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    • 1. 发明申请
    • 位置決め構造及び搬送装置
    • 定位结构和输送装置
    • WO2011010668A1
    • 2011-01-27
    • PCT/JP2010/062255
    • 2010-07-21
    • シャープ株式会社牧野 修之
    • 牧野 修之
    • H01L21/205H01L21/683
    • H01L21/68764H01L21/68H01L21/68771H01L21/68785
    •  本発明の位置決め構造では、まず十分な隙間量を有する位置で浅い嵌合深さで挿入用穴部と前記挿入用突起部(15a)のみを嵌合し、次にそれらを平面方向に相対移動させて、前記挿入用穴部と前記挿入用突起部(15a)に加えて前記位置決め用穴部と前記位置決め用突起部(15b)も嵌合可能な位置で前記挿入用突起部(15a)と前記挿入用穴部との側面同士を接触させ、さらに深く挿入して前記位置決め用穴部と前記位置決め用突起部(15b)も嵌合させることで、搬送時の装置温度によらず位置決め後の突起部と穴部の相対位置を安定させることが可能で、より高精度な位置決めが可能になる。
    • 在所公开的定位结构的定位中,首先将插入突起15a以足够的间隙插入到插入孔中,以小的插入深度插入。 接下来,插入突起和插入孔在平面方向上相对移动,以允许插入突起(15a)的侧壁在插入孔和插入孔的位置处接触插入孔的侧壁 突起(15a)可以装配在一起,并且定位孔和定位突起(15b)也可以装配在一起,然后它们进一步插入以将定位突起(15b)装配到定位孔中。 由此,能够使突出部相对于定位后的孔的相对位置稳定,而与运送时的装置的温度无关地固定高精度的位置。