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    • 3. 发明申请
    • ネガ型感光性材料、および回路基板
    • 负性感光材料和电路板
    • WO2009028208A1
    • 2009-03-05
    • PCT/JP2008/002369
    • 2008-08-29
    • 三井化学株式会社徳弘 淳関野 裕幸千田 光昭
    • 徳弘 淳関野 裕幸千田 光昭
    • G03F7/004C08G73/10G03F7/038H05K1/03H05K3/28
    • H05K1/056C08G73/10G03F7/0045G03F7/0387H05K3/0023H05K3/287H05K2201/0154
    •  本発明の目的は、熱線膨張係数が基板となる金属箔と同等であり、感度に優れ、且つアルカリ水溶液で現像可能なネガ型感光性材料、及び該ネガ型感光性材料を用いた回路基板を安価に提供することである。  その解決手段は、下記一般式(I)の繰り返し単位を有するポリイミド前駆体100重量部に対して、4級アンモニウム塩を5~30重量部含有するネガ型感光性材料であって、前記4級アンモニウム塩が、活性光線の照射により3級アミンを発生する光塩基発生剤であり、かつ前記3級アミンは、分子中に窒素原子と酸素原子とをそれぞれ一以上含む、ネガ型感光性材料である。 [式(I)において、Xは4価の脂肪族基又は4価の芳香族基であり、Yは2価の脂肪族基又は2価の芳香族基である]
    • 公开了具有优异的灵敏度的负型感光材料,其具有与构成基材的金属箔的线性热膨胀系数相当的线性热膨胀系数,并且可用碱性水溶液显影。 还公开了使用这种负性感光材料的低成本电路板。 具体公开了每100重量份具有下述通式(I)表示的重复单元的聚酰亚胺前体含有5-30重量份季铵盐的负光敏材料。 季铵盐是当用活性射线照射时产生叔胺的光碱产生剂,并且叔胺在分子中含有一个或多个氮原子和一个或多个氧原子。 (在下式(I)中,X表示四价脂肪族基团或四价芳香族基团,Y表示二价脂肪族基团或二价芳香族基团。