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    • 4. 发明申请
    • エッチング液、補給液及び銅配線の形成方法
    • 蚀刻解决方案,补偿解决方案和铜线形成方法
    • WO2017038175A1
    • 2017-03-09
    • PCT/JP2016/066014
    • 2016-05-31
    • メック株式会社
    • 小寺 浩史片山 育代菱川 翔太
    • C23F1/18H05K3/06
    • C23F1/18C09K13/06H05K3/067H05K2203/0789
    • 酸と、脂肪族非環式化合物、脂肪族複素環式化合物、及び複素芳香族化合物からなる群より選ばれる1種以上の化合物とを含み、前記脂肪族非環式化合物は、ヘテロ原子として窒素のみを2つ以上有する炭素数2~10の飽和の脂肪族非環式化合物(A)であり、前記脂肪族複素環式化合物は、環を構成するヘテロ原子として窒素を1つ以上有する5~7員環を含む化合物(B)であり、前記複素芳香族化合物は、環を構成するヘテロ原子として窒素を1つ以上有する複素芳香6員環を含む化合物(C)である、銅のエッチング液である。本発明の銅のエッチング液は、銅配線の直線性(銅配線頂部の配線幅(W2))を低下させることなくサイドエッチングを抑制でき、かつ、銅配線底部の配線幅(W1)のばらつきを抑制できるエッチング液とその補給液、及び銅配線の形成方法を提供する。
    • 本发明是一种铜蚀刻溶液,其包含酸和至少一种选自脂族非环化合物,脂族杂环化合物和杂芳族化合物的化合物。 脂族非环化合物是C2至C10饱和脂族非环化合物(A),其中至少两个氮仅作为杂原子。 所述脂族杂环化合物是包含与至少一个氮作为构成环的杂原子的五元至七元环的化合物(B)。 杂芳族化合物是包含具有至少一个氮作为构成环的杂原子的杂芳族六元环的化合物(C)。 该铜蚀刻溶液提供:能够限制侧面蚀刻而不减少铜布线性(铜布线的顶点的布线宽度(W2))并且能够限制底部的布线宽度(W1)的变化的蚀刻溶液 铜线; 补充方案; 和铜布线形成方法。
    • 7. 发明申请
    • エッチング液、補給液及び銅配線の形成方法
    • 蚀刻流体,再生流体和形成铜线的方法
    • WO2014087693A1
    • 2014-06-12
    • PCT/JP2013/068666
    • 2013-07-08
    • メック株式会社
    • 小寺 浩史
    • C23F1/18H05K3/06
    • C23F1/18C23F1/02H05K3/067H05K2203/0789
    •  銅配線の直線性を損なうことなくサイドエッチングを抑制できるエッチング液とその補給液、及び銅配線の形成方法を提供する。本発明のエッチング液は、銅のエッチング液であって、酸と、酸化性金属イオンと、化合物Aとを含む水溶液であり、前記化合物Aが、チオール基、スルフィド基及びジスルフィド基(ただし、スルフィド基及びジスルフィド基は、硫黄原子と、これに連結する異種原子とが単結合により連結され、かつπ共役を形成しない基である。)からなる群より選択される少なくとも1種の硫黄含有官能基と、アミノ基とを分子内に有することを特徴とする。
    • 提供了能够抑制侧蚀刻而不损害铜布线的线性的蚀刻流体,以及用于形成铜布线的方法。 该蚀刻流体是铜蚀刻液,其特征在于,含有酸,氧化金属离子和化合物(A)的水溶液,分子内具有氨基的化合物(A)和至少一个选自硫的官能团 来自硫基,硫化物基团和二硫化物基团(其中硫化物和二硫基团是其中硫原子和与其连接的杂原子通过单键连接并且不形成共轭物的基团)。
    • 8. 发明申请
    • プリント配線板の製造方法及び表面処理装置
    • 用于制造印刷电路板和表面处理装置的方法
    • WO2014076989A1
    • 2014-05-22
    • PCT/JP2013/064705
    • 2013-05-28
    • メック株式会社
    • 網谷 康孝松本 啓佑漆畑 薫
    • H05K3/00C23C22/52C23F1/18H05K3/46
    • C23F1/18C23F1/08H05K3/0035H05K3/0085H05K2203/075H05K2203/0789H05K2203/1476H05K2203/1509H05K2203/1545
    • 水平搬送した際の搬送キズに起因する孔径のばらつきを抑制できる上、レーザ加工エネルギーを低減することができるプリント配線板の製造方法、及びこれに用いる表面処理装置を提供する。本発明のプリント配線板の製造方法は、プリント配線板製造用積層板(10)の表層の銅層(3)を表面処理する前処理工程と、前記前処理工程後の銅層(3)の表面にレーザ光を照射して孔を形成するレーザ加工工程とを含む。前記前処理工程は、酸素含有雰囲気下で銅層(3)の表面を水溶液Aと接触させる第一表面処理工程と、前記第一表面処理工程後の銅層(3)の表面を水溶液Bと接触させる第二表面処理工程とを有する。本発明では、前記第二表面処理工程において、酸素を供給せずに銅層(3)の表面と水溶液Bとを接触させる。
    • 本发明提供一种印刷电路板的制造方法以及在所述方法中使用的表面处理装置,其不仅能够抑制由于在水平输送过程中产生的划痕而引起的孔径波动,还能够降低激光加工能量。 该制造印刷电路板的方法包括:预处理步骤,其中,作为印刷电路板制造用层压体(10)的表面层的铜层(3)和激光加工工序,其中在表面形成有孔 通过用激光照射进行预处理步骤后的铜层(3)。 预处理步骤包括第一表面处理步骤,其中铜层(3)的表面在含氧气氛中与水溶液(A)接触,第二表面处理步骤,其中, 在第一表面处理步骤之后的铜层(3)与水溶液(B)接触。 在本发明中,在第二表面处理工序中,使铜层(3)的表面与水溶液(B)接触而不供给氧。