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1. 发明申请

WO2008145575A2 DEPOSITION BURNER AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF, USE OF THE DEPOSITION BURNER AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF A QUARTZ GLASS BODY BY USING THE DEPOSITION BURNER 审中-公开
标题翻译：沉积式燃烧器及其制造方法，沉积式燃烧器的使用及使用沉积式燃烧器生产石英玻璃体的方法
公开(公告)号：WO2008145575A2
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：PCT/EP2008056222
申请日：2008-05-21
申请人： HERAEUS QUARZGLAS , SHINETSU QUARTZ PROD , HUENERMANN MICHAEL
发明人： HUENERMANN MICHAEL
IPC分类号： C03B23/047 , C03B19/14
CPC分类号： C03B23/047 , C03B19/1423 , C03B2207/12 , C03B2207/40 , C03B2207/42 , C03B2207/52
摘要： To provide a method for the inexpensive manufacture of a deposition burner with small manufacturing tolerances for use in the synthesis of quartz glass, and wherein moreover, when the deposition burner is used as intended, the risk of contamination of the quartz glass to be produced is low, the invention suggests the following method steps: (a) providing a start cylinder of quartz glass which is mechanically provided with longitudinal bores; (b) elongating the start cylinder with formation of a burner strand, the longitudinal bores being shaped as elongated channels extending in parallel with one another; (c) cutting the burner strand into pieces in the form of cylindrical quartz glass blocks, each being provided with passage lines extending in parallel with a central axis of the quartz glass block; and (d) manufacturing the deposition burner by using a respective one of such quartz glass blocks as burner head which has a proximal end and a distal end, the passage lines serving the supply of process media from the distal to the proximal burner head end.
摘要翻译：为了提供廉价制造用于合成石英玻璃的制造公差小的沉积燃烧器的方法，此外，当根据需要使用沉积燃烧器时，要生产的石英玻璃的污染风险是本发明提出以下方法步骤：（a）提供机械地设置有纵向孔的石英玻璃的起始气缸; （b）通过形成燃烧器绞线来延伸起始气缸，所述纵向孔形成为彼此平行延伸的细长通道; （c）将燃烧器股线切割为圆柱形石英玻璃块形式的片，每个都具有与石英玻璃块的中心轴平行延伸的通道; 以及（d）通过使用这样的石英玻璃块中的相应一个作为具有近端和远端的燃烧器头来制造沉积燃烧器，所述通道用于从远端到近端燃烧器头端供应处理介质。

2. 发明申请

WO2004065315A1 合成石英ガラス光学部材及びその製造方法审中-公开
标题翻译：合成石英玻璃光学元件及其制备方法
公开(公告)号：WO2004065315A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/JP2004/000467
申请日：2004-01-21
申请人：株式会社ニコン , 神保宏樹 , 藤原誠志 , 小峯典男
发明人：神保宏樹 , 藤原誠志 , 小峯典男
IPC分类号： C03B20/00
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/21 , C03B2207/36 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/21 , C03C2201/23
摘要：　合成石英ガラス部材は、ＯＨ基濃度が１ｐｐｂ～１０ｐｐｍであり、Ｓｉに結合しているＦ濃度が０．５ｗｔ％～３．０ｗｔ％であり、水素分子濃度が１×１０１６個／ｃｍ３～５×１０１７個／ｃｍ３である。高い紫外光透過率及び耐紫外線特性を有するとともに、緩和率が小さく、しかも面内分布に優れる。１９０ｎｍ以下の波長領域の紫外線に使用することが好適である。
摘要翻译： OH基浓度为1ppb〜10ppm的合成石英玻璃光学构件，与Si结合的F的浓度为0.5〜3.0重量％，氢分子浓度为1×10 16分子〜5× 10 17分子/ cm 3。光学构件对于紫外线具有增强的透射率和改善的抗紫外线，并且还可以表现出降低的松弛率和在平面内的优异分布，因此可以适用于波长为190的紫外线 nm以下。

3. 发明申请

WO0244765A3 MULTILAYERED OPTICAL STRUCTURES 审中-公开
标题翻译：多层光学结构
公开(公告)号：WO0244765A3
公开(公告)日：2003-01-30
申请号：PCT/US0145762
申请日：2001-10-26
申请人： NANOGRAM CORP , BRYAN MICHAEL A , BI XIANGXIN
发明人： BRYAN MICHAEL A , BI XIANGXIN
IPC分类号： B29D11/00 , B32B9/04 , C03B19/14 , C03B37/012 , C03B37/014 , C03B37/027 , C04B35/14 , C23C16/48 , C23C26/00 , C23C28/00 , C23C28/04 , G02B1/02 , G02B1/04 , G02B6/02 , G02B6/12 , G02B6/13 , G02B6/132 , G02B6/43 , B05D1/36 , B05D5/00 , C08J7/18 , G02B6/00 , G02B6/10
CPC分类号： G02B6/12002 , B32B9/04 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1484 , C03B37/01413 , C03B37/0142 , C03B37/01486 , C03B37/027 , C03B2203/34 , C03B2205/40 , C03B2207/02 , C03B2207/34 , C03B2207/66 , C03B2207/85 , C04B35/14 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3215 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3244 , C04B2235/3251 , C04B2235/3258 , C04B2235/3287 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/3296 , C04B2235/3298 , C04B2235/3409 , C04B2235/3418 , C04B2235/3463 , C23C16/483 , C23C26/00 , G02B6/02042 , G02B6/13 , G02B6/132 , G02B2006/12147 , G02B2006/1215 , G02B2006/12176 , Y02P40/57
摘要： Monolithic optical structures include a plurality of layer with each layer having an isolated optical pathway confined within a portion of the layer. The monolithic optical structure can be used as an optical fiber preform. Alternatively or additionally, the monolithic optical structure can include integrated optical circuits within one or more layers of the structure. Monolithic optical structures can be formed by performing multiple passes of a substrate through a flowing particle stream. The deposited particles form an optical material following consolidation. Flexible optical fibers include a plurality of independent light channels extending along the length of the optical fiber. The fibers can be pulled from an appropriate preform.
摘要翻译：单片光学结构包括多个层，每个层具有限定在层的一部分内的隔离的光学路径。单片光学结构可以用作光纤预制件。或者或另外，单片光学结构可以包括在该结构的一个或多个层内的集成光学电路。单片光学结构可以通过通过流动的颗粒流进行多次通过基板来形成。沉积的颗粒在固结后形成光学材料。柔性光纤包括沿着光纤的长度延伸的多个独立光通道。纤维可以从适当的预成型件拉出。

4. 发明申请

WO2002069054A1 VACUUM ULTRAVIOLET TRANSMITTING SILICON OXYFLUORIDE LITHOGRAPHY GLASS 审中-公开
标题翻译：真空紫外线透射硅氧化物光刻玻璃
公开(公告)号：WO2002069054A1
公开(公告)日：2002-09-06
申请号：PCT/US2001/044547
申请日：2001-11-28
申请人： CORNING INCORPORATED
发明人： MOORE, Lisa, A. , SMITH, Charlene, M.
IPC分类号： G03F9/00
CPC分类号： G03F7/70216 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/21 , C03B2207/30 , C03B2207/32 , C03B2207/36 , C03B2207/38 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/20 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2203/54 , G03F1/60 , G03F7/70958
摘要： High purity silicon oxyfluoride glass suitable for use as a photomask substrates for photolithography applications in the VUV wavelength region below 190 nm is disclosed with the silicon oxyfluoride glass having a preferred fluorine content
摘要翻译：公开了具有优选氟含量<0.5重量％的氟氧化硅玻璃，适合用作光刻应用中的低于190nm的VUV波长区域的光掩模基板的高纯度氟氧化硅玻璃。本发明的氟氧化硅玻璃在157nm波长下是透射的，使其特别适用于157nm波长区域的光掩模衬底。本发明的光掩模基材是“真空”的氟氧化硅玻璃，其在真空紫外（VUV）波长区域中表现出非常高的透射率，同时保持通常与高纯度熔融石英相关的优异的热和物理性能。除了含氟并且具有很少或不含OH含量之外，本发明的适合用作157nm的光掩模衬底的氟氧化硅玻璃的特征还在于具有小于1×10 17分子/ cm 3的分子氢和低氯水平。

5. 发明申请

WO2002059050A1 A METHOD AND A DEVICE FOR MEASUREMENT IN A PROCESS FOR MANUFACTURING A PLANAR GLASS COATING 审中-公开
标题翻译：用于制造平面玻璃涂层的方法中的测量方法和装置
公开(公告)号：WO2002059050A1
公开(公告)日：2002-08-01
申请号：PCT/FI2002/000012
申请日：2002-01-08
申请人： LIEKKI OY , TIKKANEN, Juha , KESKINEN, Jorma , RAJALA, Markku
发明人： TIKKANEN, Juha , KESKINEN, Jorma , RAJALA, Markku
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： G02B6/132 , C03B19/1423 , C03B2207/34 , C03B2207/46
摘要： The invention relates to a measurement method and device to be used in connection with a manufacturing process of a planar glass coating, in which manufacturing process for example a thermal reactor (10), such as a flame or plasma is used to produce aerosol particles (13) from reactants (12), which said aerosol particles (13) are guided on the surface of a substrate (14), thus forming a coating layer. According to the invention, the electric charge conveyed on the substrate (14) by the aerosol particles (13) entering the substrate is measured by means of a current measurement means (17) during the process to monitor the coating process. The current measurement means (17) is arranged to communicate with a process control unit (18) to adjust the process conditions according to predetermined threshold value. In an embodiment of the invention, the measurement is based on the electric charge attained intrinsically by the aerosol particles (13) during their formation. If necessary, it is also possible to use a separate charger (23), for example a so-called corona charger to charge the aerosol particles (13).
摘要翻译：本发明涉及一种与平面玻璃涂层的制造工艺相结合使用的测量方法和装置，其中使用诸如火焰或等离子体的热反应器（10）的制造工艺来产生气溶胶颗粒（ 13）从所述气溶胶颗粒（13）被引导到衬底（14）的表面上的反应物（12），从而形成涂层。根据本发明，在监测涂布过程的过程中，通过电流测量装置（17）测量在进入衬底的气溶胶颗粒（13）在衬底（14）上传送的电荷。电流测量装置（17）被布置成与过程控制单元（18）进行通信，以根据预定阈值调整过程状态。在本发明的一个实施例中，测量是基于气溶胶颗粒（13）在其形成过程中本质上获得的电荷。如果需要，还可以使用单独的充电器（23），例如所谓的电晕充电器来对气溶胶颗粒（13）充电。

6. 发明申请

WO02057193A2 METHOD FOR PRODUCING A SIO>2< BLANK 审中-公开
标题翻译：用于生产SIO> 2
公开(公告)号：WO02057193A2
公开(公告)日：2002-07-25
申请号：PCT/EP2002/000478
申请日：2002-01-18
IPC分类号： C03B19/14 , C03B37/014 , C03B37/00
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B37/0142 , C03B2201/31 , C03B2207/22 , C03B2207/36 , C03B2207/52 , C03B2207/62 , C03B2207/66 , C03B2207/70
摘要： According to a known method for producing a SiO2 blank, SiO2 particles are formed in a plurality of deposition burners arranged in series, a burner flame being associated to each burner, and said particles are then deposited on a deposition surface of a carrier rotating about its longitudinal axis. The series of deposition burners moves back and forth according to a pre-determined displacement sequence along the blank being formed, and between inflection points at which the displacement direction is reversed. The burner flame forms a projection surface in a projection on a plane parallel to its main propagation direction, the lateral boundary lines of said projection surface forming an opening angle with the mean propagation direction. In order to provide a simple method for producing a porous blank, based on the above, and by which means a homogeneous quartz glass body is obtained, the opening angle ( alpha ) is set to a value of between 3 DEG and 15 DEG and the distance (D) between the deposition burner (2) and the deposition surface (10) is set between 170 mm and 240 mm.
摘要翻译：在用于生产的已知方法的SiO> 2 2 <颗粒在几，布置成一系列沉积燃烧器，每个具有形成在燃烧器火焰相关联，并沉积在一个旋转的绕其纵轴载体沉积表面其中，所述一系列的沉积形成的预定移动沿着成形在其它的运动反转方向往复运动，与拐点间坯件，其中在平行于在投影传播的它的主要方向上的每个情况下，燃烧器的火焰到一个平面上，投影屏幕，其主传播方向的横向边界线包围的开口角度。以指定此基础上，用于从获得均匀的石英玻璃体的多孔坯件的制备的简单方法，根据提出的发明，每个3 DEG和15°和沉积的距离（D）之间的开度角（阿尔法）的值的（2）从沉积表面（10）可在170至240mm之间的范围内。

7. 发明申请

WO02024586A1 METHOD AND APPARATUS FOR REDUCING REFRACTORY CONTAMINATION IN FUSED SILICA PROCESSES 审中-公开
标题翻译：用于减少熔融二氧化硅工艺中的耐火污染的方法和装置
公开(公告)号：WO02024586A1
公开(公告)日：2002-03-28
申请号：PCT/US2001/028481
申请日：2001-09-12
IPC分类号： C03B19/14 , C03B5/167 , C03B5/44
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B19/1407 , C03B2207/42 , F23M2900/05021 , Y02P40/57
摘要： In a furnace (10) for producing high purity fused silica glass boules, the refractory in the area of the burner holes reaches such elevated temperatures that cause impurities to leach out and the dissociation of the refractory, causing contamination of the silica glass. In order to reduce the temperature of the burner hole refractory, a porous insert or liner (16) having an outer housing portion (17) is positioned within the burner hole (14) in the furnace crown (12), and a suitable gas is supplied thereto. The insert has a closed-end flow passage (18) therewithin, having an inlet end (20) connected to a sources of gas under pressure. The gas diffuses through the porous liner and not only cools the liner and refractory, but also forms a boundary layer (22) along an inside surface (24) of the insert that prevents particle buildup. A burner (26) is sealed to the insert (16) with seals (28). The cooling of the insert and surrounding burner hole refractory prevents contamination of the silica glass from the refractory.
摘要翻译：在用于生产高纯度熔凝石英玻璃泡沫的炉（10）中，燃烧器孔区域中的耐火材料达到这样的升高的温度，这导致杂质浸出和耐火材料的解离，引起二氧化硅玻璃的污染。为了降低燃烧器孔耐火材料的温度，具有外部壳体部分（17）的多孔插入件或衬套（16）位于炉子顶部（12）内的燃烧器孔（14）内，合适的气体是提供给它。插入件具有其中的封闭端流动通道（18），其具有连接到压力下的气体源的入口端（20）。气体通过多孔衬里扩散，不仅冷却衬套和耐火材料，而且还沿着防止颗粒积聚的插入件的内表面（24）形成边界层（22）。燃烧器（26）用密封件（28）密封到插入件（16）上。插入件和周围燃烧器孔耐火材料的冷却防止二氧化硅玻璃从耐火材料中的污染。

8. 发明申请

WO01066476A1 METHOD AND APPARATUS TO COLLECT SOOT FOR MELTS 审中-公开
标题翻译：收集墨西哥的方法和设备
公开(公告)号：WO01066476A1
公开(公告)日：2001-09-13
申请号：PCT/US2001/000906
申请日：2001-01-11
IPC分类号： C03B19/01 , C03B19/06 , C03B19/10 , C03B19/14 , C03B37/018 , C03B37/075 , C03C13/00 , G02B6/00
CPC分类号： C03B19/14 , C03B19/01 , C03B19/06 , C03B19/106 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/12 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/14 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/46 , C03B2207/62
摘要： A method and apparatus (20) for manufacturing optical components. A burner (24) generates soot (22), and a surface area collector (26) collects the soot (22). The burner (24) is disposed such that the soot (22) collected within the surface area collector (26) is substantially not reheated by subsequently deposited soot (22). Magnetic forces (50) direct the soot to desired location(s) within the surface area collector (26). The surface area collector (26) operates at relatively low temperatures sufficient to retain rather volatile substances, such as fluorine, in the soot (22).
摘要翻译：一种用于制造光学部件的方法和装置（20）。燃烧器（24）产生烟灰（22），并且表面积收集器（26）收集烟灰（22）。燃烧器（24）被布置成使得收集在表面积收集器（26）内的烟灰（22）基本上不被随后沉积的烟灰（22）再加热。磁力（50）将烟灰引导到表面积收集器（26）内的所需位置。表面积收集器（26）在相当低的温度下操作，足以在烟灰（22）中保留诸如氟的相当易挥发的物质。

9. 发明申请

WO00020346A1 METHOD AND DEVICE FOR SPRAYING OF A MATERIAL 审中-公开
标题翻译：用于喷涂材料的方法和装置
公开(公告)号：WO00020346A1
公开(公告)日：2000-04-13
申请号：PCT/FI1999/000818
申请日：1999-10-05
IPC分类号： G02B6/00 , C03B8/04 , C03B19/10 , C03B19/14 , C03B37/014 , C03B37/018 , C23C4/12 , C23C4/123 , C23C4/129 , C23C16/453 , C23D5/04
CPC分类号： C03B37/0142 , C03B19/106 , C03B19/1423 , C03B2201/06 , C03B2201/31 , C03B2201/36 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/34 , C03B2207/46 , C23C4/12 , C23C4/123 , C23C4/129 , C23C16/453 , C23D5/04
摘要： The invention relates to a method and a device for spraying of a material, wherein at least two different components are introduced into a flame (9) formed by means of a fuel gas in such a way that the components react with each other, forming multicomponent glass particles. By means of the flame (9), the multicomponent glass particles are sprayed to a desired target. The first component is introduced to the flame as a gas or a vapour, and the second component is introduced into the flame in liquid form and is atomized by means of a gas substantially in the vicinity of the flame. The first and second components are supplied into the flame (9) with the same device as the fuel gas. The liquid component and the gaseous component are formed into particles having the size in the order of magnitude of a nanometre and their mutual reaction is effected in such a way that homogeneous multicomponent glass particles are formed.
摘要翻译：本发明涉及一种用于喷射材料的方法和装置，其中至少两种不同的组分被引入通过燃料气体形成的火焰（9）中，使得组分彼此反应，形成多组分玻璃颗粒。通过火焰（9），将多组分玻璃颗粒喷射到期望的目标物上。将第一组分作为气体或蒸汽引入火焰中，并将第二组分以液体形式引入火焰中，并通过基本上在火焰附近的气体进行雾化。第一和第二部件以与燃料气体相同的装置供应到火焰（9）中。液体组分和气态组分形成尺寸在数量级的纳米的颗粒，并且它们的相互反应以形成均匀的多组分玻璃颗粒的方式进行。

10. 发明申请

WO00017115A1 BURNERS FOR PRODUCING BOULES OF FUSED SILICA GLASS 审中-公开
标题翻译：用于生产熔融二氧化硅玻璃的燃烧器
公开(公告)号：WO00017115A1
公开(公告)日：2000-03-30
申请号：PCT/US1999/021658
申请日：1999-09-17
IPC分类号： G02B6/00 , C03B8/04 , C03B19/14 , C03B37/014
CPC分类号： C03B19/1423 , C03B2207/06 , C03B2207/10 , C03B2207/12 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/22 , C03B2207/24 , C03B2207/32 , C03B2207/36 , C03B2207/42 , C03B2207/46 , C03B2207/52 , C03B2207/70 , Y02P40/57
摘要： Burners (14) are used to make glass bodies (19) from OMCTS. The burners have six concentric regions. Putting certain gases through the regions results in thicker bodies than can be achieved with existing techniques and with improved efficiency.
摘要翻译：燃烧器（14）用于制造来自OMCTS的玻璃体（19）。燃烧器有六个同心区域。将某些气体通过区域导致比现有技术可以实现的更高的体积并且提高效率。

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