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    • 1. 发明申请
    • 流体制御装置
    • 流体控制装置
    • WO2007017937A1
    • 2007-02-15
    • PCT/JP2005/014653
    • 2005-08-10
    • 株式会社フジキンフューネス ワーナー エフオークス グレゴリー ダブリュ糸井 茂
    • フューネス ワーナー エフオークス グレゴリー ダブリュ糸井 茂
    • F16K27/00
    • F16K27/003F15B13/0817F15B13/0871F15B13/0892F15B13/0896
    •  ラインの通路同士を接続するライン間接続手段から溶接箇所をなくすに際し、部品数の増加を抑え、これによって、ラインの増設・変更により一層容易に対応できる集積化流体制御装置を提供する。  横方向に隣り合うライン同士を接続するライン間接続手段50は、第1のラインの2方向接続ブロック状継手64に形成された横方向突出部64bと、この横方向突出部64bが嵌め入れ可能なように第2のラインの2方向接続ブロック状継手64に形成された凹部64cと、2方向ブロック状継手64に形成された継手内分岐通路82と、第1のラインの開閉弁54の本体54aに設けられかつ弁本体内主通路89と継手内分岐通路82の継手本体上面開口82aとを常時連通する第1弁本体内分岐通路90Aと、第2のラインの開閉弁54の本体54aに設けられかつ弁本体内主通路89と継手内分岐通路82の横方向突出部64b上面開口とを常時連通する第2弁本体内分岐通路90Bとから構成されている。
    • 一种集成流体控制装置,其中用于连接线路的线间连接装置中的焊接部分几乎不减少零件数量而减少。 因此,线的增加和变化更容易。 用于在横向上相互连接的线的线间连接装置(50)具有形成在第一线的双向连接块状接头(64)上的横向突起(64b),凹部(64c) )形成在第二线的双向连接块状接头(64)中,使得侧向突起(64b)能够嵌合到凹部(64c)中,形成在两个中的共同内分支路径(82) 连接块状接头(64),第一阀体中的分支路径(90A),设置在第一管路的开关阀(54)的主体(54a)中并且彼此不断地连通 阀体主路径(89)和共同内分支路径(82)的接头体上表面开口(82a),以及设置在主体(54a)中的第二阀体中的分支路径(90B) 的第二管路的开关阀(54),并且彼此连通地连通到阀体主路径(89)和共同内分支路径(82)的侧向突起(64b)上表面开口。
    • 3. 发明申请
    • メタルダイヤフラム弁
    • 金属膜片阀
    • WO2003091611A1
    • 2003-11-06
    • PCT/JP2002/004102
    • 2002-04-24
    • 株式会社フジキン糸井 茂
    • 糸井 茂
    • F16K7/17
    • F16K31/1221F16K1/42F16K7/14
    •  弁本体の流入路を通って弁室から流出路に至る流路の流体抵抗をより小さくして、小型にも拘わらず大きな流量を流せるようにした半導体製造装置等に用いるメタルダイヤフラム弁を提供するものである。 本発明のメタルダイヤフラム弁は、流入路6と弁室8と流出路7を備えたボディ2と、メタルダイヤフラム3と、駆動手段4と、環状溝5とで構成し、前記環状溝5の溝幅Wより流出路6の直径Dを大きくすると共に、環状溝5と流出路6との交差部分の実効断面積を流出路6の横断面積より大きくするようにした点に特徴を有するものである。
    • 一种用于半导体制造装置的金属隔膜阀,尽管尺寸紧凑,但是通过减小从阀室到流出通道的流动通道的流体阻力通过阀中的流入通道,​​允许大量流动 主体包括具有流入通道(6),阀室(8)和流出通道(7)的主体(2),金属隔膜(3),驱动装置(4)和环形槽 其特征在于,所述流出通道(6)的直径(D)大于所述环形槽(5)的槽宽(W),并且所述环形槽(5)的交叉部分的有效截面面积 5)与流出通道(6)的横截面面积大于流出通道(6)的横截面面积。
    • 4. 发明申请
    • 流体制御器
    • 流体控制器
    • WO2005054729A1
    • 2005-06-16
    • PCT/JP2004/018537
    • 2004-12-07
    • 株式会社フジキン谷川 毅糸井 茂薬師神 忠幸
    • 谷川 毅糸井 茂薬師神 忠幸
    • F16K7/16
    • F16K7/14
    • 本体22の凹所25は、開口に近い大径部25aおよび段差部25bを介して大径部25aの下方に連なる小径部25cからなる。凹所25に流路形成ディスク26が嵌め合わせられている。流路形成ディスク26は、凹所大径部25aに嵌め合わせられている大径円筒部31と、凹所段差部25bに受け止められている連結部32と、凹所小径部25cの内径よりも小さい外径を有し下端が凹所25の底面で受け止められている小径円筒部33とからなる。流路形成ディスクの連結部32に、小径円筒部外側環状空間S1と大径円筒部内側環状空間S2とを連通する複数の貫通孔34が形成されている。流体流入通路23は流路形成ディスク26の小径円筒部33下端に、流体流出通路24は小径円筒部外側環状空間S1にそれぞれ通じている。
    • 一种流体控制器,其中主体(22)的凹部(25)由开口附近的大直径部分(25a)和与大直径部分(25a)的下部连续的小直径部分(25c)形成 )通过台阶部(25b)。 流路形成盘(26)装配到凹部(25)。 流体通道形成盘(26)包括在凹部中嵌合到大直径部分(25a)上的大直径圆柱形部分(31),在凹部中由台阶部分(25b)支撑的连接部分(32) 和小直径的圆筒部(33),其外径小于凹部的小径部(25c)的内径,并且具有由凹部(25)的底面支撑的下端。 在连接部分(32)处形成有多个通孔(34),其在小直径圆柱形部分的外侧上的环形空间(S1)与大直径圆柱形部分的内侧上的环形空间(S2) 的流路形成盘。 流体流入通道(23)被引入流路形成盘(26)的小直径圆柱形部分(33)的下端,并且流体流出通道(24)被引导到环形空间(S1)中 外径小的圆柱形部分。