会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明申请
    • 13族窒化物単結晶の製造方法、および13族窒化物単結晶の製造装置
    • 第13组氮化物单晶的生产方法和13号氮化物单晶的生产装置
    • WO2017026196A1
    • 2017-02-16
    • PCT/JP2016/069560
    • 2016-06-30
    • 株式会社リコー林 昌弘皿山 正二佐藤 隆和田 純一三好 直哉碓井 彰錦織 豊
    • 林 昌弘皿山 正二佐藤 隆和田 純一三好 直哉碓井 彰錦織 豊
    • C30B29/38C30B19/12H01L21/208
    • C30B19/12C30B29/38H01L21/208
    • 13族窒化物単結晶(40)の製造方法は、配置工程と、結晶成長工程と、温度調整工程と、を含む。配置工程は、13族窒化物結晶からなり結晶成長面の表面粗さRaが0.1μm以上5μm以下の種結晶(30)と、原料と、を、反応容器(52)内に配置する工程である。結晶成長工程は、原料が溶融して混合融液(24)となった状態で、混合融液(24)に窒素を溶解させ結晶成長温度の混合融液(24)中に配置された種結晶(30)に13族窒化物結晶(32)を成長させる工程である。温度調整工程は、昇温工程および降温工程の少なくとも一方を含む。昇温工程は、配置工程と結晶成長工程との工程間に150℃/時間以下の昇温速度で原料を結晶成長温度に昇温する工程である。降温工程は、結晶成長工程の後に150℃/時間以下の降温速度で混合融液(24)を降温する工程である。
    • 13族氮化物单晶(40)的制造方法包括配置工序,晶体生长工序和温度调整工序。 放置步骤是将反应容器(52)放置在由氮化镓族组合构成的晶体生长面的表面粗糙度Ra为0.1-5μm的晶种(30)的工序, 。 晶体生长步骤是在将原料熔融而生成混合物熔体(24)的状态下将氮溶解在混合物熔液(24)中的氮化物晶体(32)为13的氮化物晶体 使其在放置在处于晶体生长温度的混合物熔体(24)中的晶种(30)上生长。 温度调节步骤包括升温步骤和降温步骤中的至少一个。 升温步骤是在放置步骤和晶体生长步骤之间以高达150℃/ h的升温速度将原料的温度升高到晶体生长温度的步骤。 降温步骤是在晶体生长步骤之后以高达150℃/ h的降温速度降低混合物熔体(24)的温度的步骤。