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    • 71. 发明申请
    • HERMETIC MEMS PACKAGE WITH INTERLOCKING LAYERS
    • 具有互连层的HERMETIC MEMS封装
    • WO02055430A1
    • 2002-07-18
    • PCT/US2001/014764
    • 2001-05-08
    • B81B7/00H01L23/20H01L23/26
    • B81B7/007H01L23/20H01L23/26H01L2224/48091H01L2224/73265H01L2924/00014
    • A method of fabricating a package for a micro-electromechanical systems (MEMS) device. A flex circuit interconnect subassembly for the package is made by placing a flex circuit on a pad insert, attaching a carrier insert to the pad insert to deflect the lead portions of the flex circuit, and applying a cover insert to the pad insert, after the attachment of the carrier insert, to re-deflect the lead portions of the flex circuit toward the device bond sites. The flex circuit interconnect subassembly and the die/carrier subassembly are joined using mechanical interlocking layers. The MEMS components on the MEMS die are hermetically sealed, such as by bonding a cover to the upper package body or the lower package body. The cover may have features such as ports which allow the MEMS components to interact with the external environment.
    • 一种制造用于微机电系统(MEMS)装置的封装的方法。 用于封装的柔性电路互连子组件通过将柔性电路放置在焊盘插入件上,将载体插入件附接到焊盘插入件以使柔性电路的引线部分偏转,并在盖板插入件之后施加盖板插件 承载插入件的附接,以使柔性电路的引导部分朝向装置粘结位置重新偏转。 柔性电路互连子组件和模具/载体子组件使用机械互锁层连接。 MEMS模具上的MEMS部件是密封的,例如通过将盖子粘合到上部封装体或下部封装体上。 盖可以具有诸如允许MEMS部件与外部环境相互作用的端口的特征。
    • 72. 发明申请
    • OPTICAL DEVICE, ELECTRONIC DEVICE ENCLOSURE, AND GETTER ASSEMBLY
    • 光学设备,电子设备外壳和接收器组件
    • WO00004580A1
    • 2000-01-27
    • PCT/JP1999/003779
    • 1999-07-13
    • H01L23/26
    • H01L23/26H01L2924/0002H01L2924/12044H01L2924/00
    • A getter housing (10) is formed of a sintered metallic fiber sheet (16) having pores that pass impurity gas but block getter (18) so as to use getter (18) to adsorb or absorb moisture and impurity gas, etc., in the container. Preferably, the sintered metallic fiber sheet (16) is of stainless steel, and the average diameter of the pores is less than 10 mu m, for instance. A getter assembly comprising such a getter (18) and a getter housing (10) is accommodated in an optical device/electric circuit enclosure that encloses an electric circuit and an optical device including a semiconductor laser, for instance, used for an optical relay.
    • 吸气剂壳体(10)由具有通过杂质气体但阻挡吸气剂(18)的孔的烧结金属纤维片(16)形成,以便使用吸气剂(18)吸附或吸收水分和杂质气体等 容器 优选地,烧结金属纤维片(16)为不锈钢,孔的平均直径例如小于10μm。 包括这种吸气剂(18)和吸气剂壳体(10)的吸气剂组件被容纳在包围电路的光学装置/电路外壳中,以及包括例如用于光学继电器的半导体激光器的光学装置。
    • 78. 发明申请
    • KLEBEBAND ZUR VERKAPSELUNG ELEKTRONISCHER AUFBAUTEN
    • 电子结构用胶粘带
    • WO2018019631A1
    • 2018-02-01
    • PCT/EP2017/067986
    • 2017-07-17
    • TESA SE
    • SCHUH, ChristianKRAWINKEL, Thorsten
    • C09J7/02C08K3/22C08K3/38C08K3/34B32B27/14H01L23/26
    • Es soll ein Klebeband bereitgestellt werden, das einen elektronischen Aufbau wirksam vor Permeaten, insbesondere vor Wasser, schützt und das gleichzeitig gute „gap-filling"-Eigenschaften aufweist. Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein Klebeband vorgeschlagen, das in der nachstehenden Abfolge: - eine Trägerschicht ohne Barrierewirkung zumindest gegenüber Wasser, die eine WVTR von mindestens 1 g/(m 2 * d) (38 °C, 90 % relative Feuchte, 50 µm Schichtdicke) aufweist; - eine Schicht, enthaltend mindestens ein zur Sorption von mindestens Wasser befähigtes Gettermaterial; - eine Lage mit Barrierewirkung gegenüber Wasser; - eine Haftklebmasseschicht umfasst, wobei auf der Trägerschicht eine nach außen weisende Releaseschicht aufliegt und/oder die Haftklebmasseschicht mit einem Releaseliner eingedeckt ist, der eine auf der Haftklebmasseschicht aufliegende Releaseschicht aufweist.
    • 旨在提供一种胶带,其有效地防止电子从渗透,特别是来自水的积聚,并且同时具有良好的间隙填充特性。 到Lö胶带实现提出此目的,它包括以下序列: - 一个Tr的AUML;载体层,而不抵靠阻挡效果至少在具有至少1克/(米 2 上的表面的剥离衬垫。
    • 80. 发明申请
    • 半導体装置およびその製造方法
    • 半导体器件及其制造方法
    • WO2016129230A1
    • 2016-08-18
    • PCT/JP2016/000480
    • 2016-02-01
    • 株式会社デンソー
    • 高畑 利彦竹谷 英一
    • G01P15/08H01L23/02H01L23/26H01L29/84
    • G01P15/08B81B2203/053G01P15/0802G01P2015/0828H01L23/02H01L29/84
    •  半導体装置の製造方法は、第1基板(10)を用意し、前記第1基板の一面(10a)に、Ti層(40b)が最表面となる金属膜を形成し、当該金属膜をパターニングすることによって第1パッド部(17)を形成し、第2基板(20)を用意し、前記第2基板の一面(20a)に、Ti層(41b)が最表面となる金属膜を形成し、当該金属膜をパターニングすることによって第2パッド部(24)を形成し、前記第1基板および前記第2基板を真空アニールすることにより、前記第1パッド部および前記第2パッド部における前記Ti層上に形成された酸化膜を除去し、前記第1パッド部と前記第2パッド部とを接合すること、を備える。
    • 一种制造半导体器件的方法包括:准备第一衬底(10),在第一衬底的一个表面(10a)上形成具有Ti层(40b)作为最外表面的金属膜,图案化金属膜以形成第一衬底 衬垫部分(17),准备第二衬底(20),在第二衬底的一个表面(20a)上形成具有Ti层(41b)作为最外表面的金属膜,图案化金属膜以形成第二衬垫部分 (24),对所述第一基板和所述第二基板进行真空退火,以除去形成在所述第一焊盘部和所述第二焊盘部中的所述Ti层上的氧化膜,以及将所述第一焊盘部和所述第二焊盘部接合。