会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明申请
    • アルミナ質焼結体およびその製法ならびに半導体製造装置用部材、液晶パネル製造装置用部材および誘電体共振器用部材
    • 铝制烧结炉,其制造方法,半导体生产装置用构件,液晶面板生产装置用构件,电介质谐振器用构件
    • WO2009069770A1
    • 2009-06-04
    • PCT/JP2008/071699
    • 2008-11-28
    • 京セラ株式会社古瀬 辰治横峯 慎也瀬野 裕明
    • 古瀬 辰治横峯 慎也瀬野 裕明
    • C04B35/111G02F1/13
    • C04B35/111
    • 【課題】 MHz帯~GHz帯における誘電正接を小さくできるアルミナ質焼結体およびその製法ならびに半導体製造装置用部材、液晶パネル製造装置用部材および誘電体共振器用部材を提供する。 【解決手段】 AlをAl 2 O 3 換算で99.3質量%以上含有し、他の元素としてSiをSiO 2 換算で0.05質量%以上、SrをSrO換算で0.01質量%以上含有し、アルミナ結晶粒子1を主結晶粒子としてなり、アルミナ結晶粒子1で構成される3重点2にSi、Al、SrおよびOの各元素を含有する結晶相が存在する。アルミナの優れた耐腐食性と機械的特性、電気特性を維持できるとともに、アルミナ結晶粒子1で構成される3重点2に、Si、Al、SrおよびO元素を含有する化合物からなる低損失の結晶相が存在するため、従来よりもMHz帯~GHz帯で低損失のアルミナ質焼結体を得ることができる。
    • [问题]提供:能够降低兆赫兹到千兆赫兹带的介电损耗因子的高铝烧结体; 烧结体的制造方法; 半导体生产设备的成员; 液晶面板制作装置用的构件; 和介质谐振器的构件。 解决问题的手段铝烧结体以Al 2 O 3为至少99.3质量%的铝,以SiO 2换算至少0.05质量%的硅和以SrO表示的至少0.01质量%的锶的其他元素由氧化铝 晶粒(1)作为主晶粒,并具有由氧化铝粒子(1)构成的三点(2)的晶相,含有元素Si,Al,Sr和O的结晶相。该高铝烧结体可以保持 氧化铝的优异的耐腐蚀性,机械性能和电学性能。 此外,由于由氧化铝晶粒(1)构成的三重点(2)存在包含含有元素Si,Al,Sr和O的化合物并且具有低损耗的结晶相,所以铝烧结体可以具有 在兆赫兹到千兆赫兹频带中的传统损耗比较低。