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1. 发明申请

WO2010123189A1 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치 및 검사 방법 审中-公开
标题翻译：使用成像装置检测太阳能电池质量效率的均匀性的装置和方法
公开(公告)号：WO2010123189A1
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/KR2009/007977
申请日：2009-12-30
申请人： 한국표준과학연구원 , 박승남 , 이동훈 , 박성종 , 박철웅 , 김승관 , 황지수 , 유용심 , 신동주
发明人： 박승남 , 이동훈 , 박성종 , 박철웅 , 김승관 , 황지수 , 유용심 , 신동주
IPC分类号： H01L31/042
CPC分类号： G01J1/0437 , G01J1/0411 , G01J1/0422 , G01J1/0492 , H01L27/14601 , H02S50/10
摘要： 본 발명은 소정의 빛을 조사하는 발광장치(100); 발광장치(100)에서 나온 광선을 복수 픽셀의 개별 제어에 따라 광로를 변경하는 영상소자(200); 영상소자(200)중 복수 픽셀의 상태를 개별 제어하는 영상소자 제어부(300); 영상소자(200)를 통과 또는 반사한 광선이 조사되는 태양전지판(400);및 태양전지판(400)에서 발생한 광전류 신호에 기초하여 태양전지판(400)의 양자효율을 산출하는 산출제어부(900);를 포함하는 것을 특징으로 하는 영상소자를 이용한 태양전지 양자효율 균질도 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명은 태양전지판에 광선을 조사하여 양자효율에 따른 태양전지판의 균질도를 검사함에 있어서 기계적인 움직임을 제거하여 진동과 소음을 방지하고, 소정의 검사 패턴 투영으로 검사 시간을 단축할 수 있으므로 생산라인 상에서 활용도가 크다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用成像装置检查太阳能电池量子效率的均匀性的装置，包括：用于照射预定量的光的发光装置（100）; 成像装置（200），用于根据多个像素的单独控制改变从发光装置（100）发射的光线的光路; 用于单独地控制所述成像装置（200）的所述多个像素的状态的成像装置控制器（300）; 太阳能电池板（400），其上照射穿过或从成像装置（200）反射的光线; 以及用于基于从太阳能电池板（400）产生的光电流信号计算太阳能电池板（400）的量子效率的计算控制器（900）。本发明通过在太阳能电池板上照射光线来消除太阳能电池板的均匀性检查期间的机械运动，从而通过消除太阳能电池板的均匀性来防止振动和噪音，并且通过突出预定的检查图案来缩短检查时间，从而具有生产线范围广泛。

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