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1. 发明申请

WO2012132077A1 誘導加熱装置审中-公开
标题翻译：感应加热装置
公开(公告)号：WO2012132077A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/JP2011/074171
申请日：2011-10-20
申请人：三井造船株式会社 , 内田直喜 , 岡崎良弘 , 尾崎一博
发明人：内田　直喜 , 岡崎　良弘 , 尾崎　一博
IPC分类号： H01L21/324 , C23C16/46
CPC分类号： H01L21/67109 , C23C16/46
摘要：【課題】チャンバ外部に配置した磁極の加熱防止を実現しつつ、被誘導加熱部材を効率良く加熱することのできる誘導加熱装置を提供する。【解決手段】プロセス室を構成するチャンバ（１２）と、チャンバ（１２）の外周であってチャンバ（１２）を構成するハウジング（２６）に設けられた開口部（４２）を遮蔽する磁気透過性遮蔽板（４６）に近接配置された磁極（３２，３４）と、磁極（３２，３４）に巻回された誘導加熱コイル（３６，３８）とを有する誘導加熱装置（１０）において、磁気透過性遮蔽板（４６）と磁極（３２，３４）との間に、磁気透過性遮蔽板（４６）よりも熱伝導率の高い冷却板（４８）と、冷却板（４８）を冷却するための冷媒を挿通可能な冷却管（５０）とを設け、冷却板（４８）を磁気透過性遮蔽板（４６）に密接させると共に冷却板（４８）の少なくとも一部に冷却管（５０）を密接させ、冷却板（４８）と磁極（３２，３４）との間には空隙を設けたことを特徴とする。
摘要翻译： [问题]提供一种感应加热装置，由此能够有效地加热被感应加热的部件，同时防止设置在室外的磁极变热。 [解决方案]一种感应加热装置（10），其具有：构成处理室的室（12）在用于屏蔽设置在构成腔室（12）的壳体（26）上的开口（42）的磁导电屏蔽板（46）附近，设置在腔室（12）外周上的磁极（32,34） ; 以及缠绕在所述磁极（32,34）周围的感应加热线圈（36,38）。感应加热装置（10）的特征在于：具有比导磁屏蔽板（46）高的导热性的冷却板（48）和用于冷却冷却板（48）的制冷剂的冷却管）设置在可透磁屏蔽板（46）和磁极（32,34）之间; 所述冷却板（48）与所述导磁屏蔽板（46）紧密接触，同时所述冷却管（50）与所述冷却板（48）的至少一部分紧密接触地设置; 并且在冷却板（48）和磁极（32,34）之间形成空间。

2. 发明申请

WO2012020652A1 誘導加熱装置および誘導加熱方法审中-公开
标题翻译：感应加热装置和感应加热方法
公开(公告)号：WO2012020652A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/JP2011/067346
申请日：2011-07-28
申请人：三井造船株式会社 , 内田直喜 , 岡崎良弘 , 尾崎一博
发明人：内田　直喜 , 岡崎　良弘 , 尾崎　一博
IPC分类号： H05B6/10 , H01L21/205 , H01L21/22 , H01L21/324 , H05B6/44
CPC分类号： H05B6/06 , H01L21/67109 , H05B6/105 , H05B6/44
摘要：【課題】サセプタに対して水平磁束を与えつつ誘導加熱コイルを垂直方向に複数配置した場合であっても、誘導加熱コイル間における相互誘導の影響を抑制し、良好な加熱制御を可能とすることのできる半導体基板熱処理装置を提供する。【解決手段】水平配置されたサセプタ（５２）上に載置されたウエハ（５４）を間接加熱する熱処理装置（１０）であって、サセプタ（５２）の外周側に配置され、サセプタ（５２）におけるウエハ（５４）の載置面と平行な方向に交流磁束を形成する誘導加熱コイルを有し、前記誘導加熱コイルは、少なくとも１つの主加熱コイル（３０）と、主加熱コイル（３０）に電磁的に結合する従属加熱コイル（３２，３４）とから成り、主加熱コイル（３０）には、従属加熱コイル（３２，３４）に対して電磁的に逆結合する逆結合コイル（３６，３８）が備えられ、隣接して配置される主加熱コイル（３０）と従属加熱コイル（３２，３４）に投入する電流の周波数、電流波形を同期させつつ電力割合を個別に制御するゾーンコントロール手段（２２）を設けたことを特徴とする。
摘要翻译： [目的]提供一种半导体基板加热装置，其中，即使在对基座施加水平磁通量的情况下，在垂直方向上配置多个感应加热线圈，也可以抑制感应加热线圈之间的互感的影响，并且可以实现良好的加热控制。 [解决方案]提供一种间接加热放置在水平定向的基座（52）上的晶片（54）的加热装置（10），其包括：设置在基座（52）的外周侧的感应加热线圈，以及其在平行于要放置晶片（54）的基座（52）的表面的方向上形成AC磁通量。加热装置（10）的特征在于感应加热线圈由至少一个主加热线圈（30）和与主加热线圈（30）电磁耦合的辅助加热线圈（32,34）构成，主加热线圈加热线圈（30）设置有与电磁放电与从属加热线圈（32,34）反相耦合的反向耦合线圈（36,38）。加热装置（10）的特征还在于具有区域控制装置（22），用于使待加热到主加热线圈（30）和下加热线圈（32,34）的电流的频率和电流波形同步），它们被设置为彼此相邻，并且分别控制要被馈送到其的功率的比率。

3. 发明申请

WO2012132078A1 誘導加熱装置审中-公开
标题翻译：感应加热装置
公开(公告)号：WO2012132078A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/JP2011/074172
申请日：2011-10-20
申请人：三井造船株式会社 , 内田直喜 , 岡崎良弘 , 尾崎一博
发明人：内田　直喜 , 岡崎　良弘 , 尾崎　一博
IPC分类号： H01L21/324 , C23C16/46
CPC分类号： H01L21/67109 , C23C16/46
摘要：【課題】チャンバ外部に磁極を配置した場合であっても、隔壁に設けた開口部の縁部からの発熱を抑制することのできる誘導加熱装置を提供する。【解決手段】プロセス室を構成するチャンバ（１２）と、チャンバ（１２）の外周であってチャンバ（１２）を構成する導電性の隔壁部材であるハウジング（２６）に設けられた開口部（４２）を遮蔽する磁気透過性遮蔽板（４６）に近接配置された磁極と、前記磁極に巻回された誘導加熱コイルとを有する誘導加熱装置（１０）において、１つの前記開口部（４２）に対して、少なくとも２つの磁極（３２，３４）を設け、２つの磁極（３２，３４）の極性を逆極性としたことを特徴とする。
摘要翻译： [问题]提供一种感应加热装置，即使当磁极设置在室外时，也可以抑制从设置在分隔壁上的开口的边缘产生的热量。 [解决方案]一种感应加热装置（10），其具有：构成处理室的室（12）设置在可透磁屏蔽板（46）附近的室（12）的外圆周上的磁极，用于屏蔽设置在用作导电分隔壁构件的壳体（26）上的开口（42），并且构成室（12）; 感应加热线圈缠绕在磁极上。感应加热装置（10）的特征在于，至少两个磁极（32,34）设置在一个开口（42）上，并且两个磁极（32,34）具有相反的极性。

4. 发明申请

WO2012132538A1 熱処理装置审中-公开
标题翻译：热处理设备
公开(公告)号：WO2012132538A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/JP2012/052222
申请日：2012-02-01
申请人：東京エレクトロン株式会社 , 三井造船株式会社 , 米永富廣 , 河野有美子 , 内田直喜 , 尾崎一博
发明人：米永　富廣 , 河野　有美子 , 内田　直喜 , 尾崎　一博
IPC分类号： H01L21/22 , C23C16/46 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67109 , H01L21/67303
摘要：　サセプタの周縁部から入り込む磁束の透過を制御することによって，サセプタの面内温度を的確に制御する。　基板を載置する載置面を有する導電性部材であって，周縁部（２１０）とこれに囲まれる内側部（２２０）とに分けられ，内側部は厚板状発熱体からなり，周縁部は内側部よりも薄い薄板状発熱体を互いに電気的に絶縁した状態で積層してなるサセプタ（２００）と，サセプタの側面からその載置面に平行な方向に交流磁場を形成する電磁石（１２０）とを備え，この電磁石に巻回された誘導コイル（１２４）に印加する２つの周波数の高周波電流により各薄板状発熱体に発生する誘導電流を制御して内側部までの磁束の透過を制御することによって，各サセプタの周縁部の発熱量と内側部の発熱量との比率を変化させて温度制御を行う。
摘要翻译：本发明的目的是通过控制从基座的边缘部分进入的磁通量的穿透来精确地控制基座的面内温度。一种热处理设备具有：作为导电部件的感受体（200），具有承载基板的承载面，每个基座被划分为边缘部分（210）和由其包围的内部部分（220）所述内部部分包括厚板状发热体，并且所述边缘部分以彼此电绝缘的方式层压薄壁状发热体，其比内部部分薄; 以及从所述基座的侧面形成平行于所述装载表面的交流磁场的电磁体（120）。热处理装置通过使用施加到缠绕在电磁体上的感应线圈（124）的两个频率的高频电流，使每个基座的边缘部分的发热与内部的发热之间的比率发生变化，进行温度控制以控制在每个薄膜状发热体处产生的感应电流并控制磁通量到内部的穿透。

5. 发明申请

WO2012073379A1 誘導加熱装置、誘導加熱方法、及びプログラム审中-公开
标题翻译：感应加热装置，感应加热方法和程序
公开(公告)号：WO2012073379A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/JP2010/071690
申请日：2010-12-03
申请人：三井造船株式会社 , 内田直喜 , 岡崎良弘 , 尾崎一博
发明人：内田　直喜 , 岡崎　良弘 , 尾崎　一博
IPC分类号： H05B6/44
CPC分类号： H05B6/08 , H05B6/04 , H05B6/06 , H05B6/062 , H05B6/44
摘要：逆変換装置のスイッチングロスを低減する。近接して配置された複数の誘導加熱コイル２０と、この誘導加熱コイル２０の各々に直列接続されたコンデンサ４０を有し、直流電圧を矩形波電圧に変換する複数の逆変換装置３０と、複数の誘導加熱コイル２０に流れるコイル電流の位相を揃えるように制御する制御回路１５とを備え、この制御回路１５は、コイル電流がゼロクロスする時に矩形波電圧の瞬時値が直流電圧又はこの反転電圧に維持するように矩形波電圧が遷移するタイミングを制御する。
摘要翻译：本发明的目的是最小化逆变换装置的开关损耗。感应加热装置包括：多个位于紧邻的感应加热线圈（20）; 将直流电压转换为方波电压的多个逆变换装置（30），所述装置还包括串联连接到每个感应加热线圈（20）的电容器（40）。以及控制电路（15），其控制以使流过所述多个感应加热线圈（20）的线圈电流的相位对准。控制电路（15）控制方波电压转换的定时，使得线圈电压过零时的方波电压的瞬时值保持在DC电压或周转电压中。

6. 发明申请

WO2009041642A1 誘導加熱装置审中-公开
标题翻译：感应加热装置
公开(公告)号：WO2009041642A1
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：PCT/JP2008/067533
申请日：2008-09-26
申请人：三井造船株式会社 , 内田直喜 , 尾崎一博
发明人：内田直喜 , 尾崎一博
IPC分类号： H05B6/44 , H05B6/36
CPC分类号： H05B6/362 , H05B6/44
摘要：　誘導加熱装置は、誘導加熱コイル１０を備えている。この誘導加熱コイル１０は、コイル部１２の両端部に端部電流端子（第１電流端子１４、第２電流端子１６）を設けるとともに、各端部の間に中間電流端子１８を設け、端部電流端子とこれと隣り合っている中間電流端子１８との間、または隣り合う中間電流端子１８同士の間のコイル部１２をゾーンコイル部（第１ゾーンコイル部２０、第２ゾーンコイル部２２）とし、隣り合うゾーンコイル部２０，２２の端部同士が隣接している部分に設けた中間電流端子１８と共通にしている。
摘要翻译：感应加热装置包括感应加热线圈（10）。感应加热线圈（10）在线圈单元（12）的两端具有端部电流端子（第一电流端子（14），第二电流端子（16））和端部之间的中间电流端子（18）。端电流端子与相邻的中间电流端子（18）之间或相邻的中间电流端子（18）之间的线圈单元（12）成为区域线圈部分（第一区域线圈部分（20），第二区域线圈部分（22））由布置在相邻区域卷绕部分（20,22）彼此相邻的部分处的中间电流端子（18）共享。

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