专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

21. 发明申请

WO00044679A1 METHODS FOR MANUFACTURING AND DEPOSITING FINE PARTICLES COMBINING FLAME AND LASER BEAM 审中-公开
标题翻译：用于制造和沉积组合火焰和激光束的精细颗粒的方法
公开(公告)号：WO00044679A1
公开(公告)日：2000-08-03
申请号：PCT/KR2000/000049
申请日：2000-01-22
IPC分类号： C03B8/04 , B22F9/28 , B22F9/30 , C03B19/10 , C03B19/14 , C03B37/014 , C03B37/018 , C03C12/00 , C03C23/00 , C23C16/44 , C23C16/453 , C23C16/48 , C30B25/00 , C03B37/012
CPC分类号： C23C16/483 , B22F9/28 , B22F9/30 , B22F2998/00 , B22F2999/00 , C03B19/106 , C03B19/1423 , C03B37/0142 , C03B2207/46 , C03C12/00 , C03C23/0025 , C23C16/453 , B22F1/0018 , B22F1/0048 , B22F2202/11
摘要： A method of manufacturing fine particles containing metallic and ceramic fine powder, glass fine powder and composite fine powder, includes the steps of supplying reactants into a burner forming a flame, generating particles from the reactants in the flame of the burner, and irradiating at least one laser beam into the particles generated in the flame to thereby heat and sinter the particles.
摘要翻译：制造含有金属和陶瓷细粉末，玻璃细粉末和复合细粉末的微粒的方法包括以下步骤：将反应物供入形成火焰的燃烧器中，从燃烧器火焰中的反应物产生颗粒，并至少照射一个激光束进入火焰中产生的颗粒，从而加热和烧结颗粒。

22. 发明申请

WO00036340A1 BURNER MANIFOLD APPARATUS FOR USE IN A CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS 审中-公开
标题翻译：用于化学蒸气沉积过程的燃烧器歧管装置
公开(公告)号：WO00036340A1
公开(公告)日：2000-06-22
申请号：PCT/US1999/028305
申请日：1999-12-01
IPC分类号： F23D14/14 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B23/047 , C03B37/014 , C23C16/453 , C23C16/455 , F23D14/22 , F23D14/52 , F23D14/56 , F23D14/58
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B19/06 , C03B23/047 , C03B37/0142 , C03B2207/02 , C03B2207/04 , C03B2207/42 , C23C16/453 , F23D14/22 , F23D14/52 , F23D14/583 , F23D2203/101 , F23D2203/104 , F23D2212/10 , F23D2213/00 , F23D2900/14001
摘要： A burner manifold apparatus (10) for delivering reactants to a combustion site of a chemical vapor deposition process includes fluid inlets (32a, 32b), fluid outlets (49), and a plurality of fluid passages (50) extending therebetween. The fluid passages (50) converge toward each other from the fluid inlets to the fluid outlets. One embodiment includes a manifold base (12), a pressure plate (14), and a manifold burner mount (16) for mounting thereto a micromachined burner (58). The fluid passages (50) internal to the manifold base are configured to distribute symmetrically the fluid to the manifold burner mount. The fluid is then channeled through fluid passages in the manifold burner mount. The fluid passages converge, yet remain fluidly isolated from each other, and the fluid passages create a linear array for producing linear streams of fluid. Alternatively, the burner manifold apparatus may include a plurality of manifold elements in a stacked arrangement. In this alternative embodiment, the manifold elements are configured to produce a linear array of fluid passages at the top of the stack, increasing the number of fluid passages at each level of the stack closer to the top. As yet a further alternative, the burner manifold may be produced by extruding a particulate composite through a die to produce a manifold having fluid passages therein. This extruded manifold generally has a tapered section to which a burner may be mounted.
摘要翻译：用于将反应物输送到化学气相沉积工艺的燃烧部位的燃烧器歧管装置（10）包括流体入口（32a，32b），流体出口（49）和在它们之间延伸的多个流体通道（50）。流体通道（50）从流体入口朝向流体出口彼此会聚。一个实施例包括歧管基座（12），压力板（14）和用于安装到微加工燃烧器（58）上的歧管燃烧器支架（16）。歧管基座内部的流体通道（50）被构造为将流体对称地分布到歧管燃烧器安装座。然后将流体通过歧管燃烧器安装座中的流体通道引导。流体通道汇合，但保持流体彼此隔离，并且流体通道产生用于产生线性流体流的线性阵列。或者，燃烧器歧管装置可以包括堆叠布置的多个歧管元件。在该替代实施例中，歧管元件构造成在堆叠的顶部产生流体通道的线性阵列，从而增加靠近顶部的堆叠的每个水平处的流体通道的数量。作为另一替代方案，燃烧器歧管可以通过将颗粒状复合材料挤出通过模具来制造，以产生其中具有流体通道的歧管。该挤出歧管通常具有可安装燃烧器的锥形部分。

23. 发明申请

WO00026151A1 METHODS OF MANUFACTURING SOOT FOR OPTICAL FIBER PREFORMS AND PREFORMS MADE BY THE METHODS 审中-公开
标题翻译：光纤预制件制造方法和方法制作的方法
公开(公告)号：WO00026151A1
公开(公告)日：2000-05-11
申请号：PCT/US1999/024304
申请日：1999-10-18
IPC分类号： G02B6/00 , C03B19/14 , C03B37/014 , C03B37/018
CPC分类号： C03B37/01413 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B37/0142 , C03B2201/30 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/50 , C03B2201/54 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/52
摘要： The present invention is directed to methods of producing soot used in the manufacture of optical waveguides. Both non-aqueous liquid reactants and aqueous solutions containing one or more salts are delivered through an atomizing burner assembly to form a homogenous soot stream containing the oxides of the selected elements contained within the non-aqueous liquid reactant and the aqueous solution. The resulting multi-component soot is collected by conventional methods to form preforms used in the manufacture of optical waveguide fibers. Alternatively, an aqueous solution may be atomized with a gas at a first burner assembly to form an aerosol and a reactant vaporized for delivery to a second burner assembly. Preforms produced by the methods are also disclosed. The aqueous solution is preferably one comprising a metal salt, e.g. acetate, nitrate, sulfate, carbonate, chloride, hydroxide. The metal of the metal salt is preferably an alkali metal, an alkaline earth metal, lead, lanthanum, cobalt, antimony, erbium, aluminum, neodymium, praeseodymium.
摘要翻译：本发明涉及生产用于制造光波导的烟灰的方法。非水性液体反应物和含有一种或多种盐的水溶液通过雾化燃烧器组件输送以形成含有非水液体反应物和水溶液中所含选定元素的氧化物的均匀烟灰流。通过常规方法收集所得的多组分烟灰，以形成用于制造光波导纤维的预成型件。或者，水溶液可以在第一燃烧器组件处用气体雾化以形成气溶胶和蒸发的反应物以输送到第二燃烧器组件。还公开了通过该方法生产的预成型件。水溶液优选为包含金属盐的溶液。乙酸盐，硝酸盐，硫酸盐，碳酸盐，氯化物，氢氧化物。金属盐的金属优选为碱金属，碱土金属，铅，镧，钴，锑，铒，铝，钕，镨。

24. 发明申请

WO99006331A1 METHOD FOR FORMING SILICA BY COMBUSTION OF LIQUID REACTANTS USING OXYGEN 审中-公开
标题翻译：通过使用氧气制备液体反应物形成二氧化硅的方法
公开(公告)号：WO99006331A1
公开(公告)日：1999-02-11
申请号：PCT/US1998/014060
申请日：1998-07-07
IPC分类号： B01J19/26 , C01B33/18 , C03B8/04 , C03B19/10 , C03B19/14 , C03B20/00 , C03B37/014 , C03B37/018 , C03C1/00 , C03C3/06
CPC分类号： B01J19/26 , B01J2219/00157 , B01J2219/00159 , C01B33/183 , C03B19/106 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B37/01413 , C03B37/0142 , C03B2201/06 , C03B2207/06 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/42 , C03C1/00 , C03C3/06 , C03C2201/06 , C03C2203/40 , Y02P40/57
摘要： The present invention is directed to a method for making silica. A liquid siloxane-containing feedstock capable of being converted by thermal oxidative decomposition to SiO2 is provied and introduced directly into the flame of a combustion burner, which converts the compound to silica, thereby forming finely divided amorphous soot. The soot is vaporized at the conversion and/or deposition site where the liquid is converted into silica by atomizing the liquid with a stream of oxygen gas, or a mixture of oxygen gas and other gas, such as nitrogen. The amorphous soot is deposited on a receptor surface where, either substantially simultaneously with or subsequently to its deposition, the soot is consolidated into a body of fused silica glass, such as an optical fiber preform.
摘要翻译：本发明涉及制备二氧化硅的方法。证明了能够通过热氧化分解转化为SiO 2的含有液态硅氧烷的原料直接引入燃烧器的火焰中，该燃烧器将该化合物转化为二氧化硅，从而形成细碎的无定形烟灰。烟灰在转化和/或沉积位置被蒸发，其中液体通过用氧气流或氧气和其它气体如氮气的混合物雾化液体而转化为二氧化硅。无定形烟灰沉积在受体表面上，其中基本上同时或随后沉积，烟灰被固结成熔融石英玻璃体，例如光纤预型体。

25. 发明申请

WO9801228A3 RAYLEIGH-BREAKUP ATOMIZING DEVICES AND METHODS OF MAKING RAYLEIGH-BREAKUP ATOMIZING DEVICES 审中-公开
标题翻译： RAYLEIGH-BREAKUP ATOMISING DEVICES AND METHODS OF MAIRY RAYLELY-BREAKUP ATOMISING DEVICES
公开(公告)号：WO9801228A3
公开(公告)日：1998-05-07
申请号：PCT/US9711622
申请日：1997-07-08
申请人： SPRAYCHIP SYSTEMS CORP , SKEATH PERRY R , SAYLOR JOHN R , ROVELSTAD AMY L
发明人： SKEATH PERRY R , SAYLOR JOHN R , ROVELSTAD AMY L
IPC分类号： B05B1/02 , B05B1/08 , B05B1/14 , B05B7/00 , B05B7/04 , B05B7/08 , B05B15/00 , B05B17/06 , C03B19/14 , F23D11/10 , F23D11/38 , B05B
CPC分类号： B05B15/008 , B05B1/02 , B05B1/08 , B05B7/00 , B05B7/0433 , B05B7/0458 , B05B7/0884 , B05B17/0692 , C03B19/1423 , C03B2207/02 , C03B2207/06 , C03B2207/08 , C03B2207/34 , F23D11/107 , F23D11/108 , F23D11/38 , F23D2900/14482
摘要： Atomizing devices are provided that form droplets through the Rayleigh breakup mechanism. Various embodiments include one or more of the following features. Liquid orifices form jets of liquid that form droplets. Gas orifices provide gas coflow that inhibits coalescence of the droplets. The liquid orifices can have non-circular cross-sectional shapes to promote Rayleigh breakup. Fluidic oscillators can also be provided to promote Rayleigh breakup. Supply networks are provided to supply gas and liquid to the gas and liquid orifices, respectively.

26. 发明申请

WO1996020898A2 PRECISION BURNERS FOR OXIDIZING HALIDE-FREE, SILICON-CONTAINING COMPOUNDS 审中-公开
标题翻译：用于氧化无卤素，含硅化合物的精密燃烧器
公开(公告)号：WO1996020898A2
公开(公告)日：1996-07-11
申请号：PCT/US1995016738
申请日：1995-12-19
申请人： CORNING INCORPORATED
发明人： CORNING INCORPORATED , CAIN, Michael, B. , DESORCIE, Robert, B. , KIEFER, William, J. , POWERS, Dale, R.
IPC分类号： C03B37/014
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B37/0142 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/22 , C03B2207/32 , C03B2207/36 , C03B2207/42 , C23C16/453 , F23D14/02 , F23D14/32 , F23G7/065 , F23L7/00 , F23L2900/07002 , Y02P40/57
摘要： A precision burner for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds, such as, octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS), is provided. The burner includes a subassembly (13) which can be precisely mounted on a burner mounting block (107) through the use of an alignment stub (158), a raised face (162) on the burner mounting block (107) and corresponding recess (160) in the back of the subassembly (13). The burner's face includes four concentric gas-emitting regions: a first central region (36, 90) from which exits a mixture of OMCTS and O2, a second innershield region (38, 92) from which exits N2, a third outershield region (40, 42, 94, 96) from which exits O2, and a fourth premix region (44, 98) from which exits a mixture of CH4 and O2. The burner provides more efficient use of halide-free, silicon-containing raw materials than prior art burners.
摘要翻译：提供了用于氧化无卤素的含硅化合物如八甲基环四硅氧烷（OMCTS）的精密燃烧器。该燃烧器包括一个子组件（13），其可以通过使用对准短管（158），燃烧器安装块（107）上的凸起面（162）和相应的凹部（107）精确地安装在燃烧器安装块（107）上 160）在子组件（13）的后部。燃烧器的表面包括四个同心气体发射区域：从其离开OMCTS和O2的混合物的第一中心区域（36,90），从其离开N2的第二内侧区域（38,92），第三外部区域（40 ，42,94,96），以及从其离开CH 4和O 2的混合物的第四预混合区（44,98）。燃烧器比现有技术的燃烧器更有效地使用无卤素，含硅原料。

27. 发明申请

WO2013084978A1 チタニア－シリカガラス製ＥＵＶリソグラフィ用フォトマスク基板审中-公开
标题翻译： TITANIA-SILICA GLASS EUV LITHOGRAPHY的光电子基板
公开(公告)号：WO2013084978A1
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：PCT/JP2012/081611
申请日：2012-12-06
申请人：信越石英株式会社 , 信越化学工業株式会社
发明人：江崎　正信 , 上田　哲司 , 毎田　繁 , 大塚　久利
IPC分类号： H01L21/027 , C03B8/04 , C03B20/00 , C03C3/06 , G03F1/22
CPC分类号： C03B19/1423 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B23/0006 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03C3/06 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52 , G03F1/24
摘要：　ＥＵＶリソグラフィ用フォトマスク基板に要求される高平坦度を有し、プラズマエッチング、イオンビームエッチング等の表面処理に要するコスト、処理時間等を軽減することができる、チタニア－シリカガラス製ＥＵＶリソグラフィ用フォトマスク基板を提供する。　１５２．４×１５２．４×６．３５ｍｍのフォトマスク基板形状で、該基板の中央部１４２．４×１４２．４ｍｍ内の屈折率均質性 Δｎが、３×１０－４以下であり、１５２．４×１５２．４ｍｍ面内の中心部２０×２０ｍｍ内の範囲に屈折率の極大値もしくは極小値を１点のみ持ち、１５２．４×１５２．４ｍｍ面内の中央部１４２．４×１４２．４ｍｍ内の範囲で、最も高い位置と最も低い位置との差が５０ｎｍ以下であるようにした。
摘要翻译：提供一种二氧化钛 - 二氧化硅玻璃EUV光刻用光掩模基板，其具有EUV光刻光掩模基板所需的高度的平坦度，并且能够降低诸如等离子体蚀刻和离子束等表面处理所需的成本，处理时间等蚀刻。光掩模基板尺寸为152.4×152.4×6.35 mm; 折射率均匀度Deltan在衬底中间部分的142.4×142.4 mm范围内不超过3×10-4; 折射率的一个最大值或最小值在152.4×152.4mm平面内的中心部分的20×20mm的范围内; 在152.4×152.4mm平面内的中间部分的142.4×142.4mm的范围内的最高位置和最低位置之间的差别不大于50nm。

28. 发明申请

WO2008121271A1 THREE DIMENSIONAL MICRO-FABRICATED BURNERS 审中-公开
标题翻译：三维微型燃烧器
公开(公告)号：WO2008121271A1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：PCT/US2008/003879
申请日：2008-03-25
申请人： CORNING INCORPORATED , GEREMEW, Muluwork , HAWTOF, Daniel W , PETERSON, Richard C , ROVELSTAD, Amy L , THOMPSON, Christopher C
发明人： GEREMEW, Muluwork , HAWTOF, Daniel W , PETERSON, Richard C , ROVELSTAD, Amy L , THOMPSON, Christopher C
IPC分类号： F23D14/08 , F23D14/56
CPC分类号： F23D14/08 , B33Y30/00 , B33Y70/00 , B33Y80/00 , C03B19/1423 , C03B2207/02 , C03B2207/42 , F23D14/56 , F23D2212/00 , F23D2213/00 , F23D2900/21007
摘要： The invention relates to a burner module having a body that is either sintered or photo-cured, and to methods of making such a burner module. The body (110) of the burner (100) is formed from one of a sintered metal, a sintered alloy, a laminated glass ceramic, and a photo-cured polymer.1 Sintering and photo-curing may be accomplished by irradiating the body with localized heating using a focused energy source, such as a laser. The burner module is resistant to thermal shock and provides a distributed, even stream of a precursor or precursors to be reacted in a flame of the burner module to form soot, which is to deposited on a receptor surface, and may be used for vapor and liquid precursor delivery systems. A soot depostion system having an array of such burner modules and methods of making a fused silica article by depositing sopt using the burner modules are also described.
摘要翻译：本发明涉及具有烧结或光固化的主体的燃烧器模块以及制造这种燃烧器模块的方法。燃烧器（100）的主体（110）由烧结金属，烧结合金，夹层玻璃陶瓷和光固化聚合物中的一种形成。烧结和光固化可以通过用使用聚焦能源的局部加热，例如激光。燃烧器模块耐热冲击并且提供在燃烧器模块的火焰中反应的前体或前体的分布均匀的流，以形成沉积在受体表面上的烟灰，并且可以用于蒸气和液体前体输送系统。还描述了具有这种燃烧器模块的阵列的烟灰沉积系统和通过使用燃烧器模块沉积磷灰石来制造熔凝硅石制品的方法。

29. 发明申请

WO2007100019A1 石英ガラス製バーナ审中-公开
标题翻译： QUARTZ玻璃制造燃烧器
公开(公告)号：WO2007100019A1
公开(公告)日：2007-09-07
申请号：PCT/JP2007/053841
申请日：2007-02-28
申请人：信越化学工業株式会社 , 吉田真
发明人：吉田真
IPC分类号： C03B8/04 , F23D14/22
CPC分类号： F23D14/22 , C03B19/1423 , C03B2207/12 , C03B2207/14
摘要：　石英ガラス製外管１内に、複数の細管からなる多分岐管型の石英ガラス製ノズル３を有し、外管先端の内径が外管直胴部内径の０．６５倍以上０．９０倍以下に縮径されていることを特徴とし、前記ノズル３は、細管分岐部２からその先端までが外管１内に収納されている構造とし、細管を収納する外管部の長さは、外管先端内径の１．５倍以上とする。バーナ先端部において、外管から供給されるガスの流速分布を均一にすることによって、火炎加工時の火力向上及びガラス微粒子の堆積効率を向上し得る石英ガラス製バーナを提供する。
摘要翻译：一种石英玻璃制造的燃烧器，其特征在于具有多分支管式石英玻璃制成的喷嘴（3），其由容纳在石英玻璃制成的外管（1）中的多个小管组成，并且具有外管的直径减小，使得远端的内径的外管的直径为内径的0.65〜0.90倍。喷嘴（3）构造成具有容纳在外管（1）内的从小管分支部（2）到其远端的区域。容纳小管的外管部分的长度至少为外管的远端的内径的1.5倍。因此，提供了一种石英玻璃制造的燃烧器，其通过使从燃烧器的远端部分的外管供给的气体的流速分布均匀化，实现玻璃微粒沉积效率的提高以及在 flameworking。

30. 发明申请

WO2004092082A1 SiO2-TiO2系ガラスの製造方法、SiO2-TiO2系ガラス及び露光装置审中-公开
标题翻译：用于生产SiO2-TiO2基玻璃，SiO2-TiO2基玻璃和曝光体系的方法
公开(公告)号：WO2004092082A1
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：PCT/JP2004/005204
申请日：2004-04-12
申请人：株式会社ニコン , 藤原誠志
发明人：藤原誠志
IPC分类号： C03B8/04
CPC分类号： G03F7/70958 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , G03F1/60
摘要：　SiO ２ -TiO ２系ガラスを火炎加水分解法により製造する方法であって、SiO ２のガス状前駆体とTiO ２のガス状前駆体を乱流状態で混合してバーナの中心管から層流状態で供給し、その周りの管から酸素又は酸素含有気体と水素又は水素含有気体とを供給して燃焼させ、加熱された前記SiO ２のガス状前駆体とTiO ２のガス状前駆体とを、平板状の耐熱性基体からなるターゲットに当てて、堆積・溶融せしめてSiO ２ -TiO ２系ガラスを得るガラス成長工程を含む、SiO ２ -TiO ２系ガラスの製造方法。
摘要翻译：通过火焰水解法制备SiO 2 -TiO 2基玻璃的方法，其包括玻璃生长方法，其中将SiO 2的气体前体和TiO 2的气态前体以湍流状态混合，所得混合物从中心在层流中的燃烧器管，氧气或含有氧气和氢气的气体或含有氢气的气体从其周围的管道供应并被燃烧，被加热的SiO 2气态前体和TiO 2的气体前体被撞击到平面和耐热基底，通过沉积和熔融在靶上形成SiO 2 -TiO 2基玻璃。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式