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21. 发明申请

WO0240979A2 DEVICE AND METHOD FOR THE INSPECTION OF THE CONDITION OF A SAMPLE 审中-公开
标题翻译：检查样品条件的装置和方法
公开(公告)号：WO0240979A2
公开(公告)日：2002-05-23
申请号：PCT/EP0113145
申请日：2001-11-12
申请人： KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV
发明人： DE BOER DIRK K G , VAN LOENEN EVERT J
IPC分类号： G01N23/201 , G01N23/20 , G01N23/00
CPC分类号： G01N23/20
摘要： The invention relates to the reflectometric analysis of samples. As opposed to conventional methods where a very small area of the sample is analyzed by irradiation by means of focused radiation and the reflected radiation is measured by position-sensitive detection, the invention utilizes a parallel or a diverging beam so as to irradiate a larger area of the sample simultaneously and also utilizes position-sensitive and energy-sensitive detection so as to derive information concerning a plurality of spots of the irradiated area of the sample at the same time.
摘要翻译：本发明涉及样品的反射分析。与通过聚焦辐射的照射来分析样本的非常小的区域并且通过位置敏感检测来测量反射的辐射的常规方法相反，本发明利用平行或发散的光束来照射更大的面积并且还利用位置敏感和能量敏感检测，以便同时导出关于样品的照射区域的多个斑点的信息。

22. 发明申请

WO02013232A2 MEASUREMENT OF CRITICAL DIMENSIONS USING X-RAYS 审中-公开
标题翻译：使用X射线测量关键尺寸
公开(公告)号：WO02013232A2
公开(公告)日：2002-02-14
申请号：PCT/IL2001/000734
申请日：2001-08-08
IPC分类号： G01B15/00 , G01N23/201 , H01L
CPC分类号： G01B15/00 , G01N23/201
摘要： A method for measurement of critical dimensions includes irradiating a surface of a substrate (20) with a beam (36) of X-rays. A pattern of the X-rays scattered from the surface due to features formed on the surface is detected and analyzed to measure a dimension of the features in a direction parallel to the surface.
摘要翻译：用于测量临界尺寸的方法包括用X射线束（36）照射衬底（20）的表面。检测并分析由于表面上形成的特征而从表面散射的X射线的图案，以测量特征在平行于表面的方向上的尺寸。

23. 发明申请

WO2022145263A1 イオンビーム分析装置审中-公开
公开(公告)号：WO2022145263A1
公开(公告)日：2022-07-07
申请号：PCT/JP2021/046892
申请日：2021-12-18
申请人：福山　博文
发明人：福山　博文 FUKUYAMA Hirofumi
IPC分类号： G01N23/20008 , G01N23/201 , G01N23/203
摘要：本発明によると、高分解能で検出効率が高く、精密な入射イオンビーム制御や運用を必要とせず、効率的に分析が行えるコンパクトなイオンビーム分析装置を提供できる。　本発明のイオンビーム分析装置は、試料（１２）に５００ｋeＶ以下の連続イオンビームを入射して、散乱または反跳されたイオンエネルギーを計測する分析装置であって、２台の時間ピックアップ検出器（１３）（１４）と半導体検出器（１５）によって構成される飛行時間計測器と、前記飛行時間計測器で計測する散乱または反跳イオンの検出角度をイオンビーム入射に対して連続的に変更可能なフレキシブル継手（１７）と、試料（１２）に近い時間ピックアップ検出器（１３）と試料（１２）との間に試料（１２）に対する立体角を制限するスリット（９）と、下流側時間ピックアップ検出器（１４）からの信号をスタート信号として、上流側時間ピックアップ検出器（１３）の信号を遅延させたものをストップ信号として処理する信号計測システムとを備える。

24. 发明申请

WO2021076387A1 SIGNAL-DOMAIN ADAPTATION FOR METROLOGY 审中-公开
公开(公告)号：WO2021076387A1
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：PCT/US2020/054659
申请日：2020-10-08
申请人： KLA CORPORATION
发明人： PANDEV, Stilian
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/304 , H01L21/66 , G03F7/20 , G06K9/62 , G06N20/00 , G01B11/24 , G01N21/21 , G01N23/201 , G01N23/2251
摘要： First and second metrology data are used to train a machine-learning model to predict metrology data for a metrology target based on metrology data for a device area. The first metrology data are for a plurality of instances of a device area on semiconductor die fabricated using a fabrication process. The second metrology data are for a plurality of instances of a metrology target that contains structures distinct from structures in the device area. Using the trained machine-learning model, fourth metrology data are predicted for the metrology target based on third metrology data for an instance of the device area. Using a recipe for the metrology target, one or more parameters of the metrology target are determined based on the fourth metrology data. The fabrication process is monitored and controlled based at least in part on the one or more parameters.

25. 发明申请

WO2017216178A1 X-RAY TENSOR TOMOGRAPHY SYSTEM 审中-公开
标题翻译： X射线张力层析成像系统
公开(公告)号：WO2017216178A1
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：PCT/EP2017/064440
申请日：2017-06-13
申请人： TECHNISCHE UNIVERSITÄT MÜNCHEN
发明人： SHARMA, Yash , LASSER, Tobias , PFEIFFER, Franz
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/201 , G01N23/04
摘要： The present invention relates to an X-ray tensor tomography (XTT) system (34), comprising a source (12) for providing a beam with coherent X-rays, a first grating (16) with first grating lines and a second grating (18) with second grating lines, the second grating lines being parallel to the first grating lines and the XTT-system (34) being configured to relatively shift the first grating (16) and/or the second grating (18) in a shifting direction (32) being parallel to the planes of the gratings (16, 18), a stage (36) for rotating the specimen about a first axis of rotation and about not more than two axes of rotation (26), the first axis of rotation lying in a plane (38) being tilted by an angle ψ with respect to the to the planes of the gratings (16, 18), wherein ο°
摘要翻译：本发明涉及一种X射线张量断层摄影（XTT）系统（34），其包括用于为射束提供相干X射线的源（12），具有第一光栅线和具有第二光栅线的第二光栅（18），所述第二光栅线平行于所述第一光栅线，并且所述XTT系统（34）被配置为将所述第一光栅（16）和/或所述第二光栅光栅（18）在平行于光栅（16,18）的平面的移动方向（32）上移动;用于使试样围绕第一旋转轴线旋转并且不大于两个旋转轴线的平台（36）位于平面（38）中的第一旋转轴线相对于光栅（16,18）的平面倾斜角度ψ，其中θ0> ＆LT; ψ≤90°，并且相对于与所述台架（36）的位置处的所述光束路径的方向正交的平面成角度β，其中o≥90°。＆LT; β＆lt; 90°，检测器（22），被配置为重建样本的散射张量的重建单元。

26. 发明申请

WO2017213996A1 METHOD AND APPARATUS FOR X-RAY MICROSCOPY 审中-公开
标题翻译：用于X射线显微镜的方法和设备
公开(公告)号：WO2017213996A1
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：PCT/US2017/035800
申请日：2017-06-02
申请人： SIGRAY, INC. , YUN, Wenbing , LEWIS, Sylvia , KIRZ, Janos , SESHADRI, Srivatsan , LYON, Alan , REYNOLDS, Daivd
发明人： YUN, Wenbing , LEWIS, Sylvia , KIRZ, Janos , SESHADRI, Srivatsan , LYON, Alan , REYNOLDS, Daivd
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/201 , G21K1/06 , G21K1/10 , H01J35/16
摘要： This disclosure presents systems for x-ray microscopy using an array of micro-beams having a micro- or nano-scale beam intensity profile to provide selective illumination of micro- or nano-scale regions of an object. An array detector is positioned such that each pixel of the detector only detects x-rays corresponding to a single micro-or nano-beam. This allows the signal arising from each x-ray detector pixel to be identified with the specific, limited micro- or nano-scale region illuminated, allowing sampled transmission image of the object at a micro- or nano-scale to be generated while using a detector with pixels having a larger size and scale. Detectors with higher quantum efficiency may therefore be used, since the lateral resolution is provided solely by the dimensions of the micro- or nano-beams. The micro- or nano-scale beams may be generated using an arrayed x-ray source or a set of Talbot interference fringes.
摘要翻译：本公开提出了使用具有微米或纳米级光束强度分布的微束阵列来提供对物体的微米级或纳米级区域的选择性照明的用于x射线显微镜的系统。阵列检测器被定位成使得检测器的每个像素仅检测对应于单个微米或纳米束的x射线。这允许从每个X射线探测器像素产生的信号被照明的特定的受限的微米或纳米级区域识别，从而允许在微米级或纳米级上生成物体的采样透射图像，同时使用检测器具有更大尺寸和更大尺寸的像素。因此可以使用具有较高量子效率的探测器，因为横向分辨率仅由微米或纳米束的尺寸提供。微米或纳米级光束可以使用阵列x射线源或一组Talbot干涉条纹来产生。

27. 发明申请

WO2017108689A1 METHODS FOR DETECTING A FIBRE MISALIGNMENT IN AN ELONGATED STRUCTURE, RELATED APPARATUSES 审中-公开
标题翻译：用于检测伸长结构中的纤维偏移的方法，相关装置
公开(公告)号：WO2017108689A1
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：PCT/EP2016/081741
申请日：2016-12-19
申请人： LM WP PATENT HOLDING A/S
发明人： NIELSEN, Lars , JESPERSEN, Klavs
IPC分类号： G01N23/201 , B29C70/38 , B29C51/14 , G01B15/00 , G01N23/205 , G01N23/02
CPC分类号： G01N23/201 , B29C51/14 , G01B15/00 , G01N23/02 , G01N23/205
摘要： The present disclosure relates to a method for detecting a fibre misalignment in an elongated structure, such as a wind turbine blade component. The elongated structure has a length along a longitudinal direction and comprises a plurality of stacked reinforcing fibre layers. The plurality of fibre layers comprises fibres having an orientation aligned, unidirectionally, substantially in the longitudinal direction. The method comprises scanning the elongated structure along at least a part of the length by emitting an x-ray beam in an angle compared to the orientation of the fibres. The method comprises detecting scattered rays, and determining an intensity of the detected scattered rays. The method comprises estimating a size of the fibre misalignment based on the determined intensity.
摘要翻译：本公开涉及用于检测诸如风力涡轮机叶片部件的细长结构中的光纤未对准的方法。细长结构具有沿着纵向的长度并且包括多个堆叠的增强纤维层。多个纤维层包括具有基本上在纵向方向上单向排列的取向的纤维。该方法包括通过与纤维的定向相比以角度发射x射线束来沿着长度的至少一部分扫描细长结构。该方法包括检测散射射线，并确定检测到的散射射线的强度。该方法包括基于确定的强度来估计光纤错位的大小。

28. 发明申请

WO2017011057A3 FOUR PLANE X-RAY INSPECTION SYSTEM 审中-公开
标题翻译：四平板X射线检测系统
公开(公告)号：WO2017011057A3
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：PCT/US2016029554
申请日：2016-04-27
申请人： GREEN CHRISTOPHER K , WELDON ERIC , STARNS MARION I IV , FORBES ALFRED IV
发明人： WELDON ERIC , STARNS MARION I IV , FORBES ALFRED IV
IPC分类号： G01V5/00 , G01N23/04 , G01N23/201 , G01N23/203
CPC分类号： G01V5/0041 , G01V5/0058
摘要： The present disclosure describes a four plane x-ray inspection system for inspecting objects present within containers to be transported and for identifying and distinguishing objects constituting weapons, explosives, bombs, materials, chemicals, drugs, substances, and other items that may cause harm to humans, vehicles, and property. The system uses four, multi-energy level, x-ray scanning planes, including two, multi-energy level, x-ray scanning planes configured at angles, in a scanning tunnel to generate ultra-high definition imaging data and metadata corresponding to dimensionally accurate front, top and side orthogonal views of a target object that may comprise a threat. The system also provides orthogonal views of such target objects and identifies them through the calculation of accurate effective atomic numbers and densities. Through use of the angled, multi-energy level, x-ray scanning planes, the system increases the probability of detecting threats while reducing the probability of false alarms.
摘要翻译：本公开描述了一种四平面X射线检查系统，用于检查存在于要运输的容器内的物体，以及用于识别和区分构成武器，爆炸物，炸弹，材料，化学品，药物，物质和可能对其造成伤害的其它物品的物体人类，车辆和财产。该系统使用四个多能级X射线扫描平面，包括在扫描隧道中以角度配置的两个多能级X射线扫描平面，以产生超高清成像数据和与尺寸对应的元数据精确的可能包含威胁的目标对象的正面，顶部和侧面正交视图。该系统还提供这些目标对象的正交视图，并通过计算准确的有效原子数和密度来识别它们。通过使用有角度，多能级的X射线扫描平面，系统增加了检测威胁的可能性，同时降低了误报的可能性。

29. 发明申请

WO2016001536A1 PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ANALYSE D'UN OBJET PAR DIFFRACTOMÉTRIE UTILISANT UN SPECTRE EN DIFFUSION ET UN SPECTRE EN TRANSMISSION 审中-公开
标题翻译：使用散射光谱和透射光谱分析物体的方法和系统
公开(公告)号：WO2016001536A1
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：PCT/FR2015/051714
申请日：2015-06-25
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： PAULUS, Caroline , TABARY, Joachim
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/201 , G01N23/087
CPC分类号： G01N23/20083 , G01N23/087 , G01N23/201 , G01N23/2076 , G01N2223/04 , G01N2223/045 , G01N2223/3037 , G01N2223/304 , G01N2223/316 , G01N2223/50
摘要： L'invention concerne un procédé d'analyse d'un objet comprenant; irradiation de l'objet par un rayonnement photonique incident; acquisition d'un spectre énergétique diffusé par le matériau à l'aide d'un détecteur spectrométrique (6) placé en diffusion; acquisition d'un spectre énergétique transmis par le matériau à l'aide d'un détecteur spectrométrique (7) placé en transmission; reconstruction d'une signature (f) représentative de l'objet, à partir à la fois du spectre en diffusion mesuré et du spectre en transmission mesuré; comparaison de sa signature ainsi reconstruite à des signatures de matériaux étalons.
摘要翻译：本发明涉及一种用于分析物体的方法，包括：用入射光子辐射照射物体; 以散射模式使用光谱测定器（6）获取由材料散射的能谱; 以传输模式获取由所述材料使用光谱检测器（7）发送的能谱; 从测量的散射光谱和从测量的透射光谱重建表示物体的签名（f）; 将如此重建的签名与标准材料的签名进行比较。

30. 发明申请

WO2016001535A1 PROCÉDÉ D'ANALYSE D'UN OBJET EN DEUX TEMPS UTILISANT UN SPECTRE EN TRANSMISSION PUIS UN SPECTRE EN DIFFUSION 审中-公开
标题翻译：使用散射光谱后面的传输光谱分析两个阶段的对象的方法
公开(公告)号：WO2016001535A1
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：PCT/FR2015/051713
申请日：2015-06-25
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： PAULUS, Caroline , TABARY, Joachim
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/201 , G01N23/087
CPC分类号： G01N23/20083 , G01N23/087 , G01N23/201 , G01N2223/03 , G01N2223/04 , G01N2223/045 , G01N2223/054 , G01N2223/304 , G01N2223/50
摘要： L'invention concerne un procédé d'analyse d'un objet qui se déroule en deux parties, * une première partie comprenant les étapes : irradiation de l'objet par un rayonnement photonique incident; acquisition d'un spectre transmis par l'objet au moyen d'un détecteur spectrométrique placé en transmission; détermination d'au moins une première caractéristique de l'objet à partir du spectre en transmission mesuré; vérification de !a réalisation d'au moins un critère de suspicion portant sur la première caractéristique de l'objet et traduisant le fait que l'objet contient un matériau potentiellement suspect pour l'application considérée; * et une seconde partie exécutée uniquement lorsque le critère de suspicion est réalisé, et comprenant : acquisition d'un spectre énergétique diffusé par l'objet au moyen d'un détecteur spectrométrique placé en diffusion selon un angle compris entre 1 ° et 15°; détermination d'une seconde caractéristique de l'objet à partir au moins du spectre en diffusion mesuré; * comparaison au moins de la seconde caractéristiques de l'objet avec des caractéristiques de matériaux étalons mémorisées dans une base de données, aux fins d'identification d'un matériau constitutif de l'objet.
摘要翻译：本发明涉及一种用于分析物体的方法，该方法分为两部分：第一部分包括以下步骤：用入射光子辐射照射物体; 在传输模式下使用光谱检测器获取由对象发送的频谱，根据所测量的传输频谱确定对象的至少一个第一属性，验证是否满足与对象的第一属性有关的至少一个疑问标准，以及翻译事实上，该对象包含对正在考虑的应用程序潜在可疑的材料; 以及第二部分，仅在满足怀疑标准时进行，包括：以散射模式以1°至15°的角度获取由物体散射的能谱，使用光谱测量检测器，并且确定物体的第二属性从至少测量的散射光谱; 将对象的至少第二属性与存储在数据库中的标准材料的属性进行比较，以便识别制作对象的材料。

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