der Brennerkörper (1) und die Düsenplatte (3) zusammen ein Gasplenum bilden, und die Düsenplatte (3) einen perforierten Wandbereiche des Gasplenums bildet. Die Düsenplatte (3) weist eine grosse Anzahl von Düsen (4) auf, die sich von einer Plenumseite (5) zu einer Flammenseite (6) der Düsenplatte (3) erstrekken, und sie besteht aus einer Mehrzahl von Blechen (10), die in einem Stapel angeordnet sind und im Wesentlichen senkrecht oder im Wesentlichen parallel zur Düsenrichtung verlaufen. Die Bleche (10) weisen durchgehende Öffnungen auf, wobei die durchgehenden Öffnungen aller Bleche mindestens teilweise aufeinander ausgerichtet sind, oder sie sind kammartig geformt. Die Düsenplatte (3) des Brenners kann mit wenig Aufwand hergestellt werden, z. Bsp. aus handelsüblichem, metallenem Lochblech, unabhängig von der Brennergrösse und dem notwendigen Verhältnis zwischen Läge und Durchmesser der Düsen. Sie kann auch einfach an verschiedene Bedürfnisse bezüglich der Düsengrösse oder - dichte angepasst werden, und sie kann mit wenig Aufwand gereinigt werden.
    • 的燃气燃烧器,其特别适合用于火焰处理大基板的表面,例如的。 实施例对于在燃烧化学气相沉积涂覆这样的表面(CCVD或燃烧化学气相沉积),包括燃烧器主体(1)与气体进料口(2)和一个喷嘴板(3),其中,所述燃烧器本体(1)和喷嘴板 (3)一起形成一个气腔,和喷嘴板(3)形成所述气体增压室的穿孔的壁区域。 喷嘴板(3)具有大量喷嘴(4),延伸从气室侧延伸(5)的喷嘴板(3),它由多个片材(10)的向火焰侧(6) 被布置成堆叠且基本上垂直于或基本平行于喷嘴的方向。 片材(10)具有通孔,其中,所述通过所有片材的孔至少部分地相互对齐,或者它们是梳状。 燃烧器的喷嘴板(3)可以用很少的努力制成,。 实施例从可商购的,金属穿孔板,无论燃烧器尺寸和尺寸和喷嘴的直径产生之间所需的比率的。 您也可以只相对于喷嘴尺寸或不同的需求 - 被严密调节,它可以毫不费力地清洗。
    • 9. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG EINES PLASMA-UNTERSTÜTZTEN PROZESSES
    • 装置用于进行等离子辅助过程
    • WO2004031441A1
    • 2004-04-15
    • PCT/CH2003/000610
    • 2003-09-09
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.FAYET, PierreJACCOUD, Bertrand
    • FAYET, PierreJACCOUD, Bertrand
    • C23C16/509
    • H01J37/32009C23C16/509H01J37/3266
    • Eine Vorrichtung zur Durchführung eines Plasma-unterstützten Prozesses, insbeson­dere einer Plasma-unterstützten, chemischen Abscheidung aus der Gasphase weist in einer Vakuumkammer mindestens eine Magnetron-Elektrode auf, die vom unausgeglichenen Typus ist und eine flache Magnetron-Front (20) mit peripheren und zen­tralen Magnetpolen entgegengesetzter Polarität aufweist und die an eine Quelle (34) einer Wechselspannung angeschlossen ist. Die Vorrichtung weist ferner ein Positio­niermittel auf, mit dessen Hilfe ein Substrates (25) mit einer zu behandelnden Ober­fläche gegen die Magnetron-Front gewandt positioniert wird, sowie ein Gaszufüh­rungsmittel zur Zuführung eines Prozessgases oder einer Prozessgasmischung in den Zwischenraum zwischen der Magnetron-Front (20) und der zu behandelnden Ober­fläche. Um ein Optimum an Prozess-Effizienz (z.B. Abscheidungsgeschwindigkeit) zu erreichen, wird der Abstand zwischen der Magnetron-Front (20) und der zu be­handelnden Oberfläche an das durch die Magnetron-Elektrode (32) erzeugte Magnetfeld angepasst, derart, dass sich zwischen dunkleren, durch sich von peripheren zu zentralen Polen der Magnetron-Front erstreckenden Feldlinien gebildeten Tunnels und der zu behandelnden Oberfläche ein heller Plasmastreifen erstreckt, wobei der Plasmastreifen eine minimale Breite aufweist aber gegen die zu behandelnde Ober­fläche eine homogene Helligkeit hat. Der Abstand zwischen der zu behandelnden Oberfläche und der Magnetron-Front ist vorteilhafterweise zwischen 2 und 20% grö­sser als die Höhe der Tunnels. Die Vorrichtung ist anwendbar beispielsweise für die Beschichtung eines Kunststofffilmes mit Siliziumoxyd zur Verbesserung der Barriereeigenschaften des Filmes.
    • 用于从气相执行等离子体辅助处理中,在特定的等离子体辅助的,化学沉积的装置具有在真空室中具有外周和中枢的至少一个磁控管电极,它是不平衡型的,和平面磁控管面(20) 具有相反极性和连接的磁极到源极(34)连接到交流电压。 该装置进一步被接通定位与具有要被针对磁控管面处理过的表面的基底(25)的帮助下有一个定位装置,和一气体供给装置,用于将处理气体供应或工艺气体混合物到磁控管面之间的空间(20 待处理)和表面。 为了达到最佳的处理效率(例如,沉积速率)时,磁控管面(20)和待处理表面之间的距离被调节在由磁控管电极(32)的磁场产生的,使得暗之间 通过延长的场线形成隧道和所述待处理表面明亮的等离子体条延伸从外围到磁控管面的中央磁极,其中,所述等离子体条具有的最小宽度,但对要处理的表面具有均匀的亮度。 待处理的表面之间的距离和磁控管表面比隧道的高度大20有利地2和%之间。 该装置适用例如用于涂覆的塑料膜用氧化硅以提高膜的阻隔性能。
    • 10. 发明申请
    • METHOD AND APPARATUS FOR TREATING INSIDE SURFACES OF CONTAINERS
    • 用于处理集装箱内表面的方法和装置
    • WO1997044503A1
    • 1997-11-27
    • PCT/IB1997000555
    • 1997-05-15
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.FAYET, PierreHUSSON, Michel
    • TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A.
    • C23C16/04
    • C23C16/45568B65D23/02C23C16/045C23C16/455
    • The inner surface of a container (1) is treated in a plasma enhanced process, e.g. is cleaned, activated, sterilized or coated, whereby the plasma is confined to a narrow space between an inner member (3) and the inside surface of the container (1). The inner member (3) is adapted in shape to the inside shape of the container, it is hollow and has a porous or perforated wall of a non conductive material or transparent for microwaves, depending on theprocess. The inner member (3) is connected to the supply of the gas and/or vapour mixture which is pressed through its wall into the space between inner member (3) and inside surface of the container (1). The porosity or perforation of the inner member (3) is designed such that when pressing the gas and/or vapour mixture through its wall it causes a pressure drop large enough for the pressure (p2) inside the inner body to be too high for plasma ignition and the pressure (p1) outside of the inner member to be adequately reduced for plasma ignition. For being applicable for containers with a narrow opening, the inner member (3) is preferably made of an elastically extensible material and is designed such that it is inflatable by the pressure difference.
    • 容器(1)的内表面以等离子体增强过程例如处理。 被清洁,活化,灭菌或涂覆,由此等离子体被限制在内部构件(3)和容器(1)的内表面之间的狭窄空间中。 内部构件(3)的形状适合于容器的内部形状,它是中空的,并且具有根据工艺的非导电材料的多孔或多孔的壁或用于微波的透明的。 内部构件(3)连接到气体和/或蒸气混合物的供应部分,其通过其壁压入内部构件(3)和容器(1)的内表面之间的空间。 内部构件(3)的孔隙度或穿孔被设计成使得当气体和/或蒸汽混合物通过其壁压入时,其产生足够大的压力,使得内部体内的压力(p2)对于等离子体而言太高 点火,并且内部构件外部的压力(p1)被充分降低以用于等离子体点火。 为了适用于具有窄开口的容器,内部构件(3)优选地由可弹性延伸的材料制成,并且被设计成使得其可通过压力差充气。