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热词
    • 2. 发明申请
    • ワーク加熱装置及びワーク処理装置
    • 加热装置和工作处理装置
    • WO2012090782A1
    • 2012-07-05
    • PCT/JP2011/079478
    • 2011-12-20
    • 株式会社クリエイティブ テクノロジー辰己 良昭河合 慈天満 康之菅原 利文
    • 辰己 良昭河合 慈天満 康之菅原 利文
    • H01L21/683
    • H01L21/67103H01L21/6833H01L21/68785
    •  ワークを高い均熱性によって加熱することができると共に精緻な温度制御が可能であり、しかも、チャック部材の変形等を防いで、長期に亘って信頼性良く使用することができるワーク加熱装置、及びこれを用いたワーク処理装置を提供する。 ワーク吸着用のワーク吸着電極を備えたチャック部材とワーク加熱用の発熱体を備えたヒーター部材とが積層されて、チャック部材側に吸着されたワークをヒーター部材によって加熱することができるワーク加熱装置であって、ヒーター部材が、チャック部材に対向する面と発熱体との間にチャック部材を吸着するチャック吸着電極を備えて、チャック部材とヒーター部材とが着脱可能に積層されたワーク加熱装置であり、このワーク加熱装置をベース基盤上に載置してなるワーク処理装置である。
    • 提供一种能够通过高均匀加热来加热工件的加热装置,能够进行精确的温度控制,防止卡盘构件等的变化,并且可以在长时间内以高可靠性使用。 还提供了使用该处理装置的工作处理装置。 在工作加热装置中,夹持具有用于保持工件的工件保持电极和设置有用于加热工件的加热单元的加热器构件的卡盘构件被层压,并且夹持在卡盘构件侧的工件可以是 由加热器构件加热。 在工作加热装置中,加热器部件设置有卡盘保持电极,该夹持器保持电极将卡盘部件保持在与卡盘部件相对的表面与加热单元之间,并且卡盘部件和加热器部件可安装和拆卸地层压。 在加工处理装置中,该加热装置安装在基座上。
    • 3. 发明申请
    • 着脱自在型の発電装置
    • 可拆卸发电机装置
    • WO2012128147A1
    • 2012-09-27
    • PCT/JP2012/056553
    • 2012-03-14
    • 株式会社クリエイティブ テクノロジー辰己 良昭河合 慈森山 紘行菅原 利文
    • 辰己 良昭河合 慈森山 紘行菅原 利文
    • H01L31/042
    • H02N13/00H02S10/40H02S20/20
    •  手軽に設置位置の変更ができて、太陽電池を効果的に使用して発電することができる着脱自在型の発電装置を提供する。 フィルム状の太陽電池とこのフィルム状太陽電池を設置場所の取り付け対象物に対して着脱自在にする着脱手段とを備えた発電装置であって、上記着脱手段が、ファンデルワールス力を発現して繰り返しの貼着を可能にする着脱面を有した接着フィルム、又は、2つの絶縁層の間に挟まれた吸着電極に接続した電源をオン・オフして、少なくとも一方の絶縁層の表面に静電吸着力を自在に発現させて着脱面を形成する静電チャックからなることを特徴とする着脱自在型の発電装置である。
    • 提供一种可拆卸的发电机装置,其安装位置可以容易地改变,并且可以有效利用太阳能电池发电。 发电机装置包括膜状太阳能电池以及安装/拆卸装置,通过该装置可以将膜状太阳能电池安装到安装位置处的安装对象和从安装对象拆卸。 可拆卸发电机装置的特征在于,附接/分离装置包括具有可拆卸表面的粘合剂膜,其可通过产生范德华力重复地制成粘合剂,或者通过打开/关闭产生可拆卸表面的静电卡盘 电源连接到插入在两个绝缘层之间的吸附电极,使得可以在至少一个绝缘层的表面中产生静电吸附力。