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    • 21. 发明申请
    • RADIATION THERMOMETER AND RADIATION SENSOR WITH SEVERAL SENSOR ELEMENTS, METHOD FOR DETERMINING TEMPERATURE
    • 辐射温度计和辐射传感器与用来确定几种温度传感器元件和方法
    • WO00016050A1
    • 2000-03-23
    • PCT/EP1999/006266
    • 1999-08-26
    • G01J5/04G01J5/08G01K13/00
    • G01J5/04G01J5/02G01J5/022G01J5/049G01J5/08G01J5/0806G01J5/0815G01J5/0831G01J5/0846G01J2005/0048
    • The invention relates to a radiation thermometer comprising several sensor elements for detecting infra-red radiation from several different areas. The invention also relates to a radiation sensor with several infra-red sensor elements and to a method for determining temperature by means of a radiation thermometer with one such radiation sensor. The radiation sensor (10) consists of a plurality of optical elements (50; 45; 55) that are associated with one or several sensor elements (30) and define the physical angle from which radiation can reach the respective sensor element or sensor elements. The inventive method for measuring fever by means of an ear thermometer fitted with an inventive radiation sensor is based on a known fact, i.e. that the eardrum has a higher temperature than the auditory canal. As a result, part of the sensor elements, i.e. those monitoring the eardrum, detect a higher temperature than the rest of the sensor elements that monitor the auditory canal. Only the significantly greater temperature signals from the sensor elements are evaluated.
    • 它将与几个传感器元件描述用于从互相不同的空间区域检测红外辐射的辐射温度计,其具有多个红外线传感器元件和用于通过具有这样的辐射传感器的辐射温度计来确定温度的方法的辐射传感器。 辐射传感器(10)包括多个光学元件(50; 45; 55),被分配给个人或多个传感器元件(30),并限制对的辐射的立体角/每个(n)的传感器元件(一个或多个 可以通过)。 通过具有新颖辐射传感器,基于已知的事实,即鼓膜具有比所述耳道中的较高的温度的耳式体温计的测定装置的温度的本发明方法。 因此,传感器元件的一部分,即那些看到鼓膜,以检测更高的温度,看到耳道作为剩余传感器元件。 只有从与显著较大的信号的传感器元件的温度信号被根据本发明的评价。
    • 22. 发明申请
    • METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SUBSTRATE TEMPERATURES
    • 测量基板温度的方法和装置
    • WO99047901A1
    • 1999-09-23
    • PCT/US1999/003978
    • 1999-02-23
    • G01J5/02G01J5/00G01J5/04G01J5/10H01L21/26H01L21/31
    • G01J5/08G01J5/0003G01J5/0007G01J5/0815G01J5/0818G01J5/0821G01J5/0846G01J5/0887G01J5/522G01J2005/0048G01J2005/068H01L22/10H01L2924/0002H01L2924/00
    • A method of correcting a temperature probe reading in a thermal processing chamber for heating a substrate, including the steps of heating the substrate to a process temperature and using a first, a second and a third probe to measure the temperature of the substrate. The first probe has a first effective reflectivity and the second probe has a second effective reflectivity. The first probe produces a first temperature indication, the second probe produces a second temperature indication and the third probe produces a third temperature indication. The first and second effective reflectivities may be different. From the first and second temperature indications, a corrected temperature reading for the first probe may be derived, wherein the corrected temperature reading is a more accurate indicator of an actual temperature of the substrate than an uncorrected readings produced by both the first and second probes.
    • 一种校正用于加热衬底的热处理室中的温度探针读数的方法,包括以下步骤:将衬底加热到​​工艺温度,并使用第一,第二和第三探针测量衬底的温度。 第一探针具有第一有效反射率,第二探针具有第二有效反射率。 第一探针产生第一温度指示,第二探针产生第二温度指示,第三探头产生第三温度指示。 第一和第二有效的反射率可能不同。 从第一和第二温度指示可以导出用于第一探针的校正温度读数,其中校正温度读数是比由第一和第二探针产生的未校正读数更准确地指示衬底的实际温度。
    • 25. 发明申请
    • 赤外線検出素子、赤外線検出器及び赤外線式ガスセンサ
    • 红外检测元件,红外探测器和红外型气体传感器
    • WO2014112392A1
    • 2014-07-24
    • PCT/JP2014/000243
    • 2014-01-20
    • パナソニック株式会社
    • 渡部 祥文角 貞幸稲葉 雄一穗積 潤一平井 孝彦黒田 剛史
    • G01J1/02G01N21/3504H01L37/02
    • G01J5/0014G01J1/0271G01J3/42G01J5/045G01J5/046G01J5/0815G01J5/0831G01J5/0853G01J5/0862G01J5/0875G01J5/16G01J5/34H01L37/02
    •  赤外線検出素子は、1つの焦電体基板に第1焦電素子と第2焦電素子とが並んで形成されている。第1焦電素子は、第1表面電極と、第1裏面電極と、焦電体基板において第1表面電極と第1裏面電極とで挟まれた第1部分と、を備える。第2焦電素子は、第2表面電極と、第2裏面電極と、焦電体基板において第2表面電極と第2裏面電極とで挟まれた第2部分と、を備える。焦電体基板は、第1焦電素子を囲む周辺部に、第1焦電素子の外周に沿った形状のスリットが、第1表面配線及び第1裏面配線を避けて形成され、第2焦電素子を囲む周辺部が、第2部分の全周に亘って連続している。赤外線検出器は、赤外線検出素子を備える。赤外線式ガスセンサは、赤外線放射素子と、赤外線検出素子と、を備える。
    • 该红外线检测元件通过在一个热电基板上并排地形成第一热电元件和第二热电元件而获得。 第一热释电元件设置有第一前表面电极,第一后表面电极和作为夹在第一前表面电极和第一后表面电极之间的热释电基板的一部分的第一部分。 第二热电元件设置有第二前表面电极,第二背面电极和作为夹在第二前表面电极和第二后表面电极之间的热释电基板的一部分的第二部分。 热电基板在围绕第一热电元件的区域中设置有与第一热电元件的外周相邻的狭缝,使得狭缝避开第一前表面布线和第一背面布线。 围绕第二热电元件的热释电基板的区域在第二部分周围是连续的。 该红外线检测器具有红外线检测元件。 该红外线型气体传感器设置有红外线辐射元件和红外线检测元件。
    • 30. 发明申请
    • OPTICAL SYSTEM FOR A WIDE FIELD OF VIEW STARING INFRARED SENSOR HAVING IMPROVED OPTICAL SYMMETRY
    • 用于具有改进的光学对称性的宽视场红外传感器的光学系统
    • WO2004097354A1
    • 2004-11-11
    • PCT/US2004/012574
    • 2004-04-23
    • RAYTHEON COMPANY
    • WELLMAN, WilliamBORCHARD, Joseph F.ANDERSON, Douglas
    • G01J5/06
    • G01J5/061G01J5/08G01J5/0803G01J5/0806G01J5/0809G01J5/0815G01J5/0862G01J5/0875G01J5/522G01J2005/0077G02B13/16G02B27/0018
    • A wide-angle IR imaging system (1A) has an entrance aperture (40) for admitting IR from a scene and a dewar (4A) that contains a coldshield (3) that encloses a cooled IR detector (2) disposed at an image plane (2A). The dewar includes a dewar window (4), and an optical axis of the IR imaging system passes through the dewar window and the image plane. The IR imaging system further includes a plurality of uncooled optical elements (22, 24, 26, 28) disposed along the optical axis between the entrance aperture and the dewar window, and a plurality of generally annular reflector segments (18A, 18B) disposed around the optical axis betwen the dewar window and the entrance aperture. Each of the reflector segments has a reflective surface that faces the dewar window. An opening through an outermost reflector segment furthest from the dewar window defines an effective cooled aperture stop, or warm stop (20A) of the IR imaging system, and at least one of the optical elements (22) is disposed between the effective cooled aperture stop and another one of the reflector segments (18A) that is located nearer to the dewar window. In the preferred embodiment the at least one optical element, and the reflector segment that is located nearer to the dewar window, are comprised of a single monolithic body (31) that has a compound optical surface.
    • 广角红外成像系统(1A)具有用于从场景接收红外线的入口孔(40)和含有围绕设置在像平面处的冷却IR检测器(2)的冷藏罩(3)的杜瓦瓶(4A) (2A)。 杜瓦瓶包括杜瓦窗(4),IR成像系统的光轴穿过杜瓦窗和图像平面。 IR成像系统还包括沿入射孔和杜瓦瓶窗口之间的光轴设置的多个非冷却的光学元件(22,24,26,28),以及多个大致环形的反射器段(18A,18B),其围绕 杜瓦窗和入口孔之间的光轴。 每个反射器段具有面向杜瓦窗的反射表面。 通过距离杜瓦窗最远的最外面的反射器区段的开口限定了IR成像系统的有效的冷却的孔径光阑或暖挡板(20A),并且至少一个光学元件(22)设置在有效的冷却孔径光阑 以及位于更靠近杜瓦瓶窗口的另一个反射器段(18A)。 在优选实施例中,位于更靠近杜瓦瓶窗口的至少一个光学元件和反射器段由具有复合光学表面的单个整体(31)组成。