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热词
    • 2. 发明申请
    • 熱伝導性粘着シートの製造方法
    • 用于生产导热粘合片的方法
    • WO2011099369A1
    • 2011-08-18
    • PCT/JP2011/051540
    • 2011-01-27
    • 日東電工株式会社古田 憲司中山 純一寺田 好夫和野 隆司
    • 古田 憲司中山 純一寺田 好夫和野 隆司
    • C09J7/02C09J11/04C09J11/06C09J133/00
    • C08K3/38C08K5/05C08K5/29C09J133/08
    •  比較的低い弾性率を有しつつ熱伝導率に優れた熱伝導性粘着剤層を形成することができる熱伝導性粘着シートの製造方法を提供することを課題とする。熱伝導性粒子とアクリルポリマー成分とを含む熱伝導性粘着剤組成物を調製する組成物調製工程と、該熱伝導性粘着剤組成物でシート状の熱伝導性粘着剤層を形成する粘着剤層形成工程とを実施することにより前記熱伝導性粘着剤層を有する粘着シートを製造する熱伝導性粘着シートの製造方法であって、前記組成物調製工程では、前記熱伝導性粘着剤組成物の構成成分として炭素数8以下の環式有機化合物、又は、ヒドロキシ基、ケトン基、アルデヒド基、カルボキシル基若しくはニトリル基を有する炭素数3以下の有機化合物を配合することを特徴とする熱伝導性粘着シートの製造方法を提供する。
    • 所公开的导热粘合片的制造方法可以形成具有优异导热性的导热粘合剂层,同时具有相对低的弹性模量。 制造导热粘合片的方法 - 通过以下步骤制造具有上述导热粘合剂层的粘合片:制备含有导热颗粒和丙烯酸类聚合物组分的导热粘合剂组合物的组合物制备步骤 ; 和用于从所述导热粘合剂组合物形成片状导热粘合剂层的粘合剂层形成步骤的特征在于,在上述组合物制备步骤中,作为上述导热粘合剂的组分添加 具有碳数不超过8的环状有机化合物或碳数不超过3的具有羟基,酮基,醛基,羧基或腈基的有机化合物 。
    • 4. 发明申请
    • クリーニングシートおよび基板処理装置のクリーニング方法
    • 清洁片和清洗基板加工装置的方法
    • WO2004048008A1
    • 2004-06-10
    • PCT/JP2003/014261
    • 2003-11-10
    • 日東電工株式会社寺田 好夫並河 亮豊田 英志
    • 寺田 好夫並河 亮豊田 英志
    • B08B1/00
    • B08B1/00B08B3/08G02F2001/1316Y10T428/14Y10T428/28
    • A cleaning member which does not contaminate a substrate processing apparatus with an ionic impurity when conveyed into the apparatus for removing foreign materials within the apparatus is disclosed. A cleaning member which does not contaminate a substrate processing apparatus with a metallic impurity when conveyed into the apparatus for removing foreign materials within the apparatus is also disclosed. Specifically, a cleaning sheet characterized in that a cleaning layer wherein pure water extraction amounts (extracted for one hour while boiling at 120 ˚C) of F , Cl , Br , NO2 , NO3 , PO4 , SO4 , Na , NH4 , and K are respectively 20 ppm or less is provided on one surface of a supporting body and an adhesive layer is provided on the other surface is disclosed. A cleaning sheet characterized in that a cleaning layer wherein respective contents of Na, K, Mg, Al, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn and compounds thereof are 5 ppm (mug/g) or less when calculated in terms of respective metal elements is provided on one surface of a supporting body and an adhesive layer is provided on the other surface is also disclosed.
    • 公开了一种清洁部件,其在输送到装置内用于除去异物的装置中时,不会污染具有离子杂质的基板处理装置。 还公开了一种清洁部件,其在被输送到用于除去装置内的异物的设备中时,不会污染具有金属杂质的基板处理装置。 具体地说,一种清洁片,其特征在于,其中纯水提取量(在120℃沸腾下提取1小时)F 1,Cl - ,Br - ,NO 2 - ,NO 3 PO 4 3-,SO 4 2-,Na +,NH 4 +和K +分别为20ppm或更少,在支撑体的一个表面和粘合层 被设置在另一个表面上。 一种清洁片,其特征在于,其中Na,K,Mg,Al,Ca,Ti,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn及其化合物的各自含量为5ppm(mug / g)或 另外,在支承体的一个面上设置以相应的金属元素为单位的计算量,另一方面也设有粘合剂层。