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1. 发明申请

WO2003085709A1 反射型マスクブランク及び反射型マスク並びにそれらの製造方法审中-公开
标题翻译：反射型遮罩和反射型掩膜及其生产方法
公开(公告)号：WO2003085709A1
公开(公告)日：2003-10-16
申请号：PCT/JP2003/004615
申请日：2003-04-11
申请人： HOYA株式会社 , 石橋信一 , 笑喜勉 , 細谷守男 , 塩田勇樹 , 暮石光浩
发明人：石橋信一 , 笑喜勉 , 細谷守男 , 塩田勇樹 , 暮石光浩
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F1/24 , G03F1/58 , G03F1/74 , Y10T428/31616
摘要：反射型マスクブランクは、基板（１１）を有し、その上に、極端紫外線領域を含む短波長域の露光光を反射する反射層（１２）及び露光光を吸収する吸収体層（１６）が順に形成されている。吸収体層（１６）が、極端紫外線領域を含む短波長域の露光光の吸収体で構成する露光光吸収層（１４）を下層とし、マスクパターンの検査に使用する検査光の吸収体で構成する低反射率層（１５）を上層とする少なくとも二層の構造をもつ。上層は、タンタル（Ｔａ）とホウ素（Ｂ）と窒素（Ｎ）を含む材料からなり、Ｂの含有率が５ａｔ％～３０ａｔ％であり、且つ、ＴａとＮの組成比（Ｔａ：Ｎ）が８：１～２：７の範囲である。あるいは、反射型マスクブランクは、基板を有し、その基板上に多層反射膜及び吸収体層が順に形成されているものであっても良い。この場合、吸収体層がタンタル（Ｔａ）とホウ素（Ｂ）と窒素（Ｎ）を含む材料からなり、Ｂの含有率が５ａｔ％～２５ａｔ％であり、且つ、ＴａとＮの組成比（Ｔａ：Ｎ）が８：１～２：７の範囲である。
摘要翻译：一种反射型掩模坯料，包括基板（11），并且依次形成有用于反射包括极紫外区域的短波区域中的曝光用光的反射层（12）和吸收层曝光灯吸收层（16）具有由下层组成的至少两层的结构，曝光光吸收层（14）由包括极紫外区域的短波区域中的曝光光的吸收体构成，并且上层，由用于掩模图案检查的检查光的吸收体构成的低反射率层（15）。上层由含钽（Ta），硼（B）和氮（N）的材料组成，B含量为5原子％-30原子％，Ta和N（Ta：N）的组成比为8：1 至2：7。或者，反射型掩模坯料可以包括基底，并且依次形成多层反射膜和吸收层，其中吸收层由含有钽（Ta），硼（B）和氮（ N），B含量为5原子％-25原子％，Ta与N（Ta：N）的组成比为8：1〜2：7。

2. 发明申请

WO2014014060A1 光学ガラス、プレス成形用ガラス素材、光学素子とそれらの製造方法审中-公开
标题翻译：光学玻璃，用于压制成型的玻璃材料，光学元件，用于制造用于压制成型的玻璃材料的方法，以及用于制造光学元件的方法
公开(公告)号：WO2014014060A1
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：PCT/JP2013/069533
申请日：2013-07-18
申请人： HOYA株式会社 , 丹野義剛 , 塩田勇樹
发明人：丹野　義剛 , 塩田　勇樹
IPC分类号： C03C3/247 , G02B1/02
CPC分类号： C03C3/247 , G02B1/02
摘要：　優れた光学特性とともに優れた加工性を有するフツリン酸光学ガラス、および前記ガラスからなるプレス成形用ガラス素材および光学素子、ならびにそれらの製造方法を提供する。カチオン成分としてＰ５＋、アニオン成分としてＯ２－、Ｆ－を含む光学ガラスにおいて、Ｆ－の含有量が４０アニオン％以下、摩耗度ＦＡが４２０以上であり、脆さ指標値Ｂが４５００μｍ－１／２以下である光学ガラス。
摘要翻译：提供：具有优异的光学特性和优异的加工性能的氟磷酸盐光学玻璃; 用于压制成型的玻璃材料和光学元件，每个由氟磷酸盐光学玻璃形成; 一种用于压制成型的玻璃材料的制造方法; 以及光学元件的制造方法。含有P5 +作为阳离子成分，同时含有O 2 - 和F-作为阴离子组分的光学玻璃。该光学玻璃的F含量为40阴离子％以下，磨损程度（FA）为420以上，脆性指数（B）为4,500mum -1 / 2以下。

3. 发明申请

WO2016174954A1 光学フィルタ素子审中-公开
标题翻译：光学过滤元件
公开(公告)号：WO2016174954A1
公开(公告)日：2016-11-03
申请号：PCT/JP2016/058724
申请日：2016-03-18
申请人： HOYA株式会社 , 塩田勇樹 , 藤原康裕 , 田中功
发明人：塩田　勇樹 , 藤原　康裕 , 田中　功
IPC分类号： G02B3/02 , G02B5/22
CPC分类号： G02B3/02 , G02B5/22
摘要：【課題】　光学フィルタ素子表面に入射する光の入射位置によって光の透過率にバラツキが生じるのを低減し、また、光学系に入射した光の一部がレンズ面間で反射してゴーストを発生するのを抑制し、さらに、設置位置がイメージセンサ受光面の直前に限定されない光学フィルタ素子を提供すること。【解決手段】　第一面および第二面を有し、　前記第一面から垂直に入射する光が前記第二面に到達するまでの光路長が均一である、非平面形状の光学フィルタ素子。
摘要翻译：本发明提供一种滤光元件，其能够根据入射到光学元件的表面的光的入射位置来减少透光率的变化，抑制由于部分光的反射而产生的重影入射到透镜表面之间的光学系统上，并且其安装位置不限于立即在图像传感器的光接收表面前方的位置。 [解决方案]具有非平面形状的光学滤波器元件，包括第一表面和第二表面，其中从第一表面在第二表面垂直入射的光的到达光路长度是均匀的。

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